共查询到19条相似文献,搜索用时 46 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
基于条纹反射的非球面镜三维面形测量 总被引:2,自引:1,他引:2
提出一种利用条纹反射原理测量非球面镜的新方法.测量过程中,利用液晶屏显示正弦条纹,由摄像机记录由待测镜面反射产生的条纹图.并将显示屏和摄像机分别沿待测镜面轴向移动.摄像机在每个移动位置上,记录下显示屏移动前后产生的两幅条纹图.通过相移方法,得到条纹图的相位信息后,对摄像机上每个象素点,能在待测镜面卜找到一个对应待测点,并在获得该待测点的梯度信息的同时,获得该点位置坐标信息.最后通过积分,恢复待测镜面的三维高度信息.该方法不需辅助反射镜与干涉仪,能更加方便灵活地测量非球面镜.并且该方法有较好的抗噪性能,在噪声较大的情况下,仍能对非球面镜进行测量.模拟及初步实验均验证了该方法的可行性. 相似文献
6.
7.
为了提高光学系统的成像质量,对离轴抛物面反射镜的面形准确度要求越来越高,这大大增加了反射镜的加工难度.本文基于波像差理论,分析了在离轴抛物面反射镜中调整量引入的波像差,提出通过适当调整离轴抛物面反射镜的位置补偿反射镜的面形误差,可以降低离轴反射镜的加工难度、缩短其加工周期、减少加工成本.并借助于ZEMAX软件对一块面形准确度低于λ/40RMS(λ=632.8nm)离轴抛物面反射镜进行仿真实验,根据理论计算的调整量调整反射镜的位置,得到了补偿后的离轴抛物面反射镜的面形误差小于λ/60RMS,仿真结果表明在离轴抛物面反射镜中引入适当的调整量可以有效地补偿反射镜的面形误差. 相似文献
8.
为了提高光学系统的成像质量,对离轴抛物面反射镜的面形准确度要求越来越高,这大大增加了反射镜的加工难度.本文基于波像差理论,分析了在离轴抛物面反射镜中调整量引入的波像差,提出通过适当调整离轴抛物面反射镜的位置补偿反射镜的面形误差,可以降低离轴反射镜的加工难度、缩短其加工周期、减少加工成本.并借助于ZEMAX软件对一块面形准确度低于λ/40 RMS (λ=632.8 nm)离轴抛物面反射镜进行仿真实验,根据理论计算的调整量调整反射镜的位置,得到了补偿后的离轴抛物面反射镜的面形误差小于λ/60 RMS,仿真结果表明在离轴抛物面反射镜中引入适当的调整量可以有效地补偿反射镜的面形误差. 相似文献
9.
矢量非傍轴离轴高斯光束的传输 总被引:1,自引:0,他引:1
基于矢量瑞利-索末菲衍射积分公式,得出了波动方程的一个解,它代表矢量非傍轴离轴高斯光束,其在自由空间的传输方程表示为解析的结果.矢量非傍轴离轴高斯光束的轴上和远场公式,矢量非傍轴高斯光束的传输方程,以及傍轴的结果都可作为一般表达式的特例而得出.研究表明,f参数对光束的非傍轴特性有重要影响,而离心参数也影响非傍轴行为.与共轴情况不同的是,对离轴情况,在y方向存在场的纵向分量.关键词:激光光学矢量非傍轴离轴高斯光束瑞利-索末菲衍射积分f参数离轴参数 相似文献
10.
为满足离轴非球面镜在光学检验前的面形检测需求,对使用激光跟踪仪测量离轴非球面的方法进行了研究.详细介绍了使用激光跟踪仪测量离轴非球面的检测步骤及数据处理方法.使用激光跟踪仪对一处于研磨阶段的口径为150 mm,顶点曲率半径为1200mm,离轴量为240 mm的离轴抛物面镜进行了测量,进行了测量不确定度分析并与三坐标测量机的测量结果进行了比对.结果显示激光跟踪仪与三坐标测量机的面形测量峰-谷值一致性优于1μm.分析及实验结果表明此检测方法简单易行,灵活通用,适用于离轴非球面抛光前的面形检测. 相似文献
11.
叙述了三块离轴量为140mm,表面波差≤λ/10离轴抛物面镜的磨制工艺及工艺参数,并对此工艺进行讨论。 相似文献
12.
