MMST工程的光刻技术

ＭＭＳＴ工程的光刻技术关键取决于ｉ线（３６５ｎｍ）和深紫外（２４８ｎｍ）激光光学重复眇机曝光机。大多数的图形层制作均使用传统的用湿法显影的抗蚀剂，而对关键的栅和金属层则采用“ＤＥＳＩＲＥ”工艺，使用表面成象，干法显影的抗蚀剂。倘若能对光刻工艺的各个关键步骤实时实时监控，则可望实现光刻完全自动化。     

MMST RTP的控制：柔性生产技术的重复性,均匀性和集成化

在ＲＴＰ半导体器件制造设备中，为控制硅片温度的均匀性和重复性，采用了一种实时多变的策略。它基于工艺的物理模型，采用实验设计程序来估算模型参数。轴心对称加热区域中多区阵列灯的功率采用内部模型控制法则（ＩＭＣ）的设计方法来进行自动计算以获得硅片的温度均匀性。通过硅片上多点的高温测定法进行温度探测提供实时反馈信息，从而进行控制。为获得温度控制的技术要求，除了ＩＭＣ外还使用了好几种模块，包括模型规划及防过     

空前的MMST：虚拟工厂

一、概述由预研规划局（ARPA）提供部分资金的微电子制造科学和技术（MMST）工程已成功地验证了一种以智能和柔性工艺设备为基础的崭新的IC制造途径。下一步的工作是把柔性的和可编程的工艺设备与工艺技术计算机辅助设计（T－CAD）以及称之为工艺合成的工艺模型结合起来，使这些开发成果为半导体行业充分发挥其优越性。这种工艺体系允许设计者合成一个完整的制造工艺流程，并可生产一种在电路性能、可靠性、可制造性、寿命周期成本和生产周期被全面统筹优化了的集成电路。整个开发过程，从功能设计到设备选择和装配将被系统地操作。工…     

未来半导体加工厂的新技术模式——MMST

ＭＭＳＴ代表了一种新的半导体晶片加工概念，具有对环境净化条件要求不高、加工周期短、加工成本低、自动化程度高等优点，有望成为未来半导体加工厂的新技术模式。本文试图对ＭＭＳＴ技术作一较全面的介绍。     

现代硅片加工过程中的沾污控制

随着器件尺寸的不断缩小，沾污控制变得日趋关键，就目前的技术水平而言，只能在硅片的净化间存放、传递及加工环境等方面进行治污控制。为满足将来的需要，ＭＭＳＴ工程研制了一种专门的微环境，用来进行硅片处理。硅片的传递在一封闭的容器中进行，人们称之为“真空载体”，它既可封闭于真空状态或大气状态，亦可封闭于惰性气体环境中。在设计上使该载体可用于作为常规设备承片台上的花兰，也可用于设备的真空锁。它的真空容量可对     

微电子制造科学与技术研究计划中的单圆片加工设备

由美国得州仪器（ＴＩ）公司实施的微电子制造科学与技术计划全面采用了一种灵活的单圆片加工技术，该技术适合快周期的ＩＣ生产，且投资少，灵活性高。他们设计的实验型单圆片小型工厂包含３４个具有各种不同的工艺能源组合和现场监测与控制传感器的单圆片处理系统；采用模块化系统（大多为先进真空处理器（ＡＶＰ））进行了４０种不同的器件制造工艺实验；真空片盒在洁净环境中传递圆片；ＡＶＰ由计算机综合制造（ＣＩＭ）系统驱动     

政务信息资源目录体系技术概述

政务信息资源目录体系是政务信息资源开发和利用的基础设施，主要介绍了包括政务信息资源目录体系的基本概念、主要作用．关键标准。支撑技术及应用模式。     

激光有源干扰设备概述

介绍了各类激光有源干扰设备的工作原理、特点,并简要分析了某些设备的改进方法。最后,综述了激光有源干扰设备的发展现状。     

政务信息资源交换体系技术概述

简要介绍了政务信息资源交换体系系列标准的组成部分及其作用，分别说明了在整个系列标准中的关键概念和标准化内容．包括总体框架，交换模式、应用参考模型．交换协议、数据库接口规范、信息交换指标集和技术管理要求。     

使用图文电视控制VCR的新设备

ＶＰＳ与ＰＤＣ信号的传输为视频录像机生产厂家提供了新的社会。一种双标准单片解码器的设计正在草拟之中，本文介绍了以此为基础的两种新设备，一种用于简单的人工编程ＶＣＲ，另一种用于全图文电视的编程。     

邮电建筑和邮电通信设备安装的隔震减震与控振技术概述

介绍了现代建筑隔震、控振技术，同时对邮电建筑和通信设备安装在隔震、控振方面的应用研究提出一些设想。     

电视设备计算机管理系统原程序和控制功能的改进

本文介绍了经承德市广播电视局改进设计后安装的电视设备计算机管理系统。其主要功能是实现电视台和电视演播厅的机房管理与前后期设备的计时、计费有偿使用和规范管理。通过这套系统的使用，使该局电视设备管理日趋科学、规范，制作设备的利用率和管理人员的工作效率得到提高，设备使用中的浪费现象得到控制，既方便了设备使用，也加强了设备管理。     

电气自动化控制设备可靠性研究

在大范围使用的情况下,电气化控制设备的稳定性和可靠性越发重要。文章围绕电气化控制设备的可靠性和在实际使用过程中对稳定性的影响因素进行了分析,并对提高电气化控制设备稳定性的相关方法展开了讨论。     

BVERI空间行波管发展和应用概述

本文主要介绍了北京真空电子技术研究所在空间行波管研制方面的最新进展情况,其中部分产品已经在轨飞行应用。     

电气和控制设备在风电机组的检修分析

最近几年，风电装机的容量正在快速增长过程中，为人类提供了大量的绿色能源，有助于电气事业的发展。本文在对电气系统故障检查工作思路进行有效归纳总结的基础上，明确了控制系统以及电气系统设备的主要功能，从而探究有效的设备检修方法，为风电装机组件检修提供支持。     

显示控制群中的虚拟设备集和设备自组织方法

显示控制系统是控制中心设备的集成系统,它实现控制中心的自动控制。借用数学中群论的一些方法和结果,提出了虚拟设备集及其运算,定义了作为代数系统的显示控制群和子群,讨论了相应的控制系统和虚拟设备的实现。提出了用于显示控制群中设备自组织的逻辑推理方法和演化硬件方法。显示控制群的控制系统能自动组织和控制设备进行用户需要的工作,也就是构成了一个显示控制子群,而最大的子群就是显示控制群自身。逻辑推理方法和演化硬件方法增加了显示控制群的适应性和生存性,可用于分布式控制中心和大规模自动控制系统建设。     

无线设备用晶体控制振荡器

晶体控制振荡器主要用于稳定时钟发生器的时间频率,它可为数据处理设备提供时钟信号。因为基于微处理器的设备通常都有内置的计时功能,因此在无线设备中一般应用有晶体控制振荡器。 或许因为晶体控制振荡器普遍应用于无线设备里,通常很少提及振荡器的基本工作原理。本文概括介绍晶体振荡器的设计和特性方面的基本知识,可能对于工程师们在新产品开发过程中采用晶体振荡器能有所帮助。