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相似文献
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1.
本实验运用MEMS技术在硅片上加工了一种新型电子冷却微泵-电液动力微泵,微泵由一组平面电极组成,施加直流来驱动流体.相关实验研究表明微泵的性能与施加电压、工作介质,电极结构和材料以及工作环境有关.  相似文献   

2.
电液动力微泵的改进   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了微型电液动力泵的优化设计和工艺改进。电液动力微泵制作工艺的改进包括:材料的选择,微电极的优化设计和封装工艺的改进。使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为构建微流道的材料,采用浇注法制作了PDMS微流道,并采用阳极键合方式进行微泵的封装。使用无水乙醇为工作流体对微泵进行流动实验,在驱动电压为90 V时,电液动力微泵驱动流体的最大流速可以达到92 uL/min。  相似文献   

3.
热驱动薄膜式微型泵的模拟与实验   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能,对泵的主要部件进行了分析,然后对泵的整体性能进行了模拟。得到了微型泵的频率特性及流量随功率的变化。发现泵的流量在 3.3 Hz左右达到最大。膜片的预应力对泵的性能有重要影响。功率小时,预应力使流量降低,功率大时,预应力使流量增加。泵的流量与输入功率的比值与输入功率的关系曲线有最大值,约在 1.2~1.8 W之间。实验测定了微型泵的频率和功率特性,模拟结果与实测结果基本吻合。  相似文献   

4.
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500 m,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。  相似文献   

5.
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500 m,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。  相似文献   

6.
本文针对目前笔记本计算机CPU在小空间内的高发热量趋势,提出采用毛细泵吸环路(CPL)取代传统热管,实现小空间内的更高效传热。传统大型CPL环路的研究与应用已经相当完备,但当尺寸缩小时会有许多新的问题产生。本文通过实验观察及理论分析,望能发展出适用未来电子产品高发热需求的微小化CPL环路。  相似文献   

7.
微型热管的研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
微型热管是伴随微电子技术的发展而发展起来的一门新兴技术,是有效冷却高热流密度电子器件的主要途径之一。阐述常用的微型热管即脉动热管、微槽平板热管、环路热管的研究现状和进展,总结微型热管研究所面临的困难和挑战,指出微型热管的发展趋势,认为必将广泛应用于电子器件冷却、航空航天及计算机等领域。  相似文献   

8.
水力振荡器式微型泵大尺度模型的数值研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文对水力振荡器式微型泵模型内二维紊流进行了数值模拟。文中基于雷诺平均N-S方程和κ-ε紊流模型,采用SIMPLEC算法计算了具有平板及翼型截面形状叶片的流道,得出了若干工况下流速场、叶片表面压力系数分布及叶片前后表面的压力变化;为进一步的实验研究及理论分析工作打下了基础。  相似文献   

9.
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。  相似文献   

10.
利用东元电机研制的微型压缩机和自发研制的螺旋管式蒸发器搭建了微型制冷系统性能测试试验台,进行了不同工况下微型制冷系统的性能测试.同时分析了环境温度,冷冻水温度、冷冻水质量流量对制冷系统性能的影响规律,得出了系统运行的最佳制冷剂充注量和最佳运行工况.  相似文献   

11.
周愈波  鲁平 《发光学报》1997,18(1):87-89
波导透镜是集成光路〔IO〕中的最基本元件,它在IO中的作用类似体光学光路中的透镜.IO光信号处理系统如集成光学声光频谱分析器、导波声光卷积器、相关器、调频脉冲压缩器和矩阵乘法器等.系统中都需要用波导透镜.波导短程透镜较其它形式的波导透镜具有孔径大、旋转对称、无色差和插入损耗小的特点,所以特别引人注意.  相似文献   

12.
非线性光导开关的实验研究   总被引:4,自引:2,他引:2  
石顺祥  孙艳玲 《光子学报》1998,27(12):1078-1082
本文简要介绍非线性光导开关的工作原理,重点报道作者对非线性光导开关输出特性的实验研究.比较了光导开关线性和非线性工作的输出特性,给出了非线性光导开关的输出电脉冲波形,研究了影响非线性光导开关输出电脉冲上升时间、延迟时间的因素,测得了偏压阈值与激励光脉冲能量阈值的关系,指出利用非线性光导开关研制成一种全新的、固态化的高压、高功率超短电脉冲产生器的可能性.  相似文献   

13.
结霜发生随机性的实验研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
结霜是影响制冷设备工作的不利因素之一,对结霜发生的研究可以指导改进除霜方案。本文通过显微摄像的手段研究了结霜发生过程。对于不同的冷壁面温度和水蒸汽分压力,有两类结霜发生过程:一是经过气液固相变形成霜,二是经过气固相变形成霜。实验观察到第一类结霜的转变时间具有随机性,并对此现象进行了分析。  相似文献   

14.
 复合片钻头的钻速与其切削齿的自锐性密切相关,钻头台架试验反映了这种内在联系,并用平均钻速(v)和平均钻速变化率(α)等指标对复合片自锐性能进行描述与评价。试验结果表明,复合片的自锐性在微观上取决于聚晶体发生串晶断裂和沿晶界断裂的程度,宏观上则依赖于复合片双层结构间在耐磨性能上互为因果的关系。  相似文献   

15.
高压静电场抗垢性能的实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过静态和动态两种方法,进行了高压静电抗垢强化传热实验研究.静态实验结果表明,高压静电场能够使污垢晶体形态发生改变,由六面体结构变为树枝状和薄片状结构,并促进污垢晶体尺寸的增大.动态实验结果表明,成垢溶液经过高压静电处理以后,污垢热阻明显减小,流速的增大能够增强抗垢能力.  相似文献   

16.
超流氦沸腾过程中的流态测量研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
超流氦的沸腾现象具有一般流体的沸腾现象所没有的特异性质。本文运用粒子示踪法对由不同沸腾状态所引起的流态进行了可视化测量并重构了由沸腾所引起的流态图,同时对沸腾过程中的压力振荡进行了测量;并对过渡沸腾状态出现的两种可能性和机理进行了分析.  相似文献   

17.
本文利用自行研发的一种强吸水性涂料制成厚度为0.05 mm的抑霜涂层,对涂层的持续亲水性和重复抑霜性能进行了测试.结果表明,该涂层经过20次的干湿循环之后仍然具有较强的吸水能力;在相对环境湿度为53%、壁温-10.5℃条件下的实验表明,该涂层的重复性抑霜效果良好.  相似文献   

18.
光谱展宽特性分析及实验研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
李伟  濮宏图  吴健  刘盛纲 《应用光学》2001,22(6):31-33,39
介绍一种利用光波导相位调制器对激光光谱进行展宽的实验测试(国内首次用相位调制器进行光谱民宽的研究),并由此推出当激光波长为1053nm时光谱约0.2nm的展宽。  相似文献   

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