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相似文献
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1.
用于半导体加工的腔耦合-磁多极型ECR源的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
本实验室研制出一台谐振腔耦合一多极场位形的电子回旋共振(ECR)微波等离子体源(MEP)。采用朗谬探针和离子能量分析器,测量了MEP中Ar等离子体的放电特性。实验结果表明.MEP能在很宽的运行参数范围,高效率地产生具有较高密度、较低离子温度和空间电位的大面积均匀等离子体,特别适合于半导体加工应用研究。  相似文献   

2.
用电子自旋共振(ESR)方法对非晶Ag ̄+离子导体0.85AgI~0.15Ag_4P_2O_7的热处理晶化过程进行研究,在样品中掺入微量(约1×10 ̄(-3)g/g)的Mn ̄(2+)或V ̄(4+)离子作为自旋探针离子,它们的ESR谱强度随升温线性减弱,当样品完全晶化时ESR谱消失。这样测定的样品完全晶化的温度分别为98℃(掺Mn的)和108℃(掺V的).本文还对Mn ̄(2+)和V ̄(4+)的ESR谱进行了分析。  相似文献   

3.
用混溶蒸发法制备出高聚物(PEO)_n-CuBr_2(n=4,8,12,16,24)薄膜。并详细测量它们在0.1350MPa静水压范围的复阻抗谱,以及在0.1-2400MPa静水压范围的交流电导率。结果表明:离子电导率与压力的依赖关系可分解为四段相迭加的线性关系。根据X射线衍射物相分析,它们分别归于PEO非晶相的压力效应,PEO结晶相的压力效应和析出新相CuBr_2的压力效应。最后给出克服办法——添加少量增塑剂碳酸乙烯酯可增加(PEO)_n-CuBr_2薄膜的弹性,使压力下的离子电导率提高一至两个数量级。  相似文献   

4.
HT-6M装置上离子回旋波的传播和吸收   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文从波与粒子相互作用的线性理论出发,结合HT-6M托卡马克少数离子为氢,基本离子为氘[H(D)]的等离子体离子回旋共振加热(ICRH)为例,讨论了离子回旋波在这特定的等离子体中传播、吸收与少数离子氢的浓度RH(定义为nH/ne,nH为氢离子密度,ne是等离子体总密度)和平行波数k‖的关系。文中最后还给出了HT-6M托卡马克离子回旋共振加热的优化实验方案。  相似文献   

5.
苏昉  王文楼  谢斌  蒋宗驷  林枫凉 《物理学报》1994,43(10):1648-1657
用混溶蒸发法制备出高聚物(PEO)n-CuBr2(n=4,8,12,16,24)薄膜。并详细测量它们在0.1-350MPa静水压范围的复阻抗谱,以及在0.1-2400MPa静水压范围的交流电导率。结果表明:离子电导率与压力的依赖关系可分解为四段相迭加的线性关系。根据X射线衍射物相分析,它们分别归于PEO非晶相的压力效应,PEO结晶相的压力效应和析出新相CuBr2的压力效应。最后给出克服办法——添加少量增塑剂碳酸乙烯酯可增加(PEO)n-CuBr2薄膜的弹性,使压力下的离子电导率提高一至两个数量级。 关键词:  相似文献   

6.
PEG-Na2SO4-PAR体系中Pd(Ⅱ)、U(Ⅵ)、Mo(Ⅵ)的萃取分离   总被引:5,自引:0,他引:5  
本文研究了在聚乙二醇-2000(PEG)-硫酸钠(Na2SO4)-4-(2-吡啶偶氮)-间苯二酚(PAR)体系中,Pd(Ⅱ)、U(Ⅵ)、La(Ⅲ)、Mo(Ⅵ)的萃取行为。实验结果表明,在pH4.5 ̄7.5溶液中,Pd(Ⅱ)、U(Ⅵ)、可被PEG相几乎完全萃取,La(Ⅲ)部分被萃取,而Mo(Ⅵ)则不被蔺取,从而实现了Mo(Ⅵ)与Pd(Ⅱ)、U(Ⅵ)混合离子间的定量分离,并初步探讨了PEG相的萃取机理  相似文献   

