硅化物支持先进的栅叠层结构

在多晶硅／二氧化硅栅被使用了40多年之后,产业界面临着转向高k／金属栅堆叠的挑战。我们正在目睹一个时代的结束。硅化(silicidation),历史上曾用于接触的金属化,在三种有竞争力的45nm及以下节点的高k／金属栅解决方案中显得尤为突出。经过多年对可变性的重点关     

用光谱分析法测量单模光纤的偏振模色散

本文介绍了光谱分析法测量单模光纤偏振模色散（ＰＭＤ）的理论根据和测试实验装置以及实测结果。由于目前单模光纤偏振模色散测试仪表价格昂贵,所以本文介绍的方法很有实用价值。     

用于真空在线测量的离轴非球面结构反射差分光谱仪设计与实现

基于旋转补偿器的反射差分光谱(RC-RDS)技术是 具有亚单层光学灵敏度的高精度表面表征方法,其全光谱快 速测量性能,特别适合在线检测。为满足真空在线测量的应用需求,综合考虑使用空间、工 作距离、光束 直径、光谱宽度和通光率等限制因素,提出了基于离轴抛物(OAP)反射镜的光学测头设 计方案,构建的测试样机 实现了有效工作距离大于50cm、光斑直径小于6.5mm和光谱范围涵盖280～825nm等性能。实验研究了超高 真空环境Cu(110) 样品在退火处理中的RDS,仪器详细记录了信号随温度的演 变过 程,测量精度优于3×10－4,表明新方案满足真空环境下表面 高灵敏光学测试的需求。     

利用光学多道仪（OMA）实时在线测量微小物体尺寸的研究

本文介绍了一种利用光学多道仪测量微小物体尺寸的方法。从物体的散射光分布推算被测物体尺寸，并给出实测结果，研究表明应用此方法在研究和生产过程中对微小物体进行在线测量是可行的。     

融合BOTDA的光缆在线监测系统架构

文章系统研究了在当前EFOMS(光缆在线监测系统)上集成BOTDA(布里渊光时域分析)技术设备控制的可行性及相关方案设计,并且按照该方案分别针对EFOMS监测中心和监测站的功能结构进行改进,组建了更为完善的新一代电力特种光缆在线监测系统。该系统相比普通光缆监测系统提供了针对应力及温度的分析和测量,这对光缆分析具有重要意义。     

一种在线测量电阻的测量方法

本文介绍了一种简单的应用集成运算放大器测量在线电阻的方法,这种方法对阻值较小的电阻有一定误差,但测量结果能满足正常的需要.     

基于OTDR的无源光网络在线监测系统研究

从无源光网络(PON)着手,首先简单介绍了PON的主要特点及其发展现状.在强调了PON网络全光在线监控系统的必要性及重要性后,着重描述了四种基于光时域反射仪(OTDR)的PON全光在线监测系统并分别概括了它们的特性,最后还列举了这四种监测系统的性能对比情况.     

一种直流系统的系统电容在线测量方法

提出一种在直流电源系统中系统对地电容的测量方法。该方法可以在不影响直流电源系统正常运行的情况下,在线完成测量直流系统对地的各种参数,再根据各种参数计算出系统对地电容的大小。这种方法不需要改变直流电源系统的现有结构,也不需要系统处于停电状态。该方法既安全又可靠,可应用于解决直流电源系统对地电容在线测量的问题。     

基于非相干光频域反射技术的高精度光纤网络健康在线监测系统

随着我国高速、大容量、宽带网络的快速发展以及军用短距离战术通信系统的广泛应用,对于通信网络中光纤及无源器件故障的精准定位与实时在线监测日趋重要。本文基于非相干光频域反射(IOFDR)技术机理,以光纤中后向瑞利散射光作为信号光,并结合光波传导方程,提出了一种低成本、高精度、分布式光纤质量检测方法,并对其数值模型进行了详细推导,设计系统结构,研制系统样机。通过实验验证,采用非相干连续光源,可以以较低的光功率(<10 mW)初步实现10 km光纤的分布式检测,并可保证光纤沿线无差异的空间分辨率0.1 m,动态范围优于34.5 dB,事件盲区极小,可有效解决传统光时域反射技术(OTDR)的注入功率大、空间分辨率低、事件盲区大以及相干光频域反射技术(COFDR)成本高、体积大、测量距离有限等问题,是一种极具发展潜力和推广价值的高精度光纤网络在线健康监测技术。     

