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作者第一次尝试将平板雪崩室应用于取样量能器. 文章讨论了这种类型量能器中可能存在的涨落因素, 给出了在单间隙PPAC上进行模拟测试及对多层PPAC量能器的实际测试的实验结果. 如果采用2mm厚的铅板作为吸收体的话, 能量分辨率可望达到17%/√E. 相似文献
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建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用MonteCarlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.
关键词:
电子束曝光
MonteCarlo方法
低能电子散射
能量沉积 相似文献
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吴义根 陈国明 陈和生 张守宇 唐孝威 童国梁 M.Bocciolini C.Civinini R.D''alessandro M.Meschini M.Pieri P.Spillantini 王贻芳 H.Hofer P.LeCoultre B.Spiess J.Ulbricht 《中国物理 C》1991,15(10):865-874
本文介绍子配有BGO(锗酸铋)晶体阵列的L3铀强子量能器性能的模拟测试.对L3强子量能器以及测试实验作了简要介绍,并给出了该量能器对4—20GeV能量范围的π介子的能量分辨率、e/π响应比、角分辨、能量分辨率随入射π介子方向的变化以及强子穿透率等实验结果. 相似文献