微电铸及其在MEMS中的应用

研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统,通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比.通过晶种层材料的实验得出Ti-Cu作为晶种层材料的优点.利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等,得到了一组比较有价值的电铸参数,并对电铸中存在的问题进行了阐述.实验结果表明,采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构.     

微悬臂梁器件制作工艺的可靠性研究

由于传统机械加工方法不能实现微型悬臂梁阵列加工的需要,故微悬臂梁阵列的制作需要采用MEMS技术,针对MEMS中微悬臂梁制作废品率高的问题,从悬臂梁的加工工艺出发,分析了断裂、粘连、黏附等失效形式,从可靠性的角度分析失效原因,通过控制溅射铝时的温度变化有效降低层间的残余应力;通过淀积表面能厌水的覆盖层来防止黏附等相应改进措施来提高微悬臂梁器件制作的可靠性。     

牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用

以微悬臂梁的制造工艺为例,探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术,对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述,从腐蚀机理的角度探讨了腐蚀速率及其影响因素。     

微电铸及其在MEMS中的应用

研究了微电铸在MEMS结构层制造工艺中的可行性并搭建了微电铸实验系统，通过对不同Watts镍电解液的成分实验得到了一组性能较好的成分配比．通过晶种层材料的实验得出Ti—Cu作为晶种层材料的优点．利用微电铸的方法制作出微机械隧道陀螺仪中的悬臂梁、挡板、驱动电极等，得到了一组比较有价值的电铸参数。并对电铸中存在的问题进行了阐述，实验结果表明，采用方波脉冲电铸能够得到晶粒粗细均匀、硬度和应力符合设计要求的悬臂梁等MEMS结构．     

热激励微悬臂梁谐振器品质因数研究

基于对影响微悬臂梁谐振器品质因数的内摩擦、支座损耗、氧化层（或镀层）损耗和分子阻尼、空气阻尼和压膜阻尼等阻尼机制的理论分析，计算出不计成型槽阻尼时微梁在高真空、分子阻尼或粘性空气中谐振的品质因数，提出较小的成型槽宽度可以降低在粘性空气中谐振的微悬臂梁谐振器的品质因数。制作了成型槽宽度不等的电热激励－压敏电阻检测硅－二氧化硅双层结构微悬臂梁谐振器，测试了其在粘性空气中的品质因数。实验数据表明：对成型槽宽度大于梁宽度的微悬臂梁谐振器，测量值与计算值符合较好，反之具有较大误差。     

微悬臂梁阵列传感系统的性能分析

对微悬臂梁阵列传感系统的一致性进行了研究。以改变温度作为激励手段,在微梁阵列检测装置上分别检测了2种微梁阵列在升温与降温时的热响应。无论是升温还是降温,2种微梁阵列的尖端位移都与温度变化成线性关系。发现2种微梁阵列升、降温检测时微梁阵列传感系统都表现出良好的热响应一致性。另外,利用单梁检测装置对其中1种微梁阵列进行了热响应检测,其热响应灵敏度与微梁阵列检测装置检测结果一致,验证了2种微梁传感装置的可靠性。微梁阵列传感系统良好的热响应一致性为将来微悬臂梁阵列用于生化传感奠定了基础。     

自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器的研究

利用硅基MEMS工艺,通过背面分步刻蚀工艺湿法刻蚀<100>晶向硅片,结合SiO2薄膜热氧化工艺、磁控溅射薄膜制备工艺、光刻工艺、lift-off工艺,制备了一种自带均热板的微弹簧式悬臂梁微加热器。L型悬臂梁结构比直线型结构应力分布均匀。标定了微加热器的R-T曲线、I-V曲线。微加热器在工作电压为2.3V时,加热电阻值为60.96Ω,功耗为86.72mV,可获得673K的工作温度。     

电铸镍在激光模压全息中的应用

从激光全息术入手，阐述电铸制版在激光模压全息技术中的重要作用，以及制版的工艺流程，工艺配方，操作规范和模压板的性能指标。     

基于微悬臂梁的谐振式气体传感器

分析了悬臂梁的静态和动态特性,从理论上给出了提高悬臂梁频率分辨率的办法.在此基础上对6对振动激励和检测机制进行了分析与阐述,并对这些激励和检测机制应用于气体传感器的可行性进行了分析.     

