光纤式表面粗糙度测量仪的研制

本文论述了光纤式表面粗糙度测量仪研制过程中关键问题的解决方法，对非线性特性的参数计算、零点漂移、信号噪声、不同加工表面特性差异的处理都给出了完美的解决方法。该仪器以光散射理论为测量原理，用光纤为传输媒介，并用单片机８０９８进行计算、数据处理和测量智能控制。     

光纤表面粗糙度测量仪线路及其智能化

本文研究了一种新型光纤表面粗糙度测量仪主要线路的设计、调整和仪器智能化等问题。改进后的线路使仪器的测量范围扩大,能测量R_α=6.3～0.005μm的表面粗糙度,示值稳定性可达0.075％。     

激光表面粗糙度检测光纤传感特性研究

就表面粗糙度检测的光纤传感系统和光散射法测量表面粗糙度原理及光学设计中的某些关键技术进行了讨论，对激光光源的光强波动和背景杂散光干扰的抑制等实际问题进行了一些技术性探索     

光纤测量表面粗糙度的试验研究

本文论述了采用多模光纤束非接触测量表面粗糙度的方法;介绍了光纤测试系统主要参数的选取;提出了提高系统分辨率和稳定性的措施;最后给出了研磨制件表面粗糙度的实测结果。     

非接触式表面粗糙度测量仪

以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器，光学系统和计算机系统构成。其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现实时，在线，动态检测和控制。     

光纤测量表面粗糙度的研究

物体表面的反射散射光的强度反映了表面粗糙度的信息 ,即反射散射光的强度与表面的粗糙程度和探测光纤与反射表面之间的距离有关 .利用光纤将被测表面的反射散射光接收 ,测出了反射散射光强度与距离、粗糙度的关系 ,用最佳拟和曲线法计算出 Ra 与光强之间的关系     

表面粗糙度测量仪的工作原理分析及其改进方案

分析了传统表面粗糙度测量仪的基本原理 ,对采用计算机系统的改进方案进行了讨论 ,并指出其发展方向。     

具有表面增强拉曼光谱光纤探针的研究

以普通的石英光纤为材料,用管腐蚀的方法制备出光纤探针,在管上镀一层银膜后,可构成具有表面增强特性的管状光纤探针.将拉曼光谱仪与自制的光纤探针结合起来,建立了增强型微区拉曼光谱分析系统,测量了几个具有代表性样品的拉曼光谱,实验表明该装置样品浓度检测下线为10^-9mol/L.     

表面平整度测量的新方法研究

介绍了用反射干涉频谱法测量透明或半透明薄膜表面平整度的方法，薄膜厚度的测量范围约在0．2－20μm（小于20μm）之间。在对二氧化硅薄膜的测试中，该测试方法与椭圆偏振仪的测试结果相比较，其纵向测量误差小于2nm。通过光纤传感器的薄膜下的移动，对薄膜下各点的反射光谱进行分析，得到各点的厚度。通过步进电机的移动，连续测量膜上不同点的厚度，从而获得薄膜的表面形貌。该方法对薄膜无破坏作用，且无需测量干涉条纹，与其他的非接触式测试方法相比较，具有无横向测试范围限制、测试系统结构简单、测试精度高、测试结果可靠的特点，因此有较强的实用性。     

散斑法测量表面粗糙度R_q的研究

围绕光学测量表面粗糙度Ｒ＿ｑ的精度提高问题，应用Ｌｅｇｅｒ理论，侧重讨论了投射到测量表面的两束激光相干光束之间的夹角δｘ的变化对测量结果的影响，指出了一条提高测量精度和扩大测量范围的有效途径。     

激光扫描粗糙度测量仪的研制

介绍激光扫描粗糙度测量仪的测量原理、结构及结果。本测量仪根据激光在工件表面的反射散射原理,应用激光扫描技术、数据采集、A/D转换和定标曲线的计算机拟合,整个测量过程在单板机控制下自动完成。测量粗糙度Ra的分辨率为0.001μm,测量重复精度为0.006μm。     

光纤连接器端面测试仪的研制

为确保高质量连接器的批量生产研制了端面测试仪．采用光学相位测量技术，通过高精度测量连接器端面的表面形貌，借助Matlab的图像处理技术，可以得到端面的曲率半径、球面偏心度及凹陷度等决定连接器质量的关键参数．测量精度高(曲率半径相对误差为0．2％，凹陷度误差为2nm，偏心度误差为1μm)，速度快，易操作。     

基于虚拟仪器的汽车刹车盘表面粗糙度的测量

介绍了基于虚拟仪器开发的汽车刹车盘表面粗糙度测量系统,给出了该系统的硬件和软件实现方法,分析了测量中误差产生的原因并提出了相应的解决办法,该系统具有测量精度高、效率高、可靠性高等优点.     

纳秒脉冲激光对钕铁硼材料表面清洗试验研究

利用激光清洗技术对钕铁硼材料进行清洗试验,探究不同激光功率对钕铁硼材料清洗效果的影响。通过扫描电子显微镜(scanning etectron microscope, SEM)和X射线能谱仪(energy dispersive spectroscopy, EDS)分析清洗后钕铁硼材料表面形貌及元素组成成分;利用白光干涉仪检测清洗后钕铁硼材料表面的粗糙度。结果表明,清洗后钕铁硼材料的表面粗糙度随着激光功率的增大先增大后减小随后又增大;激光功率较小时,钕铁硼材料表面存在烧蚀划痕和残留的腐蚀坑,表面C、O元素不能有效去除,清洗效果不佳;在激光功率为12 W,清洗后的材料表面光洁平整,无C、O元素,表面晶相组织完整清晰无破坏,说明此时激光清洗效果最佳;当激光功率更大时,超过材料的损伤阈值,表面出现微裂纹和细小的孔洞,说明清洗效果变差。     

表面粗糙度测量技术综述

表面粗糙度对加工件的性能有着很大的影响。由于机械、电子及光学工业的飞速发展,对精密机械加工表面的质量及结构小型化的要求日益提高,使得表面粗糙度测量显现出越来越重要的地位。通过对表面粗糙度测量技术的发展历史与发展现状的追述,阐述了一种常见的表面粗糙度测量仪的工作原理和性能,并对其相关问题作了讨论。     

利用激光散射原理测量零件的表面粗糙度

运用激光束在加工表面上的散射原理,通过对国内外现有测量方法及测量仪器的研究分析,提出了利用激光散射原理测量表面粗糙度的方法,这种方法作为表面粗糙度的在线测量具有很好的应用前景.     

非接触光学测头在金属强反射表面测量中的应用

强反射表面的高精度金属件和光学件的表面轮廓测量，是形貌检测领域的一个难点．文中提出了一种用于逆向工程领域的自由曲面非接触测量系统，其由三坐标测量机和主动式双目视觉形貌测头组成．通过摄像机标定了视觉测头，利用光学偏振技术消除了金属表面强反射光对测量的干扰．对扫描路径进行了规划，并根据金属表面加工纹理方向，选择采样策略．通过对量块表面的测量，验证了使用非接触方法测量金属强反射表面的可行性．研制测头的精度达到了0．05mm．