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同步辐射光刻技术是Ｘ射线光刻技术的重要发展,适用于深亚微米乃至纳米级图形的超微细加工,特别是ＬＩＧＡ技术的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域．使它不仅适合于超大规模集成电路等平面微结构的加工,也适合于具有复杂构造的三维立体结构和器件的制作．文章简要介绍了ＮＳＲＬ光刻光束线和实验站概况及研究工作进展． 相似文献
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简要地阐述了同步辐射的优越性，介绍了国家同步辐射实验室光电子能谱站与光束线的设备，综述了国内主要用主站工作人员在金属／半导体界面等方面所开展的工作和一些结果。 相似文献
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中国科技大学国家同步辐射实验室"光谱辐射标准与计量实验站"上的反射率计主要用于测量各种光学元器件在X射线、真空紫外波段的反射率.为保证测试结果的精确性和可靠性,在大量实验数据的基础上,结合必要的理论推导,对反射率计测试误差来源及影响程度进行了分析,确定影响反射率计测试精度的主要因素包括光源、探测器、样品安装等.总结了光源波动、探测器损坏的几种典型形式,定性、定量地分析了这些因素和样品安装、光斑尺寸对测试精度的影响,针对性地提出了应对办法,把测试误差控制在2%以内,从而有效地保证了测试精度. 相似文献
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合肥国家同步辐射实验室的现状与发展 总被引：1，自引：0，他引：1
简要介绍了中国科学技术大学合肥同步辐射实验室的运行情况、开展同步辐射应用研究的现状和今后的发展计划，同时还介绍了同步辐射研究的发展趋势，对有可能取得重大突破的几个方面作了估计。 相似文献
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简单介绍了合肥国家同步辐射实验室二期工程中的原子分子实验站,对 该实验站的特色及主要性能指标也做了简单叙述。 相似文献
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美国阿贡国家实验室同步辐射装置正在积极开展大分子结构研究０年代末、７０年代初第一代同步辐射装置开始出现，它是利用已有的高能物理研究用的同步加速器和贮存环建立起来的，采用“寄生的”模式运行，其Ｘ射线的亮度比常规Ｘ射线装置约大１０４倍．８０年代初期，开始... 相似文献
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光，或者更普遍地说电磁辐射，是人类观察和研究自然界所不可缺少的工具．同步辐射这种具有许多优异特性的电磁辐射更不例外，虽然发现的时间不长，却已广泛应用于许多科学和技术领域，推动了科学技术的长足进步．我国于１９７８年开始筹建自己的同步辐射光源──合肥国家同步辐射光源．它由一台 ８００ＭｅＶ电子储存环和一台 ２００ＭｅＶ直线加速器注入器组成．它于 １９８４年 １１ 月动工，１９８９年 ４月建成出光，１９９１年６月调试结果，其主要性能指标已达到国际先进水平．本文重点介绍合肥国家同步辐射光源，同时还阐述同步辐射和同步辐射光源的一些基本问题． 相似文献
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早在本世纪20年代,人们巳经通过实验发现,物质对X射线的吸收曲线在吸收限的高能一侧,不是单调变化,而有振荡现象. 相似文献
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同步辐射光源从发展角度来看,大致可分为三代:第一代是回旋加速器的附产物,兼作同步辐射光源用;第二代有专为同步辐射实验而设计的装置;目前正在兴建的第三代是为了获得最佳辐射,弥补现存机器不足处,以便为各方用户提供更多、更佳的使用机会.其特点是在装置中可安装更多插入元件──即波荡器(undulator)和摇动器(wiggler).正、负电子经这些元件产生辐射.同步辐射光源具有从红外到X射线的光滑连续谱,单色性和准直性好,辐射强度和亮度高,广泛用于光核反应、原子和分子物理、固体物理、表面物理、化学、生物学、医学、材料科学、光刻技术和显… 相似文献
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