激光微加工技术在集成电路制造中的应用

激光微加工技术以非接触加工方式,高效率、无污染、高精度、热影响区小的优点在微电子集成电路制造中得到了广泛应用.介绍了在集成电路制造封装中采用的激光微调、激光打孔、激光清洗、激光柔性布线和激光微焊技术.     

Study on Laser Heat Treatment of Cemented Carbide

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＳｔｕｄｉｅｓｏｎｌａｓｅｒｈｅａｔｔｒｅａｔｍｅｎｔｏｆｃｅｍｅｎｔｅｄｃａｒｂｉｄｅｈａｖｅｂｅｎｃａｒｉｅｄｏｕｔｂｙｍａｎｙｒｅｓｅａｒｃｈｅｒｓ．Ｃｅｍｅｎｔｅｄｃａｒｂｉｄｅｉｓｍａｄｅｂｙｓｉｎｔｅｒｉｎｇｔｈ...     

适用于金属薄板焊接的柔性光纤耦合半导体激光加工光源

研制了一种单光纤耦合的柔性半导体激光加工光源,该光源由20个传导热沉封装的激光列阵以线阵合束方式耦合而成,在大通道工业水冷条件下,从600 μm芯径、NA为0.2的光纤中连续输出907 W功率,输出光束质量为47 mm·mrad,最终达到工件表面的功率密度为3.21×10⁵ W/cm²,最大插头效率达39%。该激光光源具有直接应用在金属薄板焊接的潜力。     

短波长化学激光系统反射镜研制

 报道了短波长化学激光系统高反射镜的膜系设计、镀膜材料的选取、反射膜制备技术、基板加工、反射镜性能测试和各种膜系反射镜在强激光辐照下的热畸变和损伤。     

Power Density Distribution Simulation and Relevant Heat Effect Calculation of a High-power CO2 Laser with Low Order Modes

The vertical excitation axial-flux kilowatt CO2 laser is an equipment widely used in the high-power laser heat treatment industrial applications. The experimental measurements indicate that the power density distribution of laser beam is generally of ring distribution with a sunken at the center, therefore the laser beam cannot be simply regarded as base mode Gaussian beam. In this paper, such laser beam is regarded as the non-interference superposition of TEM00 and TEM01 mode beams, the method to determine the simulation parameters is discussed, and the relevant heat effect calculation equation is deduced.     

Power Density Distribution Simulation and Relevant Heat Effect Calculation of a High-power CO_2 Laser with Low Order Modes

1　Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　　Ｉｎｔｈｅｉｎｄｕｓｔｒｉａｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｒｅｓｅａｒｃｈｏｆｌａｓｅｒｂｅａｍｈｅａｔｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇａｎｄｔｒｅａｔｍｅｎｔ,ｄｕｅｔｏｔｈｅｓｈｏｒｔｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｔｉｍｅｏｆｌａｓｅｒｗｉｔｈｔｈｅｍａｔｅｒｉａｌ,ｔｈｅｈｅａｔ ａｆｆｅｃｔｅｄａｒｅａｉｓｌｉｍｉｔｅｄｉｎｔｈｅａｒｅａｎｅａｒｔｈｅ ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｒｒａｄｉａｔｅｄｂｙｔｈｅｌａｓｅｒｂｅａｍ .Ｓｕｐｐｏｓｅｄｔｈａｔｔｈｅｗｏｒｋｐｉｅｃｅｉｓａｓｅｍｉ ｉｎｆ…     

激光热处理工艺的发展动态

介绍国内外现代激光加工工艺的发展动态,对目前较力流行的一些激光热处理工艺进行系统归纳和论述,指出激光技术与金属热处理工艺的交叉相融、相互渗透.为应用光学的发展开辟了新的研究领域。     

Laser–Arc Treatment of Iron–Carbon Alloys with Emissive Coatings and of Carbon–Carbon Composites

The conditions for stabilization of the sustaining spot of an electric arc on the surface of metals and carbon-graphite materials in a wide range of laser-radiation intensities are studied. The use of a laser–arc source with a low intensity of laser radiation and a reverse-polarity arc is substantiated physically for efficient surface treatment of metals with emissive coatings and of carbon–carbon composites.     

