共查询到18条相似文献,搜索用时 31 毫秒
1.
2.
3.
4.
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500 m,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。 相似文献
5.
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500 m,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。 相似文献
6.
微小化毛细泵吸环路(miniature CPL)应用于笔记本计算机传热之研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文针对目前笔记本计算机CPU在小空间内的高发热量趋势,提出采用毛细泵吸环路(CPL)取代传统热管,实现小空间内的更高效传热。传统大型CPL环路的研究与应用已经相当完备,但当尺寸缩小时会有许多新的问题产生。本文通过实验观察及理论分析,望能发展出适用未来电子产品高发热需求的微小化CPL环路。 相似文献
7.
8.
9.
为了解决MEMS技术制备具有超厚、高深宽比电极结构的射流发生器中三角柱电极尖端部分出现的弧形缺陷以及脱模时缝隙电极易脱落等问题,提高射流发生器的制作质量以及电共轭流体微型泵的输出性能。结合理论分析与反复试验提出了一系列改进措施:优化涂胶、热处理、显影等工艺的参数以及缝隙电极的形状,采用新型KMPR光刻胶去除方法等。通过应用上述方法获得的射流发生器中,三角柱电极-缝隙电极对厚度约500μm,深宽比高,三角柱电极尖端结构完整,缝隙电极附着率有很大提高。同时,利用制备的射流发生器,设计、装配了电共轭流体微型泵的样机。 相似文献
10.
11.
12.
非线性光导开关的实验研究 总被引:4,自引:2,他引:2
本文简要介绍非线性光导开关的工作原理,重点报道作者对非线性光导开关输出特性的实验研究.比较了光导开关线性和非线性工作的输出特性,给出了非线性光导开关的输出电脉冲波形,研究了影响非线性光导开关输出电脉冲上升时间、延迟时间的因素,测得了偏压阈值与激励光脉冲能量阈值的关系,指出利用非线性光导开关研制成一种全新的、固态化的高压、高功率超短电脉冲产生器的可能性. 相似文献
13.
14.
15.
16.
超流氦沸腾过程中的流态测量研究 总被引:2,自引:0,他引:2
超流氦的沸腾现象具有一般流体的沸腾现象所没有的特异性质。本文运用粒子示踪法对由不同沸腾状态所引起的流态进行了可视化测量并重构了由沸腾所引起的流态图,同时对沸腾过程中的压力振荡进行了测量;并对过渡沸腾状态出现的两种可能性和机理进行了分析. 相似文献
17.