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相似文献
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1.
SnO2气敏薄膜的制作与性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用射频溅射法制备了SnO2气敏薄膜,并在薄膜中掺杂Sb2O3和Pt用于气敏薄膜的增敏.使用XRD对制备的薄膜进行了结构分析,测量了薄膜的吸收光谱和电阻,并研究了薄膜工艺条件的改变对薄膜结构和性能的影响.结果表明,不同退火温度下处理的氧化锡薄膜均为金红石结构,退火温度对薄膜的晶粒尺寸和电阻有较大影响:退火温度愈高,薄膜中形成的晶粒越完整,晶化程度愈高;电阻率随着退火温度的升高而降低,考虑到气敏薄膜的敏感性能,本文选取1100℃为最佳退火温度.由于掺杂的影响,在氧化锡的禁带中产生了杂质能级,使薄膜对2722nm附近的红外光波产生了强烈吸收.  相似文献   

2.
采用磁过滤阴极脉冲真空弧沉积技术(pulsed filtered cathodic vacuum arc deposition,PFCVAD),以Si(100)单晶片为衬底,在衬底温度400℃、氧气压力4×10-2Pa、靶负压400 V的条件下制备了具有c轴取向的ZnO薄膜。采用原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)研究了退火温度对ZnO薄膜  相似文献   

3.
射频溅射法制备掺杂SnO2纳米薄膜的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
采用射频反应溅射法在氧化处理后的单晶硅基片上制备SnO2纳米薄膜,并在薄膜中掺杂Sb和Pd用于改变薄膜的气敏特性.运用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对薄膜的结构和表面形貌进行分析.结果表明,SnO2薄膜具有四方金红石结构,适量掺杂对SnO2薄膜结构无影响;薄膜晶粒粒径小于150nm,且粒径随退火温度的升高而增大.采用Debye—Scherrer简化公式计算了薄膜晶粒粒径,分析了计算值与SEM观测值之间产生误差的原因.经700℃的温度退火后,掺原子比Pd为2%和Sb为2%的薄膜对酒精气体具有很高的灵敏度.  相似文献   

4.
用脉冲激光沉积方法在Al2O3(0001)衬底上制备了Zn薄膜,并在空气中氧化得到了ZnO薄膜.利用Raman光谱测量了氧化法制备的薄膜,并与ZnO单晶材料进行比较,证实了ZnO薄膜的形成.采用慢正电子束技术对ZnO薄膜的微观结构进行了研究,发现在薄膜中存在大量的空位型缺陷.当氧化后的薄膜在高温下退火后,缺陷浓度逐渐降低,在达到900℃时,所制备的ZnO薄膜中缺陷基本得到消除.  相似文献   

5.
将Zn/F离子先后注入到非晶二氧化硅中并分别在400,600,700 ℃下进行了退火.用光学吸收谱、透射电子显微镜(TEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对退火的样品进行分析,发现在600 ℃退火后ZnO量子点已经形成.二次离子质谱仪(SIMS)测试发现在溅射时间为2 s时Si,Zn元素同时出现,说明没有在衬底的表面形成ZnO薄膜.从原子力显微镜(AFM)图像看到有少量的颗粒被蒸发到衬底的表面,说明在衬底的内部形成了ZnO量子点.F离子注入的作用为在衬底的内部形成ZnO量子点提供了O2分子.  相似文献   

6.
磁控溅射技术制备ZnO透光薄膜   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用RF磁控溅射方法,在玻璃衬底上制备了择优取向的ZnO薄膜;通过台阶仪、X射线衍射技术、原子力显微镜和分光光度计分别测量了不同溅射功率条件下淀积的ZnO薄膜厚度(淀积速率)、结晶质量、表面形貌与粗糙度、透光光谱,报道了该薄膜结晶质量、薄膜粗糙度与其在可见光区透光率的关系.  相似文献   

