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在迈氏仪上用白光干涉测量的方法 总被引:5,自引:3,他引:2
在迈氏仪上用白光干涉测量的方法陶振英(锦州师范学院物理系)本文提出了在迈克尔逊于涉仪上,使用白光作光源发生干涉形成的彩虹图象,测量某些介质厚度或折射率的新方法.它比用钠光作光源的情况下,更具有原理简单,实验方便,测量结果精确的优点.一、白光于涉彩虹图... 相似文献
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为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明:传感器在120~300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值. 相似文献
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为了减小白光相移干涉法测量物体微观形貌时产生的误差,对极值法的搜索路径进行优化后与Carré相移算法相结合,提出一种基于白光干涉测试技术的改进Carré相移算法.该算法减小了光源扰动及电荷耦合元件散粒噪声带来的影响,且对相移器的线性误差不敏感,免去了相位解包裹过程,提高了运算效率.采用单刻线样块对扫描步距进行校准实现了光源中心波长的在线修正,减小了由于光源特性及环境扰动误差带来的影响.采用不同算法对标准粗糙度样块进行三维形貌恢复以及表面粗糙度的重复性测量实验,结果表明:该算法对表面粗糙度的测量结果较传统白光干涉算法准确度提高,测量重复性优于1%. 相似文献
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光源编码的白光散斑剪切干涉计量术 总被引:3,自引:1,他引:2
本文提出了一种用非相干光源照明进行剪切干涉计量的方法—光源编码的白光散斑剪切干涉计量术.它采用光栅对光源进行编码以提高空间相干性,使物体的两个剪切像的波面部分相干叠加,以实现剪切干涉. 相似文献
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双光栅白光衍射干涉的消色效应 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出和研究了白光点源照明下的双光栅衍射干涉效应,报道了白光照明下剪切干涉的“消色效应”,给出了完整的菲涅耳线性标量衍射原理的数学推导和几何光学的解释. 相似文献
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