i线投影光刻曝光系统的光学设计

叙述具有同轴对准特性的光学投影物镜双远心结构和均匀照明光学系统原理。为了满足ｉ线光刻所需的光学传递函数要求，讨论了光刻分辨率和数值孔径的关系。设计了一种新的双远心投影物镜，其数值孔径ＮＡ＝０．４２，放大倍率Ｍ＝－１／５，像场尺寸１５ｍｍ×１５ｍｍ（直径２１·２ｍｍ），共轭距Ｌ＝６０２ｍｍ。用光学设计程序ＺＥＭＡＸ－ＸＥ计算此ｉ线物镜的像质。设计结果说明，整个视场内波差＜λ／４，ＭＴＦ＞０．５５，当空间频率为７１５ｐａｉｒｌｉｎｅｓ／ｍｍ，使用波长为３６５士３ｎｍ时。可以实现０．７μｍ光刻分辨率；照明均匀器，由８１个小方型透镜组成一方列阵。用本文模拟计算软件ＯＰＥＮＧ计算被照像平面上的光能分布，说明实际系统的照明不均匀性为土２％。     

0.7微米i线投影曝光系统光刻物镜的设计与试制

介绍了微电子专用关键设备０．７μｍｉ线投影曝光系统光刻物镜的主要技术指标，及设计试制中解决的关键单元技术和试制结果。结果表明，数值孔径ＮＡ＝０．４２，光刻工作分辨力０．６μｍ，像场尺寸１４．６ｍｍ×１４．６ｍｍ，畸变＜±０．１μｍ的５倍精缩投影光刻物镜已试制成功。物镜具有双远心和有温度气压控制补偿，在满足高精度成像的同时，又能同时满足暗场同轴对准的特点。     

摄影镜头的光学对心法

镜头的定心通常有三种方式:一是以镜框几何轴线为基准的定心法;二是修切定心法;三是以透镜光轴为基准的光学对心法。 第一种方法的定心精度取决于透镜和镜框的加工精度,如果其中之一同心度不高,则影响成象质量。 第二种定心法是镜框初加工时内孔及端面留有切削余量,此量在装配时修切,以纠正初加工偏心差,此时定心精度取决予透镜的滚边和胶合对心精度(对双合透镜而言)。若两者偏差小则象质就好,否则象质不好。     

取代苯胺基亚胺二茂铁类化合物莫斯鲍尔谱及分子光谱研究

本文报道了６种取代苯胺基亚胺二茂铁类化合物Ｒ－Ｎ＝ＣＨ－Ｆｅ（－Ｆｅ为二茂铁基，Ｒ为－Ｃ６Ｈ４Ｘ，（Ｘ＝Ｈ，４－Ｂｒ，４－ＯＨ，２－ＣＨ３，４－ＣＯＯＨ）及４－ＮＨＣ６Ｈ４ＮＯ２）的Ｍｏｓｓｂａｕｅｒ谱数据，其化学位移分别为（ｍｍ．ｓ＾－１）：０．３２３，０．３３２，０．３３８，０．３２４，０．３１５和０．３１０。其四极矩分裂值分别为（ｍｍ．ｓ＾－１）：２．２６３，２．２８５，２．２８７，２．２１     

多光谱全色分色棱镜的胶合

论述了多光谱全色分色棱镜组的胶合工艺。该棱镜组是由６块非标准角棱镜、１块底板和４块滤色镜共１１个零件所组成。该棱镜组各出射面与入射面之间的角度允差要求≤１０″，各通光面与底板底面之间的垂直度要求⊥≤１０″，棱镜中间还有两处空气隙，空气隙的宽度要求为Ｌ＝０．０５ｍｍ。另外，各棱镜在主光路方向上还有距离（光程）要求，因此该棱镜组的胶合工作成了该项任务加工中一个比较关键的技术。     

肖维涅(Chauvenet)系数的拟合公式

本文简述了获得 Ｃｈａｕｖｅｎｅｔ系数拟合公式的必要性；给出依据最小二乘原理获得该拟合公式的方法．结果为：当４≤ Ｎ≤ ７０时，ω１＝０．３５９Ｉｎ（Ｎ－１．５）＋１．１９３；当７０≤Ｎ≤２０００时，ω２＝０．２６８８ Ｉｎ（Ｎ—２０）＋ １．６３．在给定范围内，低端和高端的拟合值均准确到０．０１．     

406.7—415.4nm和632.8nm辐射在人肺组织中的穿透深度

在对作者原有工作改进的基础上，应用自行研制的“光纤探针深度计”首闪精确了Ｋｒ＾＋紫激光４０６．７－４１５．４ｎｍ和Ｈｅ－Ｎｅ激光６３２．８ｎｍ，波长年新鲜离体人肺组织中光能流率分布，获得这一定两种重要波长处人肺正常组织和人肺腺鳞癌组织中光能流率的分布规律及光穿深度的数值：（１）δｎｏｅｒｍａｌ＝０．０８ｍｍ，δｔｕｍｏｕｒ＝０．３２ｍｍ；（２）δｎｏｒｍａｌ＝１．１９ｍｍ，δｔｕｒｍｏｕｒ＝１．７     

