X切H:LiNbO3光波导的工艺仿真研究

对于X切H:LiNbO₃光波导,在532 nm和1310 nm波长下,用棱镜耦合器进行了工艺仿真研究.对于在150℃,180℃和200℃用苯甲酸质子交换的光波导,分别求得交换厚度与交换时间的关系曲线,在此基础上给出质子交换的扩散系数与交换温度的关系曲线.对于在180℃质子交换并在350℃退火的光波导,给出以交换时间(交换厚度）为参变量的表面折射率增量、有效厚度与退火时间的关系曲线.研究结果可供低损耗α相单模波导的设计和制备做参考.     

集成光学 光波导材料与制备

TN2522006010415X切H∶LiNbO3光波导的工艺仿真研究=Technical mod-eling of X-cut H∶Li NbO3optical waveguides[刊,中]/黄韬(中国航天时代电子公司研究院.北京(100854)),金锋…∥光子学报.—2005,34(7).—996-1000对于X切H∶Li NbO3光波导,在532nm和1310nm波长下,用棱镜耦合器进行了工艺仿真研究。对于在150、180、200℃用苯甲酸质子交换的光波导,分别求得交换厚度与交换时间的关系曲线,在此基础上给出质子交换的扩散系数与交换温度的关系曲线。对于在180℃质子交换并在350℃退火的光波导,给出以交换时间(交换厚度)为参变量的表…     

LiNbO3质子交换波导及其退火效应

采用质子交换技术,以苯甲酸为交换源,实验研究X-切LiNbO₃质子交换平面波导及其退火效应。利用棱镜耦合器测出波导模折射率。采用费米函数,由模折射率确定出波导折射率分布随退火时间的变化关系,给出了分布参数和曲线.     

MgO:LiNb0.3与LiNb0.3质子交换光波导光学及结构特征的比较

利用退火的质子交换法在MgO:LiNbO.3和LiNbO.3两种材料上制作了光波导，得到了质子交换的扩散特性以及光波导折射率分布的退火规律．通过x射线衍射和OH-红外吸收谱方法研究了 MgO:LiNbO.3和LiNbO.3质子交换光波导的结构特征及其与退火参数的关系，对MgO :LiNbO.3和LiNbO.3光波导光学和结构特征的结果进行了分析和比较． 关键词： 退火质子交换光波导 晶格结构 x射线衍射 红外吸收     

质子交换LiNbO3光波导的特性研究

采用X射线衍射谱法和红外吸收光谱法对质子交换和退火质子交换LiNbO3光波导的特性进行了研究.研究结果表明:在LiNbO3晶体衬底X射线衍射主峰的左侧出现质子交换LiNbO3光波导的伴峰,则质子交换使光波导层Li1-xHxNbO3的晶格常数比衬底的晶格常数稍大,产生垂直于表面的应变,波导经过退火后,伴峰向主峰靠近,应变减少.质子交换波导中的OH-基团的红外吸收光谱在3 500和3 300 cm-1处存在特征峰,波导经过退火后,3 300 cm-1处的特征峰基本消失,而3 500 cm-1处的吸收强度基本不变.实验还表明,OH-在3 500 cm-1处吸收带的积分面积基本与交换时间的开方呈正比例关系.     

MgO:LiNbO_3与LiNbO_3质子交换光波导光学及结构特征的比较

利用退火的质子交换法在MgO :LiNbO3和LiNbO3两种材料上制作了光波导 ,得到了质子交换的扩散特性以及光波导折射率分布的退火规律 .通过x射线衍射和OH- 红外吸收谱方法研究了MgO :LiNbO3和LiNbO3质子交换光波导的结构特征及其与退火参数的关系 ,对MgO :LiNbO3和LiNbO3光波导光学和结构特征的结果进行了分析和比较     

质子交换铌酸锂多模干涉光功分器的研制

采用退火质子交换工艺在铌酸锂衬底上实现了渐变边界MMI光功分器。测量表明该器件有较好的光均分功能。利用红外光谱技术分析了利用纯苯甲酸质子交换源的退火质子交换波导的红外吸收光谱特性证明通过当地选择质子交换温度、时间和退火的温度与时间，可以实现低损耗质子交换光波导的制作。     

Z切LiNbO3晶体中退火质子交换光波导特性的研究

系统地研究Ｚ切ＬｉＮｂＯ３晶体中质子交换波导和退火质子交换波导的特性,得到了质子交换过程中的扩散常数和激活能。发现了质子交换波导的折射率呈线性阶跃型的折射率分布。通过连续退火,波导的折射率分布由线性阶跃型向高斯型过渡。退火可分为两个阶段,波导深度的增加在第一阶段随退火时间成指数关系,第二阶段与退火时间的平方根成线性关系。     

质子交换LiTaO3光波导特性及晶格常数变化

采用气相质子交换方法,在Z－切LiTaO3晶体表面制备平面光滑波导层。样品制备采用245℃苯甲酸气体,在LiTaO3晶体在－C和＋C表面交换8－20小时。质子交换层在LiTaO3表面形成,并用棱镜耦合测量波导样品。然后在HF：HNO3酸中用化学方法腐蚀波导层,并用电子显微镜观测光波导层与补底界面的形貌。用X射线衍射法,测量LiTaO3质子交换光波层的晶格常数变化。用双晶X射线测量质子交换（PE）和退火质子交换（APE）波导层晶格常数的变化。样品的X射线衍射曲线表明,PE和APE波导晶格常数的变化不同。实验中,还测量了有无极畴反转LiTaO3晶格常数的改变。     