主动抛光盘技术是新发展起来的一种能够根据需要将抛光盘面实时地主动变形成离轴非球面来磨制深非球度高精度天文镜面的磨制技术。简单介绍了抛光盘变形控制结构和面形检测机构,对深非球面度面形变形进行了精度分析,探讨了主动抛光盘的动态响应和校正,并对抛光盘的改造提出了一些建议。 相似文献
13.
设计一种特殊的应用于计算全息法(CGH)高精度检测离轴凸非球面系统的照明系统.该照明系统一方面用作参考系统,另一方面将检测光近似垂直投射到待检测镜面上,使得检测系统为近似共光路系统,降低照明系统的制造精度.分析了照明系统的几何光路模型,将复杂的两用途系统简化,得到照明系统工作距离、照明系统焦距以及参考面曲率半径三个特征参量之间的关系.设计时,通过控制这几个特征参量,得到满足检测要求的系统初始结构.设计结果表明,该方法可以满足系统使用要求. 相似文献
14.
Takashi Nomura Kazuhide Kamiya Hiroshi Miyashiro Hatsuzo Tashiro Kazuo Yoshikawa 《Optical Review》1996,3(1):34-37
A compact zone-plate interferometer is developed to measure the shape error of concave mirrors. A diffracted light of (0, 0) and that of (-1, -1) or (+1, +1) are used in the interferometer. The interferometer enables us to measure the shape error of mirrors with a large numerical aperture and a steep asphericity. The shape errors of a spherical mirror and a parabolic mirror are measured by the interferometer, and that of the former agrees well with that measured by Fizeau interferometer. Methods for adjustments of zone plates and the mirrors being tested are proposed to perform precise measurements of the mirror shapes.Presented at the International Commission for Optics Topical Meeting, Kyoto, 1994. 相似文献
15.
16.
王洋;颜昌翔;张达;汪逸群;高志良;刘栋斌 《光学学报》2013,33(10):1012001--1
为检测超光谱成像仪指向反射镜的运动特性,设计了一种非接触式指向反射镜运动特性检测系统,在系统加工、装配前,分析各误差源对系统不确定度的影响,制定系统的误差分配方案。采用齐次坐标建立含有加工、装调误差的数学模型,通过曲线拟合得到指向反射镜转角和光斑中心位置关系曲线,依据相对位置测量误差进行误差分配,降低了加工、装调的要求,确定了系统的误差分配方案,保证指向反射镜在11°转角范围内系统不确定度小于2″,分辨率为0.5″。提出的误差分配方案大大降低了系统加工、装调难度,验证了系统设计方案的可行性。 相似文献
17.
18.
一种大口径大非球面度天文镜面磨制新技术 总被引:4,自引:5,他引:4
主动抛光盘技术是近年来因天文望远镜的口径越来越大,焦比越来越快而发展起来的一种能够根据需要将抛光盘面实时地主动变形成偏轴非球面来磨制大口径非球面度高精度天文镜面的磨制技术。非球面表面的曲率不仅各点不一致,而且同一点的径向与切向曲率也不相同,所以经典的大的抛光盘不可能使其表面形状始终与所接触的非球面表面形状相吻合;常用的小磨盘抛光的致命缺点是解决不了高频切带,抛光效率也低。而主动抛光盘技术正好解决这些难题。与传统方法相比,它具有较高的磨削速率和较大范围内的自然平滑(无切带)。这是一种用计算机控制的磨镜技术,通过它可以像加工球面一样来加工一个深度的非球面。介绍了我国成功研制的主动抛光盘以及它在直径910mm,焦比F/2抛物面镜加工中的成功应用和加工的结果,以及此项技术将在2m以上直径天文镜面,特别是30m巨型天文光学/红外望远镜的分块子镜磨制中的应用前景。 相似文献
19.
根据关键设备在直线加速器隧道内的布局,控制网布设在隧道地面和墙面。跟踪仪是直线加速器控制网测量的主要仪器,跟踪仪的测角误差是影响设备精度的关键因素。根据隧道墙面和地面网点的布局以及跟踪仪测量方案,对跟踪仪所有测量状态下的水平角和垂直角进行分解;然后通过高精度三坐标测量仪和跟踪仪联动测试,对分解后的角度进行高精度求解,解算值用于修正跟踪仪的实测角度。结果表明,不管是哪种测量状态,跟踪仪实测角度值均大于解算值;地面网点垂直角和水平角的偏差与跟踪仪的标称精度基本相当;墙面点水平角超过15°时,测角误差随着角度的增加而增大,在隧道控制网测量时需要对墙面点水平角进行修正。 相似文献