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《光学学报》2017,(2)
开展了动态气体锁抑制率的实验研究,设计了一套极紫外真空动态气体锁实验验证系统;进行了真空抽气系统的详细设计,形成了具有实际可操作性的真空系统的最终布局;指出了该实验验证系统的验证方法;进行了动态气体锁实验,并对实验结果进行了分析,验证了动态气体锁理论模型和仿真结果的正确性。实验研究结果表明,当污染气体放气率恒定时,增加清洁气体总流量将使动态气体锁抑制率逐步增加;同等条件下动态气体锁抑制率不随污染气体放气率的改变而改变;当清洁气体总流量和污染气体放气率都恒定时,动态气体锁抑制率随清洁气体相对分子质量的增加而缓慢增加。该动态气体锁抑制率实验研究结果,能够为极紫外光刻机动态气体锁的研制提供实验依据。 相似文献
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为了研究等离子体产生时的气体击穿特性,利用低气压条件下气体击穿场强阈值模型,分析了He、Ne、Ar、Kr、Xe和Hg蒸汽等6种典型放电气体的击穿阈值随入射波频率、电子温度、气体压强以及气体温度的变化规律。结果表明:气体击穿阈值随气体压强的增大而减小,随气体温度、电子温度和入射脉冲频率的增大而增大。气体压强和入射频率对击穿阈值的影响大于气体温度和电子温度,在所考虑的范围内,气体压强对击穿场强的影响约为100 V/m,入射脉冲频率对击穿场强的影响为50~300 V/m,气体温度和电子温度对击穿场强的影响为20~30 V/m。当考虑气体压强、气体温度以及电子温度等因素的影响时,各种气体的击穿场强阈值产生的变化规律相类似;但考虑入射频率的影响时,不同气体的击穿场强阈值差异很大。在所考虑的典型放电气体中,Xe具有最低的击穿场强阈值,He的击穿阈值最大。 相似文献
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高温气体的冷却对火花隙开关的重复运行具有重要的影响。利用流体方程、热传导方程和理想气体状态方程构建的方程组,对火花隙开关中高温气体冷却的过程进行了数值模拟。分析了气体导热系数、粘性系数、对流及气体压强等要素对气体冷却速度的影响,得到了气体冷却的基本规律:火花隙开关内气体的冷却以传导为主;若不采用其他手段,气体在十几ms内冷却较困难;对流的作用经数十ms后才显著;气体的粘性系数对气体冷却的影响可以忽略。可以通过选用导热系数高的气体,优化电极结构或采用吹气方法提高气体冷却速度的办法。 相似文献
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高压火花隙开关中气体冷却的数值模拟 总被引:1,自引:0,他引:1
高温气体的冷却对火花隙开关的重复运行具有重要的影响。利用流体方程、热传导方程和理想气体状态方程构建的方程组,对火花隙开关中高温气体冷却的过程进行了数值模拟。分析了气体导热系数、粘性系数、对流及气体压强等要素对气体冷却速度的影响,得到了气体冷却的基本规律:火花隙开关内气体的冷却以传导为主;若不采用其他手段,气体在十几ms内冷却较困难;对流的作用经数十ms后才显著;气体的粘性系数对气体冷却的影响可以忽略。可以通过选用导热系数高的气体,优化电极结构或采用吹气方法提高气体冷却速度的办法。 相似文献
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SF_6气体及其衍生物的红外光谱分析 总被引:2,自引:0,他引:2
SF6气体大量应用于气体绝缘组合电器(GIS)中。通过化学方法检测SF6气体及其衍生物是检测GIS设备故障的一种重要方法。该文采用红外光谱技术分析了三种情况下的GIS设备内SF6气体组成情况,得出S2F10气体含量可以用来分析GIS故障原因是否为强火花或者电弧放电引起;CF4气体可以用来表征GIS设备内绝缘气体的绝缘状态。另外,研究表明,GIS设备在线运行时,绝缘气体气室密封失效、造成气体泄漏,引入新的气体杂质的问题比较严重。所以在进行GIS设备维护工作时,绝缘气室的密封维护工作十分重要。文章在研究GIS设备绝缘气体SF6红外谱图的基础之上提出了建立基于红外光谱技术的GIS设备故障诊断专家系统的意见。 相似文献
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一.引言 在本文中我们将对讨论查甫雷金气体的运动。如果气体之压力与体积度之间有一線性关系存在,我们就称这种气体为查甫雷金气体。查甫雷金气体在自然界中还不存在。 相似文献
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采用外差探测方式, 建立了全光纤结构的激光多普勒测振仪,用来测量经空气传播耦合引起的散射体振动,以期感知振源振动信息。实验探索了散射体材料、固定方式和相对振源位置等对空气耦合振动的影响,得到了200~2700 Hz频率范围内6种散射体振动响应特性曲线。结果表明:通过空气耦合引起的散射体振动,在相同振源振幅下,散射体振动的振幅一般随频率升高而升高; 在材料、固定方式和相对振源位置等因素中,散射体材料对振动响应特性的影响是主要的,后两者只影响局部细节。 相似文献
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Bing Han Yun-Xiang Pan Ya-Li XueJun Chen Zhong-Hua ShenJian Lu Xiao-Wu Ni 《Optics and Lasers in Engineering》2011,49(3):428-433
