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同步辐射光刻技术是Ｘ射线光刻技术的重要发展,适用于深亚微米乃至纳米级图形的超微细加工,特别是ＬＩＧＡ技术的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域．使它不仅适合于超大规模集成电路等平面微结构的加工,也适合于具有复杂构造的三维立体结构和器件的制作．文章简要介绍了ＮＳＲＬ光刻光束线和实验站概况及研究工作进展． 相似文献
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光，或者更普遍地说电磁辐射，是人类观察和研究自然界所不可缺少的工具．同步辐射这种具有许多优异特性的电磁辐射更不例外，虽然发现的时间不长，却已广泛应用于许多科学和技术领域，推动了科学技术的长足进步．我国于１９７８年开始筹建自己的同步辐射光源──合肥国家同步辐射光源．它由一台 ８００ＭｅＶ电子储存环和一台 ２００ＭｅＶ直线加速器注入器组成．它于 １９８４年 １１ 月动工，１９８９年 ４月建成出光，１９９１年６月调试结果，其主要性能指标已达到国际先进水平．本文重点介绍合肥国家同步辐射光源，同时还阐述同步辐射和同步辐射光源的一些基本问题． 相似文献
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受中国物理学会发光分科学会的委托,中国科技大学物理系于今年四月下旬在合肥主办了这个基础理论讨论会。一方面,作为学会的经常性学术活动之一,其目的在于从理论和实际的结合上同时促进我国发光实验研究和理论研究的提高和发展;另一方面,由于序列性(三年一度)的国际发光会议将于1987年在北京召开(ICL’87),这次讨论 相似文献
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纳米科学是一门集基础科学和应用科学于一体的新兴科学,主要包括纳米电子学、纳米材料和纳米生物等科学．纳米科学主要是指在纳米尺度甚至在原子尺度上对物质表面和内部的结构以及单分子表面和内部的结构进行观测、分析研究和加工．近年来,扫描隧道显微镜和原子力显微镜... 相似文献
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中国声学学会主办的首届全国量子声学讨论会于1985年6月22—25日在中国科技大学召开.与会代表32人,报告了学术论文28篇.中国声学学会副理事长魏荣爵教授、魏墨鑫教授出席了会议.在开幕式上魏荣爵教授作了题为“声学——从经典到量子、从线性到非线性”的综述报告.中国科技大学校长管维炎教授也参加了会议,并做了题为“声子——准粒子”的报告. 量子声学是声学领域中一个崭新的分支,是声学和凝聚态物理的交叉领域,具有旺盛的生命力.近年 相似文献
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1993年青年学者凝聚态物理学讨论会于 7月 5日在京拉开帷幕.来自美国、日本、德国、法国、芬兰、加拿大、澳大利亚和香港等八个国家和地区的近30名海外学子和30多名国内青年凝聚态物理学工作者,在这里与他们的导师以及一些国内著名科学家济济一堂,进行为期5天的学术活动. 中国科学技术协会主席朱光亚教授、中国科学院副院长王佛松教授,以及国家科学技术委员会、国家教育委员会和有关研究所与高等院校的有关领导及其专家学者出席了会议.我国著名物理学家周培源教授为这次讨论会的顺利召开题词祝贺:“中国物理学的发展希望寄托于年青的物理学… 相似文献
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