7.
本实验用同一根玻璃微电极在豚鼠耳蜗中阶记录EP(EndocochlearPotential,耳蜗内电位)、CM(CochlearMicrophonics,耳蜗振电压)、CAP(ComnoundActionPotential,复合动作电位),观察在不同缺氧状态下,三者动态变化过程.发现在缺氧初始(1—2分钟),CM和CAP随EP同步迅速下降;但缺氧3—6分钟时,CM下降缓慢,似一“平台”,而CAP和EP继续同步下降;缺氧7—12分钟时,三者又倾于平行。扫描电镜观察:IHC(内毛细胞)表面由底四到三圈出现广泛分泌物和球状物,OHC汐(毛细胞)表面出现局限性分泌物和球状物,静纤毛融合。结果表明:OHC和IHC的功能状态与氧代谢密切相关,CM直接受OHC和IHC结构变化的影响。CM下降过程中的平台,则可能与盖膜(TM)的压电效应有关。CAP的变化不完全依赖于CM。  相似文献   

8.
王松雁  汤宝寅 《物理》1997,26(9):558-561
用一个取样离子源-E×B质谱系统测定了等离子体浸没离子注入中氮等离子体的质谱,测量出的氮等离子体的离子比率作为计算机模拟TAMIX程序的输入参数,以预测原子的浓度-深度分布曲线,氮注入的Ti6Al4V样品用扫描俄歇微探针(SAM)分析,获得了原子浓度-深度分布的试验数据,理论预测和用俄歇分析的结果比较,显示出很好的一致性.  相似文献   

9.
合成了新试剂二安替比林-(邻-乙氧基)苯基甲烷(DAoEM),根据Cu^2+对H3PO4-Mn(Ⅱ)-Cr(Ⅵ)-DAoEM显色体系的干扰褪色作用,建立了一个测定微量铜的新方法,其检出限为4×10^-6g/L,铜离子含量在20-160μg/L范围内与1g(A0/A)成良好线性关系,体系稳定性和选择性良好,用于铅样中痕量铜的测定,结果满意。  相似文献   

10.
合肥国家同步辐射实验室(NSRL)光化学实验站上,国内首例用于研究原子、分子结构的阈值光电子谱(TPES)技术。系统给出了阈值光电子分析器的结构和原理、检测控制系统、性能测试以及提高系统分辨率的措施和想法等,用该装置获得了一些分子的阈值光电子谱、及采用离子飞行时间质谱(TOFMS)得到的光离子效率谱(PIES)。用Ar ̄+( ̄2P_(1/2)和Kr ̄+( ̄2P_(1/2)峰作标定,我们的阈值光电子分析器分别获得了20mev和17meV能量分辨(FWHM)。通过对N_2分子在630-810振动态和Rgdberg自电离态的初步探讨可知该系统性能。  相似文献   

11.
孙照勇  汪联辉 《发光学报》1998,19(2):146-149
研究了铕(Ⅲ)与噻吩甲酰三氟丙酮(HTTA)、丙烯酸(HAA)的三元配合物及与甲基丙烯酸甲酯(MMA)成键聚合物(CPEu(TTA)2AA)和掺杂聚合物(Eu(TTA)2AA/PMMA)发光性质,测量了配合物中Eu^3+的^5D0和^5D1能级的荧光衰减,对其传能过程和荧光寿命进行了讨论,测量了配合物及聚合物THF溶液的荧光光谱,配合物的聚合有收交配体发生明显红移,且存在配体到中心离子的传能,指出  相似文献   

12.
喷气式Z箍缩等离子体装置中离子束能谱的测量   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
利用新研制的紧凑型汤姆生离子能谱仪(ThomsonIonEnergyAnalyzer),对喷气式Z-箍缩等离子体装置中离子能谱进行了测量,在CR-39上得到了清晰的Ar+,Ar2+,Ar3+离子抛物线轨迹,通过分析计算结果表明:离子的最大能量在1MeV左右,离子能谱分布曲线都随其能量增加而单调下降。  相似文献   

13.
本文介绍了一种改进型的微波等离子体增强辉光放电(MPEGD)光源,对这种级联光源中的工作气体Ar的光谱特性进行了较详细的考察,对单纯微波等离子体放电,单纯辉光放电以及微波等离子体增强辉光放电的Ar谱线进行了研究,并讨论了微波功率等的影响,认为这种微波等离子体增强辉光放电光源在中低能级跃产生的谱线有明显的增强作用。  相似文献   