一种改进的单帧变形条纹在线三维测量方法

分析了单帧相位测量轮廓术(PMP,phase measuring profilometry)中影响测量精度的因素,提出了基于改进的Stoilov等步算法的在线三维测量方法,从而避免了CCD采图过程中由于抽样、量化以及取整造成的条纹周期部分缺失对满周期等相移算法的影响。较等相移满周期算法,Stoilov等步算法具有只需相移步长相等、相移步数与相移量乘积无需2π整数倍的优点,降低了对子图相移量的要求,提高了基于单帧图像的条纹投影轮廓术用于在线检测的精度。计算机模拟和实验均验证了本文方法较等相移满周期算法精度提高了3～5倍。     

混沌激光相关法光纤断点定位仪及其应用的实验研究

提出并研制了一种与距离无关的等精度混沌激光相关法光纤断点定位仪。该光纤断点定位仪采用光反馈半导体激光器产生的宽带混沌激光作为光源,利用相关法实现对光纤网络反射事件的定位。测试结果表明,该光纤断点定位仪可实现0.5 m且与距离无关的等精度检测,其4%菲涅耳反射光动态范围为19.8 dB,灵敏度小于-58 dB。     

基于ARM和μC／OS-II的在线磷酸根离子监测仪设计

基于火电厂磷酸根离子在线测量的精度和稳定性需要,该磷酸根离子监测仪是依据磷钒钼黄分光光度法原理,采用高性能的ARM微控制器和稳定可靠的μC／OS-II操作系统来完成在线式磷酸根离子检测仪管理控制系统的要求。系统智能化程度高、操作简便、稳定性高、功耗低、测量结果精确可靠,可以满足火电厂对水质的磷酸根离子含量监测的需要。     

一种适合在线三维检测的改进算法

引入Stoilov算法以让传统相位测量轮廓术(PMP)应用于在线三维检测,但该算法的计算式中含有开方和除法运算,对投射数字光场,CCD摄像头的数字化非线件误差以及环境光干扰较为敏感,会出现较大的解相误差.为此,提出了一种适合在线三维检测的改进型Stoilov算法,通过像素匹配方法标定移动步距S和基于标准PMP的截断相位解相标定条纹周期长度L,再标定出楣移量△,即可修正sin△值,有效减小了原Stoilov算法公式的解相误差,提高了在线检测精度.为验证该方法的可行性和有效性,进行了实物测试实验.实验表明,在在线三维测量中,采用原始Stoilov算法重构的三维物体出现明显的失真,而采用改进的Stoilov算法重构的三维物体具有很好的保真度.     

RF-PECVD法制备a-Si1-x Cx:H薄膜的光学性能研究

以SiH4和CH4为源气体,采用射频等离子增强化学气相沉积(RF-PECVD)方法,通过改变CH4/SiH4流量比和射频功率制备非化学计量比氢化非晶碳化硅(a-Si1-x Cx:H)薄膜.采用傅里叶转换红外光谱(FTIR)和紫外-可见(UV-Vis)光谱等测试手段,对薄膜的成键情况及其对光学带隙的影响进行了研究分析.结...     

基于传输反射法的等离子体相对复介电系数测量

为解决微波激发等离子体参数诊断存在的困难问题,提出利用二端口传输反射法测量微波激励产生的低温等离子体的等效相对复介电系数。使用有限元方法设计了基于BJ22标准波导的样品测试结构,该结构能在较大的介电系数范围内,保证介电系数和端口的|S11|,φS11和|S21|参数保持较好的单调性,避免产生多值问题;通过人工神经网络对计算获得的各介电系数对应的S参数进行训练,达到足够的精确度;最后通过实验,将测量获得的S参数利用神经网络反演获得待测物质的相对复介电系数。该方法对今后测量类似等离子体、复介电系数实部为负的特殊材料的介电常数具有一定的指导意义。     

基于图像拼接和双频投影栅线法的三维形貌测量

为解决采用光栅投影式三维轮廓术测量物体三维形貌时,出现的条纹图样的不连续性,利用计算机编程,生成由两种不同频率合成的复合光栅,将它投影到被测物体上,并将被测物体放在精密的旋转平台上,通过二次成像后对两幅图像进行图像拼接,得到清晰的被光栅调制的物体图像,再对图像进行傅里叶变换,然后采用滤波器滤出相应的高频和低频成分,利用低频光栅的相位差辅助解出高频光栅的真实相位差,从而实现物体的三维形貌重建.结果表明,本方法简单、精度高,可以成功解决有突变面形和投影时具有阴影的物体的三维形貌测量问题.