基因芯片中的微电子刻蚀技术

基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的DNA微阵列,实现以基因为主的生命信息的大规模检测。本文利用氧化、光刻、蒸发、溅射等一系列集成电路刻蚀技术,研究了适于电化学检测的基因芯片微阵列的制备,并提出了这种芯片中微流路的制备工艺方案。     

微电子封装技术的发展与展望

综述了微电子封装技术的现状及未来的发展趋势。     

微电子封装技术的发展与展望

微电子技术的发展,推动着微电子封装技术的不断发展、封装形式的不断出新。介绍了微电子封装的基本功能与层次,微电子坟技术发展的三个阶段,并综述了微电子封装技术的历史、现状、发展及展望。     

混合微电子技术的新发展

介绍了两年来国内外混合集成电路的概况,从市场和技术两个方面评述传统技术与高级技术、老产品与新产品的相互促进及其各自的优劣,重点介绍多芯片组件及其主要制造技术,意在引起有关人员的注意,重视我国混合微电子工业的发展.     

微电子工业与洁净技术的发展

介绍微电子技术的特点与应用领域，以及对微环境系统与洁净技术的要求。     

迈向新世纪的微电子封装技术

论述了微电子封装技术的现状与未来,提出了跨世纪的微电子封装中几个值得注意的发展动向,展现了迈向新世纪的单级集成模块（ＳＬＩＭ） 封装的美好前景。同时,可以看出ＩＣ 芯片与微电子封装技术相互促进,协调发展密不可分的关系。     

微电子技术纵横谈

借此晶体管诞生５０周年之际，回顾半个世纪以来微电子技术的发展历程，介绍了当今世界集成电路大国的生产和技术情况，展望了我发展微电子产业的美好前景。     

微电子技术的发展现状与展望

本文分析了微电子技术的发展状况,尤其对集成电路的加工和设计作了较为深入的考察。对本世纪末微电子技术各个领域的发展前景进行了展望。同时,对如何发展我国的微电子技术提出了一些意见和建议。     

迈向新世纪的微电子封装技术

论述了微电子封装技术的现状与未来,提出了跨世纪的微电子封装中几个值得注意的发展动向,展现了迈向新世纪的单级集成模块（SLIM）封装的美好前景。同时,可以看出IC芯片与微电子封装技术相互促进,协调发展密不可分的关系。     

21世纪微电子光刻技术

介绍了248nm,193nm,157nm准分子激光投影光刻的发展过程和下一代光刻技术（NGL）的实用化前景。     

硅集成电路光刻技术的发展与挑战

从微电子集成电路技术发展的趋势,介绍了集成电路技术发展对光刻曝光技术的需求,综述了当前主流的DUV光学曝光技术和新一代曝光技术中的157nm光学曝光、13nm EUV曝光、电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光和纳米印制光刻技术的发展状况及所面临的技术挑战.同时,对光学曝光技术中采用的各种分辨率增强技术如偏轴照明(OAI)、光学邻近效应校正(OPC)、移相掩膜(PSM)、硅片表面的平整化、光刻胶修剪(resist trimming)、抗反射功能和表面感光后的多层光刻胶等技术的原理进行了介绍,并对不同技术时代可能采用的曝光技术作了展望性的评述.     

硅集成电路光刻技术的发展与挑战

从微电子集成电路技术发展的趋势,介绍了集成电路技术发展对光刻曝光技术的需求,综述了当前主流的DUV光学曝光技术和新一代曝光技术中的157nm光学曝光、13nm EUV曝光、电子束曝光、X射线曝光、离子束曝光和纳米印制光刻技术的发展状况及所面临的技术挑战.同时,对光学曝光技术中采用的各种分辨率增强技术如偏轴照明(OAI)、光学邻近效应校正(OPC)、移相掩膜(PSM)、硅片表面的平整化、光刻胶修剪(resist trimming)、抗反射功能和表面感光后的多层光刻胶等技术的原理进行了介绍,并对不同技术时代可能采用的曝光技术作了展望性的评述.     

发展微电子技术,迎接信息化的挑战

微电子技术，基于其重要的地位，成为世界各国尤其是发达国家竞争热点，从而导致此领域持续高速地发展，展望未来，传统领域新的推进或新的突破仍将出现，一些新领域的研究开发也将取得重大的进展。     

微电子技术的现状及其发展趋势

微电子技术的应用与影响在我们的日常生活中随处可见。基于此主要叙述了微电子技术的发展历史和现状、应用以及国内微电子技术的发展现状,最后对微电子技术的发展趋势做了分析。     

战术通信领域微电子技术的发展及影响

微电子技术是推动战术通信发展的关键动力。介绍了战术通信中常用的数字集成电路、模拟集成电路等微电子器件的最新发展,论述了微电子器件对战术通信发展的重要影响,提出了推进国产军用微电子器件研制应用的建议。     

亚微米光刻与刻蚀工作研究

采用三层胶光刻工艺以及ＳＦ６＋Ａｒ为反应气体的反应离子刻蚀工作，实现了小于０．５０μｍ的图形转移，并将此微细加工工艺应用于０．５０μｍＣＭＯＳ集成电路的制做。     

微电子技术经济规律研究

微电子技术是当今世界最活跃的生产力，集成电路是微电子技术的核心，今天，集成电路已从一门高技术发展成为一个成熟的产值超千亿美元的产业，它的广泛应用已对．国家经济、政治及人们的工作和生活产生了深远的影响。发达国家以集成电路工业作为经济发展的倍增器推动了整个国家经济的大发展，许多发展中国家藉助ICI业的发展走向世界，促成了经济起飞。我国微电子产业经过漫长曲折的发展，现正处在向集约化大生产发展的重要时期。在这种形势下，只有对微电子技术自身和制约因素（相关产业）有清晰的认识，了解和掌握其固有的发展规律，分…