多晶金刚石固结磨料研磨垫精研石英玻璃的性能探索

通过粘结剂将单晶金刚石制成粒径更大的多晶金刚石。采用SEM观察了多晶金刚石的微观形貌,分别制备了单晶和多晶金刚石固结磨料研磨垫,比较了单晶与多晶金刚石固结磨料研磨垫的研磨性能。结果表明:单晶金刚石固结磨料垫与多晶金刚石固结磨料垫精研石英玻璃的表面粗糙度相似;但多晶金刚石固结磨料垫的材料去除率更高且稳定;多晶金刚石在研磨过程中的微破碎,确保了其自修整过程的实现。另外,多晶金刚石研结磨料垫研磨的石英玻璃亚表面损伤层深度小,约为原始单晶金刚石粒径的1/2。     

镍包覆率对固结金刚石磨料研磨垫加工性能的影响

通过化学镀镍的方法,在金刚石磨粒表面包覆一层Ni-P 合金层;采用不同包覆率的金刚石磨料制备固结磨料研磨垫;通过SEM 观察分析金刚石的微观形貌;研究了磨料包覆率对研磨垫加工K9 玻璃过程中的摩擦系数和声发射信号的影响;采用马拉松式试验方法,比较了不同包覆率磨料的研磨垫加工K9 的材料去除速率及研磨后工件的表面粗糙度。结果表明:化学镀镍可以显著改变磨料的表面形貌;研磨过程中的摩擦系数、材料去除速率和工件表面粗糙度均随着包覆率的提高呈现出先增大后减小的趋势;包覆率50%时的金刚石磨料对工件的摩擦力和切入深度最大,研磨垫的磨粒保持与自修整性平衡,加工效率及其稳定性最高。     

超快激光仿生复眼加工研究进展

作为一种典型的微纳光学元件,仿生复眼微视觉系统有机结合了光子学与微纳米技术的前沿科学成果,在机器人视觉导航、无人驾驶、微型飞行器系统等前沿领域具有广阔的应用前景。超快激光加工作为一种先进的制造技术,具有真三维加工、适用多种材料、微纳加工精度等优异特征,已成为制造多级结构仿生复眼视觉系统的理想工具。本文介绍了自然界昆虫复眼的结构特点,阐述和分析了各类型仿生复眼的超快激光加工研究进展,包括平面微透镜阵列、超疏水复眼透镜和大视场复眼透镜,最后分析了超快激光加工技术制备复眼透镜存在的问题和发展趋势,为仿生复眼视觉系统的进一步研究与开发提供有效参考。     

大口径离轴非球面制造技术--研磨、抛光技术

大口径离轴非球面的研磨，抛光技术与计算机控制水平，机械设计能力等相关领域的发展密切相关，美国Itek公司的W.J.Rupp于20世纪70年代初首先出计算机控制非球面加工技术思想，从而开创了非球面元件的数控制造的新纪元。随后以数控机床为基础设施发展了多种研磨、抛光技术、大幅度提高了非球面加工的确定性和面形收敛高效性。     

罗门哈斯扩展高级化学机械研磨VISIONPAD系列

罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad研磨垫系列又增添了两款新品。这两款产品可提供低生产缺陷率、极高的研磨能力和更长的使用寿命。     

不同碱和分散剂对蓝宝石基片研磨的影响

在LED制造工艺中,金刚石研磨液是一种关键的耗材,用于蓝宝石衬底的研磨和外延片的背减薄,但目前金刚石研磨液均以有机物作为分散介质。采用水为分散介质、多晶金刚石微粉为磨料,在相同研磨条件下,研究了不同种类的碱和分散剂对蓝宝石研磨性能的影响。分别采用分析天平称重法和原子力显微镜测试了研磨速率和蓝宝石的表面粗糙度。结果表明,抛光后蓝宝石表面质量和抛光液分散性有严格的依赖关系,而抛光速率和研磨液分散性并不严格相关。最后,采用三乙醇胺为pH值调节剂,Orotan1124为分散剂,获得了相对较高的去除率和较好的表面质量。     

曲面复眼玻璃透镜模压过程仿真研究

为了揭示曲面复眼玻璃透镜光学精密模压过程中各个子眼应力分布变化状况,通过建立有限元模型,应用MSC.Marc有限元软件对不同工艺参数下的玻璃透镜模压、保压阶段进行了仿真研究,得到了温度、模压速率、模压力对各子眼应力的影响规律和模压力、位移曲线。然后,对不同模压方式下应力变化过程进行研究,发现在球形预形体变形量较大的场合,恒速率模压工况会出现随下压量增加导致外力过大、阻碍应力松弛的现象。最后,对保压阶段进行研究,得到了不同保压力对填充效果和子眼应力分布的影响规律。     

太赫兹大孔径折射透镜的焦移特性研究（英文）

研究了利用大孔径折射透镜对太赫兹波进行聚焦时产生的焦移效应。焦移效应所引起的焦点位置偏差会对太赫兹系统的成像或测量质量产生不利影响。通过理论计算和有限元分析仿真,研究并讨论了与透镜孔径、焦距和工作频率有关的焦移参考值。当使用商用透镜时,实际焦点位置需要通过焦移效应来确定,以保证太赫兹系统的工作效率。对于定制透镜的设计,焦移需要根据工作频率,在焦距的设计中进行补偿。这两个途径可以保障太赫兹系统的良好性能。     