7.
三氧化钼薄膜的制备和结构研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
采用溶胶-凝胶法成功制备了三氧化钼(MoO3)薄膜,首先,以CH3COCH2COCH3,MoO3,C6H5CH3和HOCH2CH2OCH3为原料合成三氧化钼溶胶和凝胶。凝胶的热重和差热分析(TG-DTA)显示三氧化钼的晶化出现在508℃附近的140℃范围内。其次,利用旋转涂布法在硅(111)基片上通过450℃退火处理制备了三氧化钼薄膜。XRD和FTIR谱表明薄膜为α-MoO3相。SEM形貌像显示薄膜中晶粒分布均匀致密,在基片表面无择优取向;晶粒尺度范围在0.5-1μm之间。  相似文献   

8.
用热蒸发法于700℃在硅衬底上制备了纳米线、多针状、四脚针状结构的ZnO,研究了衬底与热源间的距离对ZnO形貌的影响.用扫描电镜(SEM)表征了ZnO的形貌,当衬底距热源20mm时,ZnO呈现四脚针状且具有很细的尖端,直径为50nm.X射线衍射(XRD),微区Raman图谱表明四脚针状ZnO是高纯的六角纤锌矿结构.另外,对ZnO不同形貌的生长机理进行了初步研究.  相似文献   

9.
MgO-SnO2薄膜乙醇气敏元件的研制   总被引:3,自引:1,他引:2  
采用真空镀锡膜、锡膜氧化,浸泡掺杂的方法研制了掺MgO的SnO2薄膜气敏元件,在对乙醇、丙酮等八种气体的测试结果表明:MgO-SnO2元件提高了对乙醇的灵敏度和选择性,而对其余气体的气敏特性同未掺杂元件相类似,实验发现,随着浸泡液浓度的增大,元件对乙醇的灵敏度并不是单调地随之增大,而是出现了一个峰值,实验还发现经Mg(NO3)2溶液处理过的元件对乙醇的灵敏度与乙醇浓度之间的线性关系大大拓宽,在敏感机理方面,提出了流过元件电泫I的公式,该公式可以较好地解释实验现象,利用化学方法在SnO2薄膜中掺入MgO,所制备的元件既克服了烧结型元件的缺点,又克服了薄膜元件物理方法掺杂时掺杂量难以控制的不足之处,为开发新型薄膜气敏元件作了一种尝试。  相似文献   

10.
在具有Ti缓冲层的Pt(111)底电极上,用射频溅射工艺在较低的衬底温度(370℃)和纯Ar气氛中沉积Pb(Zr0.52Ti0.48)O3(PZT)薄膜,沉积过程中基片架作15°摇摆以提高膜厚的均匀性。然后将样品在大气中进行5min快速热退火处理,退火温度550-680℃。用XRD、SEM分析薄膜的微结构,RT66A标准铁电测试系统测量样品的铁电和介电性能。结果表明,所沉积的Pt为(111)取向,仅当后退火温度高于580℃,沉积在Pt(111)上的PZT薄膜才能形成钙钛矿结构的铁电相,退火温度在580-600℃时结晶为(110)择优取向,退火温度高于600℃时结晶为(111)择优取向。PZT薄膜的极化强度随退火温度的升高而增加,但退火温度超过650℃时漏电流急剧上升,因此退火处理的温度对PZT薄膜的结构和性能有决定性的影响。  相似文献   

11.
专著《几何不等式新进展》的补遗(Ⅰ)(英文)   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文综述了专著 AGI 出版后几何不等式的最新进展,尽可能全面地收集了1987—1990年间的有关文献,更多地反映了中国数学家的工作成果。  相似文献   

12.
在构件的检索过程中,由于用户对于构件的描述形式或者机制不是很理解,因此很难把自己的需求以专业的术语或者表达形式表示出来,从而影响了检索的效率。引入了刻面权重的定义,将用户的需求有效的具象化,并提出了基于模糊聚类分析的构件检索方法,利用一定的聚类准则将构件库里的构件集合划分为不同的类别,降低构件检索的规模,提高构件检索的效率,同时具有较好的查全率和查准率。实验结果证明了该方法的可行性与有效性。  相似文献   

13.
以SiO2、Al2O3和HZSM-5、Re-HY分子筛为载体,以Zn为主要活性成分,研究了不同类型载体以及不同Si/Al比的HZSM-5分子筛负载Zn催化剂的愈创木酚加氢脱氧(HDO)反应性能。结果表明,催化剂的酸性是影响其加氢脱氧活性和产物选择性的主要因素,并且愈创木酚加氢脱氧转化为环己烷、BTX(苯、甲苯、二甲苯)等完全脱氧产物的活性,与催化剂的总酸量、酸中心强度具有一定的相关性。  相似文献   