多脉冲激光对碳纳米管悬浮液光限幅特性影响

利用实验的方法研究了碳纳米管悬浮液对脉宽8 ns,波长532 nm多脉冲激光的光限幅效应.分析了直径分布为10~20 nm的多壁碳纳米管悬浮液对重复频率分别为1 Hz、 3 Hz、 5 Hz、 10 Hz情况下532 nm激光的光限幅效应,分析计算了不同重复频率下碳纳米管悬浮液的限幅阈值,比较了不同焦距的透镜会聚入射光束情况下对碳纳米管悬浮液光限幅效果的影响.实验结果表明：碳纳米管悬浮液对不同重复频率的532 nm 激光都具有较强的光限幅特性;碳纳米管悬浮液对激光在不同重复频率入射情况下的光限幅阈值变化很大,当入射激光的重复频率为5 Hz时,碳纳米管悬浮液的光限幅阈值比单脉冲激光入射时的限幅阈值低了2倍,重复频率为10 Hz时的限幅阈值比单脉冲时的限幅阈值低了近3倍;碳纳米管在紧焦系统中的光限幅效果更好.     

Quick Approximate Calculation on the Transient Temperature Field of Laser Heat Treatment

ＱｕｉｃｋＡｐｐｒｏｘｉｍａｔｅＣａｌｃｕｌａｔｉｏｎｏｎｔｈｅＴｒａｎｓｉｅｎｔＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅＦｉｅｌｄｏｆＬａｓｅｒＨｅａｔＴｒｅａｔｍｅｎｔＬＩＪｕｎｃｈａｎｇＭｅｒｌｉｎＪ．（＋）ＣＨＥＮＪｉｎｂｏＦＡＮＺｅｂｉｎ（ＬａｓｅｒＲｅｓ...     

强激光冲击铝合金改性处理研究

利用新型聚偏1.1-二氟乙烯（PVDF）压电传感器,实现了对激光引发的冲击波压力的实时测量,得到激光引发的冲击波峰压在铝中成指数型的衰减规律;观测了不同约束层材料在铝靶表面产生的激光冲击波,研究了不同约束层对冲击效果的影响;最后用激光冲击强化装置对7050-T7451航空铝合金结构材料进行了冲击强化处理,对试件激光冲击区存在的残余压应力及位错密度进行了测量。结果显示经激光冲击处理的试件表面具有极高的残余压应力,可达-200MPa以上。激光冲击处理后铝合金的位错密度得到显著的提高,疲劳寿命提高到175％～428％。这些重要结果对激光冲击改性处理技术的实际应用具有指导性作用。     

Experimental Research on the Influence of Laser-induced Plasma on the Beam Focusing During High-power CO_2 Laser Materials Processing

１ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＩｔｉｓｗｅｌｋｎｏｗｎｔｈａｔｔｈｅｓｏｃａｌｅｄｌａｓｅｒｉｎｄｕｃｅｄｐｌａｓｍａｇｅｎｅｒａｔｅｓｄｕｒｉｎｇｈｉｇｈｐｏｗｅｒＣＯ２ｌａｓｅｒｍａｔｅｒｉａｌｓｐｒｏｃｅｓｉｎｇ．Ｓｉｎｃｅｔｈｅｐｌａｓｍａｓ...     

激光医学

激光医学是伴随激光技术的诞生而出现的一个新兴学科,在纪念激光发明50周年之际,文章回顾了激光医学的发展历史、临床应用和现阶段存在的问题.经过近50年的发展,激光医学形成了以强激光治疗、弱激光治疗、光动力治疗为主体的治疗模式,开拓出了一系列的新型光学诊断技术,文章对各项治疗和诊断技术及其发展趋势进行了简单的介绍.     