四氯合铜酸苯铵盐的结构及其红外与拉曼光谱研究

制备了四氯四铜酸苯铵盐（Ｃ６Ｈ５ＮＨ３）２ＣｕＣｌ４单晶，Ｍｒ＝１８７．２６，由四园衍射数据确定了晶体结构，晶体属单斜晶系，空间群Ｐ２１／ａ，ａ＝０．７１８４（１），ｂ＝０．７４４８（２），ｃ＝１．５０７０（４）ｎｍ，β＝１００．６７（２）°，Ｖ＝０．７９２４ｎｍ＾３，Ｚ＝２，Ｄｘ＝１．６５０ｇｃｍ＾－３，（Ｍｏ，Ｋａ）＝０．０７１０６９ｎｍ，μ＝４．０５６ｍｍ＾－１，Ｆ（０００）＝３８９，Ｒ＝０     

波分复用/解复用器中自聚焦棒透镜的长度匹配

在 １ × Ｎ 波分复用／ 解复用器中, Ｎ ＋ １ 个自聚焦棒透镜构成了一个１ 到 Ｎ 的准直系统。自聚焦棒透镜之间的间隔不等, 导致了较大的不均匀的附加耦合损耗。为了使总的平均损耗最低, Ｎ ＋ １ 个自聚焦棒透镜的长度应匹配选择。数值计算结果表明, 输入自聚焦棒透镜应比１／４节距稍长Δ Ｚ０ ＝ ２０～５０ μｍ , 因 Ｎ 而异, 有一上限。 Ｎ 个输出自聚焦棒透镜的长度不等, 靠近输入端者比１／４ 节距略短, 远端者比１／４ 节距略长, 亦因 Ｎ 而异。这样匹配使得总的损耗最低, 适用于 Ｎ≤８（尤其是 Ｎ ≤６） 的情形。     

NE102A CsI(T1) PMT中能重离子探测器望远镜

描述了由１ｍｍ厚面积为２４ｍｍ×２４ｍｍ的快塑料闪烁体ＮＥ１０２Ａ和前表面２４ｍｍ×２４ｍｍ，后表面３７ｍｍ×３７ｎｕｎ，４０ｍｍ厚的ＣｓＩ（Ｔ１）组成的ｐｈｏｓｗｉｃｈ探测器望远镜的结构和性能．实验结果表明，用传统的快慢门ＱＤＣ方法可清楚地分辨Ｚ＝１的同位素ｐ、ｄ、ｔ和鉴别出全部探测到的碎片。     

亚微米投影光刻物镜光学制造技术

本文报告亚微米光刻５倍ｇ线与ｉ线投影光刻物镜的光学制造技术。讨论超高精度要求的球面曲率半径、透镜中心厚度、球面面形与透镜偏心差等各项指标的综合控制技术与检测方法。着重介绍了作者所发展的大口径高精度双胶合透镜的计算机辅助无变形胶合技术。给出了加工检测结果以及镜头的主要性能指标。     

高斯光束经过负球差透镜的聚焦

本文讨论高斯光束经过负球差透镜的聚焦，得到了聚焦光场轴上点的光强分布的表示式，并对其进行数值计算。数值计算结果表明，在负球差的情况下，得到光强的最大点位置（最佳聚焦点）相对于无球差情况，往透镜方向移动，并且，最佳聚焦点的光强较无球差时大，当Ｎｗ＝１，Ｎａ＝５，ｋＳ１＝－０．２时，得到的最佳聚焦点的光强是无球差时的１．３４倍。本文还讨论了透镜的菲涅尔数对聚焦光场分布的影响。结果表明，当透镜的菲涅尔数小于１时，球差对高斯光束的聚焦的影响可以忽略。     

~(14)N~(16)O分子X~2Π_(3/2)R(1.5)v=0→1及~(15)N~(16)O分子X~2Π_(3/2)Q(1.5)v=0→1跃迁的FLMR光谱

本文采用法拉弟效应的激光磁共振光谱技术，研究了－氧化氮分子１４Ｎ１６ＯＸ２Π３／２Ｒ（１．５）ｖ＝０→１和同位素分子１５Ｎ１６ＯＸ２Π３／２Ｑ（１．５）ｖ＝０→１跃迁的ＦＬＭＲ光谱，实验给出了样品浓度和信号强度之间的关系及调制磁场强度与ＦＬＭＲ信号强度之间的关系。     