集成光学

集成光学、波导理论TN2522007032549质子交换LiNbO3光波导的特性研究=Study on character-istics of proton-exchanged Li NbO3optical waveguides byX-ray diffraction and infrared absorption spectroscopy[刊,中]/符运良(海南师范学院物理系.海南,海口(571158)),何猛雄…//光谱学与光谱分析.?2006,26(12).?2346-2349采用X射线衍射谱法和红外吸收光谱法对质子交换和退火质子交换Li NbO3光波导的特性进行了研究。研究结果表明,在Li NbO3晶体衬底X射线衍射主峰的左侧出现质子交换Li NbO3光波导的伴峰,则质子交换使光波导层Li1-xH…     

质子交换光波导生长机理的研究

对质子交换光波导生长机理进行了研究并给出了波导层厚度的计算公式。     

气相质子交换LiTaO3光波导及其特性

本文利用苯甲酸气相质子交换技术制备了LiTaO3光波导，测量了Z-切LiTaO3光波导的参数（交换深度d和表面折射率增量△nc）和X-切LiTaO3光波导的红外吸收谱，给出了光波导层的折射率分布，并与液相质子交换热退火光波导的结果进行了比较。实验结果表明：非寻常折射率分布与热退火液相质子交换方法制备的LiTaO3光波导基本相近，但表面非寻常折射率增量（△nc）更大，其折射率分布更接近于高斯型。     

质子交换光波导生长动力学研究

分析了质子交换光波导的生长动力学并给出了波导层厚度与生长时间的计算公式。     

集成光学 光波导材料与制备

TN252 2006032263质子交换铌酸锂波导的退火工艺=Annealed technology ofproton exchange Li NbO3waveguide[刊,中]/罗辉(电子科技大学光电信息学院.四川,成都(610054)) ,戴基智…∥光电子技术与信息.—2006 ,19(2) .—17-214介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性。图5参14(严寒)集成光学 光波导材料与制备     

掺镁铌酸锂质子交换光波导光学性能的研究

本文用质子交换反应在5mol％MgO:LiNbO_3晶体中引起了e光折射率的增加,晶体中MgO的存在并不影响LiNbO_3质子交换光波导阶跃型折射率分布的特点。用常规的质子交换法制备的MgO:LiNb·O_3波导存在着损耗大和有效折射率不稳定的缺点,经过退火处理后,这些缺点可明显地得到改善。     

质子交换和热退火LiTaO3光波导特性

本文报道了质子交换ＬｉＴａＯ３光波导层的晶格常数变化、质子浓度分布和折射率分布以及红外吸收谱等的测量方法和结果，并与热退火后的测量结果进行了比较。实验结果表明：热退火处理的光波导其非寻常折射率的增高不依赖于质子浓度。     

质子交换的新型集成光学TM通偏振器的研究

提出了用扩钛和质子交换相结合的方法在x-切,y-传的LiNbO3 衬底上制成TM 通集成光波导偏振器的新方案, 即在扩钛波导两侧的适当位置引入锯齿形的质子交换区。用二维BPM法分析了这类新型偏振器的消光特性, 给出了质子交换区几何形状以及质子交换区与扩钛波导之间的间隙对TE波消光比的影响, 给出了数值分析结果, 并得到了优于23 dB的实验结果     

质交换的新型集成光学TM通偏振器的研究

提出了用扩钛和质子交换相结合的方法在ｘ－切,ｙ传的ＬｉＮｂＯ３衬底上制成ＴＭ通集成光波导偏振器的新方案,即在扩钛波导两侧的适当位置引入锯齿形的质子交换区。用二维ＢＰＭ法分析了这类新型偏振器的消光特性,给出质子交换区几何开头以及质子交换区与扩钛波导之间的间隙对ＴＥ波消光比的影响,给出数值分析结果,并得到了优于２３ｄＢ的实验结果。     

焦磷酸质子交换LiTaO3光波导

本文首次报道了在低于300℃的焦磷酸中制备质子交换LiTaO_3光波导的方法。通过测量有效扩散系数D给出D_0=3.91×10~6μm~2/h和激活能E_a=0.74eV;并测量了波导参数。实验结果表明:只有非寻常折射率产生增量△n_6,其中TM单模波导的传输损耗低达0.1dB/cm(633mm)。发现,热退火处理后的波导表面非寻常折射率增大了。     

铌酸锂质子交换波导中切伦科夫倍频实验研究

报道了质子交换铌酸锂平板波导中切伦科夫倍频蓝绿光输出研究。理论上计算了质子交换波导参数对不同基波波长倍频转换效率的影响。制备出适合于蓝绿光输出的铌酸锂质子交换波导并观测到较高转换效率的倍频光产生,实验中我们测量了倍频转换效率与抽运动率以及抽运波长的关系,实验结果与理论预测吻合。