14.
中国近海共有背楣目、囊舌目软体动物30种,隶属于7科15属,主要分布在浙江以南的热带、亚热带海区,有些种类向北可以分布到达黄、渤海,部分种类仅分布于黄、渤海.区系性质属于印度-西太平洋区的中国-日本亚区.  相似文献   

15.
本文对蘑菇培养料中分离获得的霉菌、放线菌和细菌进行鉴定和对其生理、生化特性进行测定,对某些菌株在蘑菇生长过程中的作用及作用规律也作了研究.通过研究,初步认为在放线菌和霉菌中有数株菌株对蘑菇的生长有直接或间接的促进作用  相似文献   

16.
S是序幺半群,借助环模理论以及半群S-系理论方法,在序S-系范畴中研究了弱拉回平坦性质。刻画了弱拉回平坦序S-系关于直积封闭的序幺半群类以及弱拉回平坦性质与其他性质一致的序幺半群类,讨论了循环序S-系具有拉回平坦覆盖的条件,进而推广了S-系的一些重要结果。  相似文献   

17.
非线性复杂系统的动力学问题   总被引:4,自引:0,他引:4  
根据非线性动力学的研究现状和发展趋势,从六个方面去展望复杂系统的非线性动力学研究在21世纪的动向,探讨与其有关的动力系统理论和应用研究中面临的一些重大问题。  相似文献   

18.
晶体与建筑     
简述了矿物晶体与建筑的相似性,重点地阐述了晶体形态在建筑物外部体形设计中的应用,如水晶式建筑、绿柱石式建筑、电气石式建筑、晶簇式建筑、双品式建筑、浮生式建筑、平行连生式建筑和镶嵌式建筑。晶体式建筑具有天然美的造型,合理的力学结构,良好的抗震性,较好的采光、通风,占地少,节省建筑材料,宜于建筑的高层化等优点。  相似文献   

19.
丽珠胃三联根除幽门螺旋杆菌的临床观察   总被引:4,自引:0,他引:4  
目的:观察丽珠胃三联对十二指肠溃疡患者幽螺杆菌的治疗作用。方法:将183例幽门螺杆菌阳性的初治活动性十二指肠溃疡患者随机分为3组,把丽珠胃三联与质子泵抑制剂+2种抗菌药物所组成的2组三联疗法对照,疗程结束后停药4周复查胃镜观察溃疡愈合情况并进行Hp的检测,观察治疗过程中出现的不良反应和治疗费用。结果:丽珠胃三联组对幽门螺杆菌的根除率为90.5%,与对照组相仿,结论:丽珠胃三联一个Hp的根除方案,具有疗效佳,安全方便,价格低廉等特点,值得临床推广。  相似文献   

20.
提出了一种简单、有效的微进样装置──钨丝电热蒸发进样装置(TSETV),并把该装置与电感耦合等离子体发射光谱(ICP-AES)及直流电弧发射光谱(DC-AES)联用.对该装置本身及与其ICP-AES,DC-AES的联用技术、分折性能作了详细研究.用TSETV-DC系统得到了Ni,Co,Cu,Mn,Cr和Mg的检出限为10-8~10-10g(10μL进样),相对标准偏差明显优于常规DC系统.并用该法分析了纯NaCl中痕量Cu及水样中Cu,Fe,Mn,所得结果同ICP-AES及石墨炉原子吸收(GF-AAS)所得结果相吻合.用TSETV-ICP系统得到了Mg,Cu,Mn,Cr,Fe,Co,Ni,La,Nd,Gd,Dy,Yb,Lu和Y的检出限为10-9~10-11g(10μL进样),相对标准偏差低于6%.并用该方法分析了白酒及大米中痕量Cu,Mn及江西稀土矿区谷物样品中痕量稀土元素,结果满意.实验表明,TSETV具有操作方便,进样量小,能把试样的蒸发和激发过程分开的优点.  相似文献   

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