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相似文献
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Si/SiGe/Si双异质结晶体管异质结势垒效应(HBE)研究   总被引:12,自引:2,他引:10  
张万荣  曾峥 《电子学报》1996,24(11):43-47
本文研究了不同温度下Si/SiGe/Si双异质结晶体管异质结势垒效应,研究发现,集电结处价带能量差△Ev越大,HBE越明显,在给定的△Ev下,随着温度的降低,HBE越显著。  相似文献   

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SiGe/Si异质结双极晶体管   总被引:2,自引:1,他引:1  
介绍了SiGe/Si异质结双极晶体管的特点,自对准HBT、非自对准HBT的结构以及通过低温热循环、SPOTEL、重硼掺杂等工艺使fT从20GHz增至110GHz的方法。  相似文献   

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阐述了InP/InGaAs异质结双极晶体管的最新发展动态,重点讨论了HBT的结构与性能以及HBT IC的高速性能与可靠性问题。  相似文献   

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郭宝增 《半导体学报》1998,19(10):764-772
本报道了Si/Si1-xGex应变异质结双极晶体管(HBT)交直流特性的仿真结果,通过用叠代法求解漂移-扩散方程的数值解,确定器件的直流特性,再利用瞬态激励法,求解器件的交流特性参数,将基区Ge摩尔含量x为0.2,0.31的HBT的模拟结果分别与有关献报道的实验结果进行了比较,两的结果符合良好。  相似文献   

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最高振荡频率为46 GHz的GaInP/GaAs异质结双极晶体管   总被引:2,自引:2,他引:0  
最高振荡频率为46 GHz的GaInP/GaAs异质结双极晶体管钱峰,陈新宇,肖秀红,姚晓峨,周天舒,潘菁,陈效建(南京电子器件研究所,210016)齐鸣,李爱珍(中科院上海冶金所,200050)Af_(max)=46GHzGaInP/GaAsHBT...  相似文献   

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用俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)结合氩离子溅射深度剖析对一系列不可X值的AlxGa1-xAs/GaAs异质结材料中各主元素的分布及化学状态物相对含量的变化进行了分析,发现Al向表面偏析的现象及As和Al的择优溅射问题,并对此进行了讨论。同时用XPS法进行了Al的定量分析,并与光致发光法(PL)测得的x值进行了对比,发现二者有非常好的线性关系。  相似文献   

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本文综述了国外Si/Si_(1-x)Ge_xHBT的发展状况,把出Si_(1-x)Ge_xHBT的特点和优越性,分析了Si_(1-x)Ge_xHBT的制造技术和设备要求,指出了Si/Si_(1-x)Gex器件的应用前景。  相似文献   

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由于晶格的反转和随之而来的极化场的反转,N极性面氮化物材料已经成为微波功率器件应用的理想材料之一。在2英寸(1英寸=2.54cm)偏角度4H-SiC衬底上通过金属有机物化学气相沉积(MOCVD)的方法生长了N极性面GaN/AlGaN异质结材料,使用X射线衍射仪(HR-XRD)、原子力显微镜(AFM)、Raman光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)等对材料进行了表征。结果表明,N极性面GaN/AlGaN异质结材料的二维电子气面密度和迁移率分别为0.92×1013cm^(-2)和1035cm^2/(V·s)。制备了N极性GaN/AlGaN异质结场效应晶体管(HFET)。测试结果表明,1μm栅长的n极性面GaN/AlGa NHFET器件峰值跨导为88.9mS/mm,峰值电流为128mA/mm。  相似文献   

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用自组装的氨源分子束外延 (NH3-MBE)系统和射频等离子体辅助分子束外延 (PA-MBE)系统在 C面蓝宝石衬底上外延了优质 Ga N以及 Al Ga N/Ga N二维电子气材料。Ga N膜 (1 .2 μm厚 )室温电子迁移率达3 0 0 cm2 /V· s,背景电子浓度低至 2× 1 0 1 7cm- 3。双晶 X射线衍射 (0 0 0 2 )摇摆曲线半高宽为 6arcmin。 Al Ga N/Ga N二维电子气材料最高的室温和 77K二维电子气电子迁移率分别为 73 0 cm2 /V·s和 1 2 0 0 cm2 /V· s,相应的电子面密度分别是 7.6× 1 0 1 2 cm- 2和 7.1× 1 0 1 2 cm- 2 ;用所外延的 Al Ga N/Ga N二维电子气材料制备出了性能良好的 Al Ga N/Ga N HFET(异质结场效应晶体管 ) ,室温跨导为 5 0 m S/mm(栅长 1 μm) ,截止频率达 1 3 GHz(栅长 0 .5μm)。该器件在 3 0 0°C出现明显的并联电导 ,这可能是材料中的深中心在高温被激活所致  相似文献   

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报道了GaAs/InGaAs异质结双杨功率场效应晶体管的设计考虑、器件结构和制作,讨论了所采用的一些关键工艺,给出了器件性能。在12GHz下,最大输出功率≥130mW,增益≥12dB,功率附加效率≥30%。  相似文献   

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