红外摄像机用透镜

美国专利US7187505 (2007年3月6日授权)用于3μm～5μm和8μm～14μm红外谱区的非致冷焦平面列阵探测器的问世,已使得工作于这些谱区的红外成像仪的成本、重量和复杂程度大为降低。对于这些红外成像系统来说,剩余的高成本及重量问题便在它     

化学研磨抛光技术在IC制造设备中的应用

IC制造设备中的关键零部件对于其内外表面粗糙度有着很高的要求。传统的研磨抛光技术很难达到这一要求,从而直接影响了IC制造设备的国产化进程。化学研磨抛光技术作为一种新兴的材料表面处理技术,通过化学药液浸蚀方式,可以在短时间内完成对于各种复杂形状零件的内外表面研磨抛光,同时可以使工件表面满足较高的物理化学性能要求,非常适合于IC制造设备中高真空度、高洁净度要求的零部件生产加工。     

人造金刚石热沉的锁相列阵半导体激光器热特性计算分析

用镜象法求解金刚石薄膜和铜组成的热沉中的热传导方程,计算了不同厚度金刚石薄膜对器件温升和各条间温差的影响。     

金刚石薄膜衬底表面不同预处理对薄膜表面形貌的影响

用微波等离子体化学气相沉积（ＣＶＤ）设备，在经过不同粒度的ＳｉＣ研磨粉进行粗化预处理过的金属钼衬底上沉积出了表面形貌有较大差异的金刚石薄膜，分别用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、光学显微镜和Ｘ射线衍射谱（ＸＲＤ）以及Ｒａｍａｎ光谱对样品进行了分析测试，并研究了各样品的场致电子发射特性。结果发现：在我们的实验范围内，对钼衬底研磨预处理所用的ＳｉＣ研磨粉的粒度越大，其上沉积出的金刚石薄膜样品的表面越粗糙；而金刚石薄膜的表面越粗糙，其场致发射的效果也越好。     

罗门哈斯推出高级化学机械研磨(CMP)专用新型VISIONPAD~(TM)产品

<正>在全球半导体行业化学机械研磨(CMP)技术及创新方面处于领先地位的罗门哈斯电子材料公司CMP技术事业部近日宣布其VisionPad?研磨垫系列又增添了二款新品。这二款产品可提供世界级的     

光纤透镜研磨抛光机床伺服系统的研究

介绍了光纤透镜研磨抛光机床的伺服进给系统,在分析伺服进给系统的结构基础上建立系统数学模型,采用频域参数辨识的方法得到了传递函数模型的参数并给出了伺服系统进给轴的开环传递函数。确立了位置控制器的形式,得出当位置控制器为比例积分控制形式时(即PI),可通过合理调节控制器中的参数以改变系统的阻尼比,使系统获得很好的动态特性。这样才能使进给系统稳定地、快速地、精准地完成进给任务以致提高光纤透镜表面研磨抛光精度。     

微晶玻璃研磨加工亚表面损伤深度预测方法及测量

将研磨加工中磨粒与工件表面作用过程近似为受法向载荷和切向载荷共同作用下移动的尖锐压头对表面的作用过程,基于压痕断裂力学理论,分析了移动磨粒作用下材料的应力状态、中位裂纹的成核位置和扩展方向。综合考虑弹性应力场、残余应力场及切向载荷对中位裂纹扩展的影响,给出了中位裂纹扩展长度计算公式。建立了亚表面损伤深度与表面粗糙度之间的理论模型。使用磁流变抛光斑点技术测量了微晶玻璃研磨亚表面损伤层深度。将模型预测理论值与实验测量值进行对比,结果表明两者之间的误差控制在5.56%以内,吻合较好。利用该模型可以实现光学材料研磨亚表面损伤深度的快速、简便和准确预测。     

投影显示系统中的非球面技术

在投影显示装置的光学系统中，采用非球面后，不仅能使投影光学系统的球差、色差和畸变等像差得到校正，而且还能减小系统的几何尺寸和重量。但由于非球面的制造和检测要比球面难得多，这个领域涉及到很多高新技术，所以长期以来我国不能大批量生产非球面透镜。本文简要介绍了非球面制造和检测的主要技术问题。     

美国制造技术实施复杂光学器件制造工装

Edmund光学有限公司已获得美国国防部制造技术计划（ManTech）授予的280万美元合同，负责开发用于生产复杂形状和先进光学器件如非球面透镜的制造工装。非球面透镜能够更好地聚光，而且一个非球面透镜一般在一个光学系统中可以代替几个透镜。国防部投资主要是寻求精密玻璃成型技术，目标是建立小批量和中批量透镜生产的低成本加工方法，从而最终减少复杂光学系统的装配时间，例如高精度夜视和火控系统。     

陶氏电子材料推出两款用于高端集成电路制造的VISIONPAD研磨垫

陶氏电子材料（Dow Electronic）推出两款最新的VISIONPAD研磨垫——VISIONPAD 6000和VISIONPAD 5200。这两款新研磨垫进一步拓展了陶氏在为客户提供改进技术以实现在高端制程上研磨和在现有制程上提高生产力的应用特殊型解决方案方面的能力。