全SU8微悬臂梁的制备及其弹性系数表征

采用Omnicoat作为牺牲层,经过两步光刻和湿法释放成功制备了全SU8结构的微悬臂梁,释放的成功率超过95%.针对SU8热膨胀系数大的缺点,对SU8微悬臂梁进行不同温度退火.采用原子力显微镜(AFM)系统对SU8微悬臂梁的弹性系数进行精确表征.结果表明,随着退火温度提高,SU8微悬臂梁弹性系数增大,对于250μm长3.5μm厚的悬臂梁,95℃退火后,其弹性系数为0.525 N·m-1;200℃退火后,其弹性系数增大到0.745 N·m-1.所制备的微悬臂梁被成功用于表征SU8与玻璃基底之间的相互作用.     

一种制备纳米多孔金膜的方法

提出了一种制备纳米多孔金膜的新方法.将金和铜的合金进行热退火处理,然后利用稀酸进行腐蚀,制备纳米多孔薄膜;比较了合金配比和稀酸种类对薄膜形貌的影响;并利用扫描电子显微镜(SEM)和X-射线光电子谱(XPS)对薄膜的形貌和组分进行了表征.     

LiNbO3薄膜的Sol-gel法制备

在一定条件下，用Sol-gel法在Si(110)和玻璃基上制备了LiNbO3薄膜，并对薄膜进行了IR和XRD表征，结果表明，生成的LiNbO3为多晶。     

DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究

介绍了微机电系统（MEMS）中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析．采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石（DLC）膜,通过扫描电子显微镜（SEM）表征未发生黏附的悬臂梁最长长度．发现村底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm;而无DLC膜时,平均不到80μm．利用原子力显微镜（AFM）测得DLC膜表面的黏附力在7nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20nN．实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬臂梁的黏附．     

负荷传感技术在液压电梯系统中的应用

针对定压式阀控液压电梯系统在低于额定负载工况运行中系统能量损失较大的问题进行研究,提出引入负荷传感技术调节系统压力的方法,使得系统压力跟随负载变化,减少系统功率损失.通过仿真分析,得到在保证调速性能条件下的阀控液压电梯系统中应用负荷传感技术的关键参数.仿真和试验结果表明,应用负荷传感技术的阀控液压电梯系统节能效果显著,适宜在液压电梯和其他垂直提升机械领域中推广应用.     

应用数据挖掘技术进行电子政务建设的研究

数据挖掘技术是一种能从大量模糊的、不确定的数据中揭示出隐含的、但具有潜在价值信息的技术。介绍了数据挖掘技术的概念,探讨了几种当前数据挖掘技术在电子政务领域的主流应用,并提出了一些其在实施过程中可能面临的风险、问题及解决方法。     

应用网格技术处理复杂性问题

简要讨论了网格技术及其体系结构,探讨了网格技术的理念与人类社会复杂的巨系统在结构、组织形式、交互机制等方面存在的相似性.在综合集成研讨厅体系支持软件系统平台的体系结构设计中,应用网格技术作为支撑,构建基于网格技术的关于特定复杂问题的虚拟组织,更好地集成各种资源为研讨厅服务.     

应用IPTV网络电视技术推动科普宣传工作

经济与社会的快速发展,对科普宣传工作提出了更高的要求。IPTV网络电视正是顺应这一趋势,通过其现代高科技信息手段,整合信息共享资源,拓宽节目内容,创新服务方式,以实际行动践行科学发展观,全方位开展科普宣传工作,提升广大人民群众的科学素质。     

瞬变电磁测深技术在构造含水体探测中的应用

构造含水体的超前探测是确保煤矿安全开采的主要因素之一。介绍了瞬变电磁法的基本原理及其方法，探讨了瞬变电磁测深技术在构造含水体探测中的应用实践，通过对瞬变电磁法探测含水体能力进行理论研究。得出用瞬变电磁法探测含水体的可行性结论。     

Multicast多播技术在机房管理中的应用

介绍了利用Multicast多播技术实现快速更新多台计算机系统的方法.Multicast多播技术、DHCP服务的设置以及自动更改IP地址和计算机名方法的应用,简化了机房管理人员工作,提高了工作效率.     

ASP访问技术在WEB数据库开发中的应用

从分析ASP技术的特点入手,简要介绍了ASP的运作模式及有关对象、组件,结合实例论述了用ASP技术操作WEB数据库的方法.