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相似文献
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1.
采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn 方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律.结果表明:随射频功率(Prf)、气压(p)和约束磁场(B)的增大,EEPF峰位由高能向低能移动,Teff 下降;当Prf从25W增大至35W左右时,ne发生跳跃增长,而nH*始终随Prf增大线性增长;随p增大,ne和nH*都呈现先增加后减小的变化规律;随B增强,ne线性增长,而nH*先增大后减小.  相似文献   

2.
螺旋波激发氢等离子体光谱诊断   总被引:4,自引:3,他引:1       下载免费PDF全文
 利用螺旋波等离子体化学气相沉积(HWP-CVD)技术,以氢气为反应气体产生等离子体。通过采集氢的可见到紫外发射光谱,对等离子体进行了原位诊断,由氢Balmer系分析得到了不同实验参数对激发态氢原子相对密度的影响,通过对Fulcher带的分析,得到实验参数对氢振动温度的影响。结果表明:低压氢等离子体状态可借用日冕模型来诊断;激发态氢原子密度随入射功率增加而增加,随压强增加而减少,氢分子振动温度随压强增加先增大后减小;电子温度和电子密度是低压氢等离子体状态变化的关键因素。  相似文献   

3.
Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度   总被引:1,自引:0,他引:1  
为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,分析了它们随实验参数的变化规律。结果表明:射频输入功率、气压和约束磁场对等离子体状态有较大影响。随着射频射入功率增大,放电模式发生转变,电子密度跳跃增长;随着气压增大,电子密度先增大后减小,1.5 Pa为最佳电离气压,随约束磁场的增强呈线性增长;有效电子温度随功率和气压的增大而下降,随约束磁场的增强线性降低,电子能量几率函数曲线峰位和高能部分都向低能移动,与有效电子温度变化规律吻合。  相似文献   

4.
ICP等离子体鞘层附近区域发光光谱特性分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了独立控制鞘层附近区域离子密度和离子能最分布,采用光发射谱(OES)测量技术,对不同射频功率、放电气压和基底偏压下感应耦合等离子体鞘层附近区域辉光特性进行了研究.原子谱线和离子谱线特性分析表明,在鞘层附近区域感应耦合等离子体具有较高的离子密度和较低的电子温度.改变放电气压和射频功率,对得到的光谱特性分析表明,鞘层附近区域离子密度随射频功率的增大而线性增大,在低压下随气压的升高而增大.低激发电位原子谱线强度增加迅速,高激发电位原子谱线强度增加缓慢,而离子谱线强度增加很不明显.改变基底直流偏压,对得到的发射光谱强度变化分析表明,谱线强度随基底正偏压的增加而增大.随着基底负偏压的加入,谱线强度先减小而后增大;直流偏压为-30 V时,光谱强度最弱.快速离子和电子是引起Ar激发和电离过程的主要能量来源.  相似文献   

5.
 研究了气压对双射频氩氧混合等离子体电子温度和电子密度的影响。在13.56MHz低频功率和94.92MHz高频功率固定为60W和氩氧气体比为1:9的情况下,利用发射光谱法分析了气压不同时氩氧混合等离子体的放电光谱中的特征谱线的变化规律。使用一维质点网格法(PIC-MC)静电模型计算了电子温度和电子密度。结果表明:电子温度随着气压的增加先降低后升高,与实验结果趋势相吻合;电子密度随着气压的增加先增大后减小。  相似文献   

6.
利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体。通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Hα及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况。结果表明:CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小;随气压及功率的增加,Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的。  相似文献   

7.
利用螺旋波激发等离子体化学气相沉积(LPP-CVD)技术,以甲烷和氦气为反应气体产生等离子体.通过采集到甲烷的可见光到紫外发射光谱,对甲烷等离子体进行原位诊断,发现存在CH、Ha及Hβ等碎片粒子的光辐射,同时,分析了不同入射功率、气压下CH粒子以及Hβ、Hγ的相对强度变化情况.结果表明:CH粒子的相对强度随着射频功率是先增大而后减小,随工作气压的增大而逐渐减小;随气压及功率的增加,Hβ、Hγ相对强度变化的总体趋势都是先增加而后减小的.  相似文献   

8.
利用一套螺旋波激发等离子体化学气相沉积(HWP—CVD)发生装置及发射光谱采集装置,原位诊断了不同入射功率、气压、氢气流量下氢等离子体光谱,研究了激发态氢原子的变化情况、氢分子振动温度的变化和激发态氢分子的相对分布。结果表明:  相似文献   