飞秒激光全息加工光学系统搭建与分析

合理的光学系统设计及参数优化是飞秒激光全息并行加工系统功能实现的前提。在分析了飞秒激光全息并行加工系统光路设计要求的基础上,对其中的两个关键点进行了较为深入的研究。采用能量利用率高的斜入射方式照射选用的空间光调制器,得出了后续光路设计的关键参数;通过光学理论推导出空间光调制器与两个透镜组成的4-f系统中最佳光路参数,利用Zemax软件对光路中系统孔径仿真,验证了该方案的合理性;搭建了一套合理高效的飞秒激光全息并行加工系统,实现了7焦点阵列的微透镜和微齿轮并行加工。研究结果表明,该光路设计方案可以实现高效的飞秒激光全息加工过程。     

Discussion for the Semi-infinite Medium Approximation and the Thermal Diffusion Velocity in Laser Heat Treatment

It is a conventional method to regard laser-iradiated object as a semi-infinite medium with invariable thermal physical property parameters for approximate analyses of thermal acting of laser heat treatment. So far, 2 and have been taken as the thermal diffusion distance and the thermal diffusion velocity respectively, at the time t after heat fluctuation in materials with a thermal diffusion coefficient α, and as a result, the feasibility of the approximately estimating method about semi-infinite medium is judged. This paper indicates that, due to quantitative investigation of heat energy diffusion, the thermal diffusion distance of 3 and the thermal diffusion velocity of 1.5 can more accurately describe the physical process of heat conduction. Finally, an applied example of approximately estimating the temperature field of laser heat treatment is presented.     

Discussion forthe Semiinfinite Medium Approximation and the Thermal Diffusion Velocity in Laser Heat Treatment

ｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　　Ｉｎａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓａｎｄｓｔｕｄｉｅｓｏｆｌａｓｅｒｈｅａｔｔｒｅａｔｍｅｎｔｏｎｍａｔｅｒｉａｌｓｕｒｆａｃｅ,ｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｂｅｔｗｅｅｎｌａｓｅｒａｎｄｍａｔｅｒｉａｌｓｉｓａｎｅｓｓｅｎｔｉａｌｐｒｏｂｌｅｍ．Ｔｈｅａｃｔｉｎｇｔｉｍｅｏｆｌａｓｅｒｈｅａｔｔｒｅａｔｍｅｎｔｉｓｓｈｏｒｔａｎｄｉｔｓｈｅａｔｅｄｚｏｎｅｉｓｏｎｌｙｌｏｃａｌｉｚｅｄｗｉｔｈｉｎａｓｍａｌｌｓｐａｃｅｎｅａｒｔｈｅｌａｓｅｒｉｒｒａｄｉａｔ…     

千瓦级半导体抽运的固体热容板条激光器

报道了千瓦级激光二极管面阵抽运固体热容激光器的理论与实验研究,分别采用Nd∶YAG单板条和双板条串接的热容激光器,利用热容激光器的理论计算模型计算了在一定的工作时间内激光输出特性,并进行了实验验证。实验中采用的晶体尺寸均为59mm×40mm×4.5mm,对单板条进行抽运时平均功率大约为5.6kW,双板条串接时为11.2kW,重复频率为1kHz,占空比为20%。实验中观察了1s的工作时间内脉冲能量输出的波动情况,单板条时单脉冲能量输出最大为1.3J,在1 s后单脉冲能量输出下降到开始的70%左右,而双板条串接时单脉冲能量输出最大为2.06J,在1s后单脉冲能量输出下降到开始的50%左右,对单块晶体采用通水冷却的准热容热管理模式能有效地降低其热效应。     

XeCl（308nm）脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜

利用ＸｅＣｌ（３０８ｎｍ）脉冲准分子激光淀积技术在功率密度５×１０８Ｗ／ｃｍ２、室温、真空度１０－３Ｐａ的条件下，制备出不含氢成分的类金刚石薄膜，研究了类金刚石薄膜的特性及其随制备工艺条件的变化规律。研究了激光诱导的碳等离子体发射光谱，探讨了类金刚石薄膜的形成机理。     

Laser sintering of green compacts

Green Compact Laser Sintering (GCLS) is a new technique for sintering powder metallurgical components by laser irradiation. After mixing; powders are pressed into a green compact; which can then be sintered by laser irradiation. The properties of powder metallurgical alloys for GCLS and conventional sintering are compared.