14.
应用LAS-2000二次离子质谱表面分析系统作了如下测量:(1)测出HL-1装置的总出气量以及其主要出气组分的出气量百分比和出气峰值温度等参数;(2)对等离子体-表面相互作用进行了SIMS/蒙特卡洛互补分析,测出等离子体边界层中氢气量径向特征长度和氢粒子注入硅片的特征深度,估算出氢通量平均动力温度;(3)对硅收集探针的SIMS/AES分析表明,HL-1等离子体删削层中主要杂质组分为O、C、Ni、Mo和Cr,同时给出原子密度相对百分比;在HL-1装置中用原位蒸钛来吸氧、碳杂质,从而提高了等离子体纯度和品质;(4)定期检测表明,装置的器壁表面污染呈减弱趋势,这说明HL-1真空系统的设计研制及运行维护技术措施等是合适的。  相似文献   

15.
D2EHPA萃取稀土的有机相红外光谱及添加DMHPA的影响   总被引:6,自引:1,他引:5  
本文研究了部分皂化的二(2-乙基己基)磷酸(D2EHPA)-正庚烷体系萃取稀土离子Y^3+,Pr^3+,Nd^3+,Eu^3+后有机的傅里叶变换红外光谱(FT-IR)。发现不同稀土离子与萃取剂的配位能力有差异,并且皂化度对萃取有机相中的P=O谱带的频率和吸收强度皆有影响,在D2EHPA中加入二(1-甲基庚基)磷酸(DMHPA)导致P=O谱带形状和吸收强度发生变化。  相似文献   

16.
文中所述的研究用实验室组装的强短脉冲供电辉光放电发射光谱(HCMSPGD-OES)实验系统,对铜基合金中的次要组分Ni,Al,Mn,Si的含量进行了测定,辉光放电(GD)源在强短脉冲供电(HCMSP)时,原子线和离子线的发射得到增强,文中选用了Ni,Al,Mn,Si的次灵敏线作分析线,对影响分析强度的因素进行了研究,在选定的实验条件下几种组分的含量进行了测定,测定结果与样品的推荐值吻合较好,六次侧  相似文献   

17.
研究了铕(Ⅲ)与噻吩甲酰三氟丙酮(HTTA)、丙烯酸(HAA)的三元配合物及与甲基丙烯酸甲酯(MMA)成键聚合物(CPEu(TTA)2AA)和掺杂型聚合物(Eu(TTA)2AA/PMMA)的发光性质.测量了配合物中Eu3+的5D0和5D1能级的荧光衰减,对其传能过程和荧光寿命进行了讨论.测量了配合物及聚合物THF溶液的荧光光谱.配合物和聚合物的吸收峰较配体发生明显红移,且存在配体到中心离子的传能.指出小分子配合物和掺杂型聚合物中Eu3+具有类似的发光性质而与成键型聚合物不同  相似文献   

18.
碳氢碳氟表面活性剂混合胶束的NMR和ESR研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
用NMR,ESR和表面张力测量研究了3-十二烷氧基-2-羟丙基磺酸钠(SDEHS)与全氟辛酸钠(SPFO)混合溶液微环境性质,表面张力测定表明长链烷基磺酸盐中嵌入羟丙基后,其表面活性提高,而与SPFO混合溶液的表面活性高于单一的SDEHS和SPFO,NMR和ESR研究表明,SDEHS的碳氢链与SPFO的碳氟链之间有强烈的相互作用,SDEHS与SPFO形成混合胶束,混合胶束“界面”的微观粘度较SDE  相似文献   

19.
用电子自旋共振(ESR)和固体 ̄(13)CNMR研究了聚丙烯腈(PAN)在不同裂解温度(T_P)下的结构变化,当T_P从250℃增加到600℃,ESR信号线形没有变化,g值与T_P无关,ΔH_(PP)减小,自旋浓度(N_S)开始增加,T_P进一步升高,N_S又减少. ̄(13)CNMR谱指出在不同T_P下谱峰发生很大变化,与另文报道的红外及X-射经衍射结果一致,随T_P升高,PAN逐渐脱去小分子形成具有环化共轭结构的产物.  相似文献   

20.
建立了电子回旋共振(ECR)微波放电等离子体中离子输运过程的蒙特卡罗模型,考虑了离子与中性原子的电荷交换碰撞和弹性碰撞,以及精确依赖于离子能量的电荷交换和动量转移截面,模拟了源于氩气ECR微波放电的氩离子向衬底输运的过程,得到与实验报道相符的模拟结果。  相似文献   

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