Laser propulsions of six kinds of propelled objects in water and air are studied in this paper. The kinetic energy and momentum coupling coefficients gained by the objects after implementation of single laser pulses are investigated experimentally. It is shown that the propulsion effects are better in water than in air. Both in water and in air, the propulsion effects are better if there is a cavity on the laser irradiated surface of the object, and a hemispherical cavity works better than a 90°-conical cavity. A concept of equivalent reference pressure is proposed in this paper. It means that the asymmetry in the liquid induced by a rigid boundary near a spherical or nonspherical oscillating bubble can be approximated as the perturbation induced by a compressive stress wave passing through a bubble in the infinite static liquid. Thus, the collapse time and the pressure surrounding the nonspherical collapsing bubble can be estimated based on the maximum velocity of the liquid jet tip. Experiments also show that cavitation with oscillations and collapse can be induced at the object-water interface on the outside surface of the object head by the penetrating intensive stress wave and the elastic deformation of the object head. The bulging velocity of the object surface is calculated based on the propagation theory of stress waves at medium interfaces. 相似文献
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正交双物光全息有限角层析技术重建燃烧器温度场 总被引:7,自引:1,他引:6
提出了正交双物光全息干涉及限角层析技术,可以从正交两个方向同时获取物场信息,并采用循环代数迭代松驰算法重建了燃烧器热气流的一个层面温度场,得到了满意的测量精度。重建温度与四个热电偶同时测得的温度基本相符。 相似文献
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X-ray phase-contrast method and its application to the study of blood vessels with a model object 总被引:1,自引:0,他引:1
A. P. Petrakov 《Technical Physics》2003,48(5):607-611
Studies of the phase-contrast method are reviewed. The principles of phase-contrast image formation are considered. The potentialities
of the method are demonstrated using a model object as an example: a capillary tube filled with air and paraffin. 相似文献
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舰船红外热像的软件模拟 总被引:3,自引:0,他引:3
在建立了合理的舰船传热学模型之后,就要进一步完善舰船热像模拟的理论模型,较为完整地考虑周围环境对物体及物体各部分之间的相互作用,包括太阳辐射、海/天背景辐射、海/空气的对流以及船体各部分的传导和相互辐射。利用计算机技术和面向对象编程方法实现了船体的红外辐射热像与海洋及天空等背景辐射的初步耦合、显示和包括图像储存在内的较完整的热像模拟软件。应用VisualC++语言编写,软件具有友好的用户界面和良好的可扩充性,易于维护。 相似文献