新型钼（钨）—铁—硫簇合物的穆斯堡尔和晶体结构研究

本实验测定了新型钼（钨）－铁－硫簇合物（１）（Ｅｔ４Ｎ）［ＭｏＦｅ２（μ３－Ｓ）２（ＣＯ）８（Ｓ２ＣＮＥｔ２）和（２）（Ｅｔ４Ｎ）［ＷＦｅ２（μ３－Ｓ）２（ＣＯ）８（Ｓ２ＣＮＥｔ２］的穆斯堡尔谱和晶体结构。它们分子中的两个铁原子是等价的，所以都只的一组对称的四极分裂双峰。这个结果与单晶结构分析一致。经计算机拟合后的穆斯堡尔参数（７７Ｋ时）为：对于（１），化学位移δ＝０．０８±０．００４ｍｍ／ｓ，四     

混晶GaAs_（1－x）P_x∶N中N_x发光的声子伴线结构

本文采用荧光窄化技术，对低组分的ＧａＡｓ（１－ｘ）Ｐｘ∶Ｎ（ｘ＝０．７６，０．６５）混晶材料中Ｎｘ束缚激子的声子伴线进行了研究．在低温下，选择激发Ｎｘ带时，我们得到了与ＧａＰ∶Ｎ低温发光谱中类似的声子伴线结构．根据实验结果，给出了混晶中各种声子的能量．另外，对组分为ｘ＝０．７６的ＧａＡｓ（１－ｘ）Ｐｘ∶Ｎ混晶样品，我们还首次观察并分析了多声子重现光谱．     

亥姆霍兹线圈磁场均匀性的研究

本文利用ＩＢＭ—ＰＣ计算机时圆电流的磁场和亥姆霍兹线圈（Ｎ＝１和Ｎ＝９９）的磁场作了精确计算； 给出了亥姆霍兹线圈的磁场系数和相对误差的数据，画出了１％、０．２％和０．０２％的磁场均匀区；对影响亥姆霍兹线圈磁场均匀性的几个因素进行了计算和讨论．     

一种新的长焦距透镜的制造方法

针对小口径长焦距透镜传统火漆上盘法容易引起零件中心偏的问题，介绍了一种用平行平板上盘来加工长焦距透镜的方法。在加工透镜第二面的时候，取一平行度非常好的平板，将零件反扣在平行平板上，使零件和平行平板保持线接触，然后将透镜灌胶固定。采用这种方法加工（焦距ｆ′＝－６ｍ，口径Ｄ＝７．７５ｍｍ）的透镜，其中心偏角平均为１′，而采用传统火漆上盘法加工同样的透镜，其中心偏角平均为５′     

1.55μmSi1—xGex光波导在Si1—xGex／Si多量子阱探测器集成的优…

对１。５５μｍ波长的Ｓｉ１－ｘＧｅｘ光波导和Ｓｉ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ多量子阱红外探测器的集成器件结构进行了系统的分析和优化设计。优化结果为：１）对Ｓｉ１－ｘＧｅｘ光波导，Ｇｅ含量ｘ＝０．０５，脊宽，高和腐蚀深度分别为８，３和２．６μｍ，２）对ＳＩ１－ｘＧｅｘ／Ｓｉ多量子阱红外探测器，Ｇｅ含量ｘ＝０．５，探测器由厚度为５５０ｎｍ，２３个周期的６ｎｍＳｉ０．５ＧＥ０．５＋１８ｎｍＳｉ组成，长度约２ｍｍ。     

低氧压对Bi－2223／Ag复合带组织与性能的影响

本文研究了０．１２ｍｍ×４．５ｍｍ的Ｂｉ－２２２３／Ａｇ试样在Ｐｏ２＝０．２１，０．１３，０．０８，０．０４ａｔｍ气氛中于Ｔ＝７８５～８４０℃中处理５０小时后，带材显微组织与超导性能的变化．实验发现低氧压下带材熔化温区大幅度降低，低氧压与Ａｇ共同作用促进了２２２３相的形成与取向，在低氧压下烧结氧化芯中心的第二相生长受到抑制，改善了带材截面的均匀性．低氧压烧结＋空气中退火，提高了临界电流密度，且改善了带材在磁场中的性能．对于本实验的试样，最佳处理条件为：Ｐｏ２＝０．０８～０．１３ａｔｍ，Ｔ＝８２０～８２５℃．     

乙烯基吡咯烷酮—醛酸乙烯酯共聚物对1—苯胺基萘—8—磺酸盐水溶液的荧光...

将荧光探针１－苯胺基萘－８－磺酸盐（ＡＮＳ）加入到乙烯基吡咯烷酮（ＶＰ）－醋酸乙烯酯（ＶＡＣ）共聚物溶液中，共聚物组成分别为ＦＶＰ＝０．８４；０．７４；０．７０；０．５５（以乙烯基吡咯烷酮结构单元的分子数表示）。实验结果表明：ＶＰ－ＶＡＣ共聚物对ＡＮＳ水溶液的荧光强度增强效应与共聚物中乙烯基吡咯烷酮在逻节中的比例有关，其组成为ＦＶＰ＝０．５５的共聚物对ＡＮＳ水溶液有显著的荧光增强效应，相对荧光强度