STM在微细加工中的应用

 已提出的各种可能机理有束流引起的化学反应,高电流密度使表面局部区域内原子加热导致的局部原子的蒸发、熔化、再结晶等,有些结构可能是由于污染物或针尖材料在表面上的沉淀而产生的.当样品表面有覆层或处于特定的气体或液体氛围下时,用STM仍可在其上产生各种细微结构,其主要方法可分为两类,其一是电子束光刻,其二是电子束辅助淀积和刻蚀,以下分别进行讨论。     

微离子束技术及其在微细加工中的应用

二十多年前,著名的美国物理学家费曼说过：如果微细加工技术能加工线度８ｎｍ的图形,就可以把二十四卷《大英百科全书》刻在一个针尖上．今天,他的预言正在变成现实,微离子束的束斑直径已达到１０ｎｍ．由于计算机和空间技术的需要,微电子学迅速发展,集成电路的集成度越来越高,目前已制成５１２Ｋ的ＲＯＭ．要求微细加工的线度在亚微米量级（图１）．早在１９５４年,Ｗ,Ｓｈｏｃｋｌｅｙ在提出离子掺杂工艺时就设想用?...     

STM在微加工中的应用

有关STM在表面形貌及电子结构研究方面的应用已有多篇综述文章。实际上,STM不仅可作为表面分析的一种手段用来研究表面性质,它还可作为一种表面加工工具在毫微米级尺度上对各种表面进行刻蚀     

STM在微加工中的应用

 由王大文博士、白春礼研究员所撰写的这篇文章,学部委员朱洪元先生的评语是:“本文介绍了扫描隧道显微镜(STM)在微细加工中的应用,内容充实,表达清晰,是介绍最近几年才开始发展起来的这一领域的一篇很好的文章,可以在本刊发表.”王大文,女,1962年12月出生,1990年获清华大学工学博士学位.曾经从事分子束外延(MBE)及金属/半导体界面方面的基础研究工作,现在中国科学院化学研究所从事扫描隧道显微学及材料表面结构方面的研究工作.已在国内外学术刊物上发表论文十余篇.白春礼,男,1953年9月26日出生.中国科学院化学研究所研究员,扫描隧道显微学研究室主任.1985年获博士学位,1985-1987年在美国加州理工学院做博士后研究,主要从事扫描隧道显微术和扩展X射线吸收精细结构谱(EXAFS)的工作.从事的研究领域有扫描隧道显微学、X射线晶体学、分子力学和结构化学.主持研制的扫描隧道显微镜获1990年国家科技进步二等奖,主持研制的原子力显微镜获中科院科技进步一等奖.另外作为负责人或主要参加者的项目获三项中科院科技进步二等奖,并获中国科协青年科技奖、中科院青年科学家奖、中国化学会青年化学奖,有突出贡献的博士学位获得者和全国先进工作者称号.在国内外学术刊物上共发表文章60余篇.     

基于LabView的监测系统在微细电火花加工中的应用

电火花加工过程中，间隙内进行能量转换，间隙状态的优劣直接影响脉冲电能的转换效果，在微细电火花加工过程中这种影响更加明显。同时，这也是评判放电加工是否顺利进行的主要标准。在科研生产过程中，需要对放电状态，特别是微细电火花放电加工过程中的波形进行研究，因此，组建了一套用于采集放电波形、检测放电状态的放电监测系统。     

飞秒激光在三维微细体系中的应用

飞秒激光的超快特性使其能以极低的脉冲能量获得超强光场,并且激光加照区淀积的能量能以通过热扩散途径逸出辐照区域,其与透明物质相互作用是通过双光子或多光子吸收过程实现,故作用区限域于焦点核心很小体积内,因而在三维微制备及生物医学领域有着独到优势。文章介绍了飞秒激光应用于微爆炸、高密度三维光学数据存储、直写光波导及三维光子晶体制备、生物医学工程等方面的最新进展。飞秒激光三维微制备技术在微电子、计算机、光通信、生物医学等高技术领域有着广阔的应用前景。     

微细加工技术与设备

TN305.7 2004010743 光栅干法刻蚀与湿法刻蚀的研究=Research on dry-etching gratings and wet-etching gratings[刊,中]/罗飚(武汉邮电科学研究院.湖北,武汉(430074)),陈永诗…∥光学与光电技术.—2003,1(1).—54-56 分别就光栅的制作中的两种方法—湿法和干法的实     

微细加工技术与设备

论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及     

微细加工技术与设备

TN3052007010852微细光成形和LiGA工艺集成的可行性分析=Study onfeasibility of integration of micro stereolithography and Li-GA[刊,中]/王翔(中国科学技术大学.安徽,合肥(230026)),赵钢…//中国机械工程.—2006,17(10).—1051-1055对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究,将其与微细电铸等工艺集成,提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法,并从原理上验证了两者集成的可行性,为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新…     

微细加工技术与设备

TN305.7 2004032328 光刻法制备聚合物/液晶光栅=Preparing polymer liquidcrystal grating by photolithography[刊,中]/马骥(中科院长春光机所.吉林,长春(130022)),刘永刚…∥功能材料与器件学报.—2003,9(3).—309-312     

微细加工技术与设备

TN305.7 2004064472 用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅=Tri-layer resist fabrication technology of T-shaped gate using X-ray lithography[刊,中]/孙加兴(中科院微电子中心.北京(100029)),叶甜春…∥半导体学报.—2004,25(3).—358-360 采用三层胶工艺X射线光刻制作T型栅,一次曝光、     

微细加工新方法——LIGA技术

本文介绍了一种微细加工新方法ＬＩＧＡ（ｉｎＧｅｒｍａｎ　ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ,ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果