微型光发动机

近年来，为满足极限空间的作业和医用的需求，要求现有的技术能够在难以触及的极小空间发挥作用，以此为目的，研究微机械的必要性日趋提高，其研究活动越来越兴盛。尽管微机械的定义还不够明确，但通常是指大小在几毫米到百分之一毫米左右的微小驱动机构。     

微型光电机械系统（1）

近年来，采用集成电路制造工艺生产的衍射和折射微镜等微光学元件日益受到重视，由于此项技术，器件微型化使得很多电光系统发生了革命性的变化——从摄录相机，可视电话和光盘存贮到机器视觉，光学扫描器，以及高分辨率投影显示仪，这些微光学系统采用的关键技术。     

微型机器制造中的半导体技术

一、前言 半导体技术原先只是用于制造各种集成电路,但近年来这种情况有了变化。 1987年6月在日本举行的第四届传感器、作动器国际会议上,美国加利福尼亚大学伯克利分校和贝尔研究所都发表了用制造集成电路方法在硅片上制造微型机器的崭新概念,并在会上表演了他们试制的大小只有几十微米的齿轮、齿条机构,以及用气压差作为动力、转速达到每分钟24000转的微型涡轮机。     

以细菌为动力的微型机器人可进入人体摧毁肿瘤

美国犹他州的研究人员最近正在研制一种新奇的生物发动机。据介绍，以细菌为动力的“微型潜艇”将能够在人体内游弋，输送药物，并能摧毁肿瘤。     

加拿大最新“微型机器手”可完好抓起细胞

据英国《新科学家》杂志日前报道,加拿大多伦多大学开发的新型微型机器手是一对微型的机器钳子,具有最灵敏的抓握,可抓起和移动一个细胞,而不破坏这个细胞。此微型机器手可用于组装细胞到人造组织结构中,或制造微米级和纳米级的装置。     

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器.该传感器采用半导体微加工工艺制备,具有体积小、重量轻、功耗低等优点.阐述了传感器的工作原理,描述了设计方案,介绍了计算机模拟仿真结果.     

基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真

报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 ,介绍了计算机模拟仿真结果     

MEMS微型热管研究进展

MEMS微型热管作为一种新型的热管技术,在微电子、光电池、红外探测头和激光二极管等的热控制方面具有很大的应用前景。首先,介绍了MEMS微型热管的特点和基本工作原理,简单回顾了其发展历程。然后,从MEMS微型热管的加工制作方法、通道尺寸和总体结构特点出发,指出了其优势所在。在此基础上,综述了近年来微型槽道热管、微型毛细泵回路、微型回路热管和微型振荡热管等不同类型MEMS微型热管的研究进展。最后,总结了MEMS微型热管的发展趋势和实际应用所面临的挑战,指出降低制作成本、优化工质充注封装工艺、改进测试手段和加强运行机理研究是今后工作的重点。     

PWM数字微型加速度计摆片温度应力研究

针对微加速度计摆片废品率高的问题,从摆片的加工工艺,分析了PWM数字微加速度计温度应力对摆片刚度的影响;发现当摆片工作在不同状态,在某些加工温差段,摆片的刚度出现奇异值,摆片变形已不再满足小变形条件,导致摆片无法正常工作。本文亦提出了改善措施。     

微型光电机械系统（2）

微机械、微电子技术是三微系统工程的组成部分，本刊第4期已阐述了微光学技术的发展。本文的第二部分介绍微机械和微电子集成系统的技术现状和应用前景。     

微型纳米激光器

美国加利福尼亚大学的研究人员在相当人的头发丝千分之一大小的纳米导线上制造出了纳米激光器。这种激光器不仅能发射紫外光，经过高速后还能发射从蓝色到深紫色的光。     

一种使用平面线圈结构的微型电磁继电器

本文介绍一种采用平面线圈结构的微型电磁继电器的制造工艺和理论分析。这种继电器的大小大约是 4mm× 4mm× 0 .5mm ,工艺比较简单 ,主要采用光刻、蒸镀、电镀和腐蚀牺牲层等普通的微加工技术来完成全部制作工艺。因此可以大大地降低继电器的生产成本、物理尺寸和制造的复杂性。另外 ,还进行了一些有关线圈通过激励电流后对活动电极产生电磁力的理论计算和仿真 ,利用这些结果可以对这种电磁继电器的结构和参数进行优化设计     

微型传感器及纳米传感器

综述了微型传感器及内米传感器的发展现状，叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术，并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。     

微型傅里叶变换光谱仪

采用硅微机械加工技术制造的高分辨率光谱仪不久将从实验室进入商品应用市场。一些基于微电子机械系统(MEMS)技术的仪器，例如由瑞士Neuchatel's Institute of Microtechnology大学开发研究的片状光栅干涉仪将会以低成本批量生产。     

微型电池的新航标

技术创新永远遵循跳跃式发展的规律。纳米分子自动聚合电池的出现，将成为微型电池发展的新航标。[编者按]     

微光学电子机械系统中的微型反射镜阵列的应用前景

综述利用微加工技术制作微型反射镜阵列；简要叙述其发展历程，着重阐述其主要功能和优点。分类分析微镜阵列的基本工作方式和主要应用领域及其发展方向，并对应用前景进行分析。     

蛋白质的可移动性使制造微型生物电池成为可能

蛋白质是细胞功能的载体。其中一些蛋白质是向细胞外化学物质传递电子的酶，负责释放新陈代谢产生的多余能量，保持能量在细胞中的流动，从而维持细胞活力。美国能源部西北太平洋国家实验室（Pacific Northwest National Laboratory，简称PNNL）的研究人员首次在提纯的Shewanella oneidensis细菌外膜蛋白观察到这种电子传输过程。     

应用MEMS技术开发微型电池

尽管锂薄膜电池有循环使用寿命长、能量密度大的优点,但是受二维结构限制,这种电池不能提供大量电能。加州大学洛杉矶分校、佛罗里达大学、犹他大学和海军研究实验室进行的一项研究有望突破薄膜电池的局限,用MEMS技术开发三维形状的微型电池。研究人员已经开发出充电次数多达1400次而且功率比传统器件高100倍的纳米级阳极和阴极。三维纳米结构和制造方法,将带来扩散距离短但却含有充足的物质足以推动MEMS器件和微电子电路的电池。研究还将致力于开发所需的纳米级电活性材料。这个工作的一个重要方面涉及纳米级电子转移和电极动力学的模…