基于红外双光路的薄膜在线测厚系统的研究

红外测厚是薄膜在线测厚的主要方法之一,为了解决传统的红外测厚方法中尚存在的易受光源稳定性的影响、不适用于高速薄膜生产线等缺点,采用双光路参比测量的方法设计了一种双光路红外测厚系统,系统将光源的光分成测量路和参考路两路,并使用单个CCD同时收集两路光作为光强传感器。描述了系统的成像原理,讨论了系统对朗伯定律的适用性,最后通过对聚乙烯和聚四氟乙烯薄膜的标定实验论证了系统的精度。结果表明,该方法精度高、鲁棒性好,且能够有效避免光源不稳定带来的影响。     

一种新型激光测厚装置的设计

为了实现对热轧钢板的在线厚度测量,建立了自动激光测厚系统。对该系统所采用的机械设计、光路设计、基于MATLAB的图像算法等进行了研究。首先使用激光器将激光倾斜投射到待测钢板的侧面上,并在激光器前方设置一块挡板,挡住水平方向上的部分光线。接着使用工业摄像机将被测板上的激光光斑成像于CCD靶面上。然后根据CCD上挡板所成像的位置计算出钢板的离焦量。最后根据CCD上钢板侧面所成像高和钢板的离焦量与待测板厚的几何关系,计算出钢板的厚度。结果表明,钢板厚度为8mm～120mm时,系统测量精度为0.32mm,低于测量系统要求的0.5mm;测量系统受高温辐射影响较小。能够满足工业生产线上热轧钢板自动厚度测量的稳定性好、精度高、受外界干扰小等要求。     

基于优化控制点监测的Laplace变形曲面复现

针对装配过程中曲面变形检测工程强度大、处理过程繁琐等问题,提出一种基于优化控制点监测的Laplace曲面复现技术。首先,按照约束方式不同对构件进行模型简化,通过对简化模型挠曲线定性分析进行控制点点位布设和间距优化;其次,通过以质心为基准按长度等比例映射在源模型和现实变形构件之间建立关系,以确定源模型上对应的控制点坐标;在此基础上对曲面进行Laplace变形,以达到复现曲面能够切实反映真实变形构件的目的。通过实验从一般尺寸规则曲面推广到以机翼为代表的大尺寸复杂曲面,其重建精度93%可控制在0.1 mm以内,能切实反映构件实际变形,在实际应用中具有重要的工程指导意义。     

优化自动化测试系统的测量精度

引言 在测试测量应用中,工程师们经常会听到的一个术语就是测量精度.对于自动化测试系统而言,测量精度不仅是评估其性能的一个至关重要的参数,也是科学家们不断努力希望提高的一个指标.     

Overlay mark optimization for thick-film resist overlay metrology

For thick resist implant layers, such as a high voltage P well and a deep N well, systematic and uncorrectable overlay residues brought about by the tapered resist profiles were found. It was found that the tapered profile is closely related to the pattern density. Potential solutions of the manufacturing problem include hardening the film solidness or balancing the exposure density. In this paper, instead of focusing on the process change methodology,we intend to solve the issue of the overlay metrology error from the perspective of the overlay mark design. Based on the comparison of the overlay performances between the proposed overlay mark and the original design, it is shown that the optimized overlay mark target achieves better performance in terms of profiles, dynamic precision,tool induced shift (TIS), and residues. Furthermore, five types of overlay marks with dummy bars are studied, and a recommendation for the overlay marks is given.