9.
庞佳鑫  何湘  陈秉岩  刘冲  朱寒 《强激光与粒子束》2019,31(3):032002-1-032002-8
针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。同时依据仿真模型设计制作相同尺寸的密闭玻璃腔体和平板电极,实验测量了不同射频输入功率时放电等离子体的有效电流电压及发射光谱,进而计算等离子体的电子温度及电子密度;利用玻耳兹曼双线测温法,得到光谱法下等离子体的电子温度及电子密度。结果表明:当气体压强为250 Pa、输入功率为100~450 W时,等离子体电压电流呈线性关系,电子密度随功率的增大而增大,而电子温度并未随功率的变化而有明显变化,其与功率无关。运用仿真模拟验证了实验的准确性,通过比较,三种方法所得的结果相近。通过结合等效回路法、光谱法和数值模拟仿真法初步诊断出中等气压下等离子体的放电参数,提出了结合三种方法作为实验研究的方法,使实验结果更具说服力,证明其方法的可靠性,也为进一步的等离子体特性研究提供依据。  相似文献   

10.
高气压微波氢等离子体发射光谱诊断   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
在2.45GHz,800W级的高气压微波等离子体放电系统中,通过测量不同微波功率和放电气压下氢等离子体的Balmer线系的发射光谱,从测量的谱线总展宽中卷积去掉具有高斯线形的Doppler展宽和仪器展宽得到谱线的Stark展宽,并通过Stark展宽测量氢等离子体的电子数密度和电场强度。结果表明:等离子体的电子数密度和电场强度随着放电气压的升高都是先增大后减小,随着微波功率的增加呈现逐渐增大的趋势。微波功率为800W时,气压在25kPa时电子数密度和电场强度都达到最大值,等离子体的电子数密度和内部的电场强度分别为3.55×1012cm-3及4.01kV/cm。  相似文献   

11.
We study the quantum Coulomb Gas ofN particles with HamiltonianH at low temperature and negative values of the chemical potential. If is sufficiently negative the Coulomb gas is approximately a perfect rare gas of charged particles, as expected. The interesting fact is that for higher (but still negative) values of the gas changes to a rare gas of some atom or molecule (which is most likely neutral). The type of molecule is determined by the ground state of the HamiltonianHN with center of mass motion removed.Dedicated to Roland DobrushinWork partially supported by U.S. National Science Foundation grant DMS 8600748 (J.C.), PHY 85-15288-(A03) (E.L.) and DMS-8601978 and DMS-8806731 (H.-T.Y.)  相似文献   

12.
We generalize the low temperature expressions for the variation of the sound velocity and sound absorption in glasses due to structural defects for the case of arbitrary frequencies. In case ωτ2 ? 1 our expressions reduce to well known results.  相似文献   

13.
仿真和设计了一种以超导滤波器和低温低噪声放大器为核心的滤波放大组件,在77K温度下,该组件带外抑制大于100d B,在工作频段内,噪声系数优于0.44d B,增益为29.9±0.4d B,输入回波损耗优于-13.8d B,满足设计指标要求。  相似文献   

14.
低温低压氢等离子体的光谱分析   总被引:1,自引:1,他引:0  
采用螺旋波激发氢等离子体,测得氢的Balmer线系前三条谱线的强度.利用二谱线法求电子温度Te,并由Hβ的Stark展宽得到电子密度Ne,简要分析了Te、Ne以及强度与各种参数之间的关系.  相似文献   

15.
随着目前深井和超深井的发展,以及北方、西北地区高寒地带油气井的开发,越来越多的钻杆要求具有抵抗低温或者超低温度的性能需要.低温钻杆成为目前极有发展前景的石油工业技术之一.文中在综述低温材料研究现状的基础上,阐述了低温材料钻杆的工艺现状及其发展趋势.  相似文献   

16.
Refractive-index nonlinearities have negligible effect on the performance of short-haul fiber-optic communication links utilizing electronic repeaters. However, in long links, nonlinearities can cause severe signal degradations. To mitigate nonlinear effects, a new generation of fibers, referred to as large effective-area fibers, have been introduced in recent years. This paper reviews the latest research and development work on these fibers conducted by several research groups around the world. Attention is focused on a class of large effective-area fibers that are based on a depressed-core multiple-cladding design. Another important issue in long-haul and high capacity fiber optic systems is the polarization-mode dispersion (PMD) which has been recognized as a serious limiting factor. In this paper, an improved fiber design is proposed which, in addition to providing large effective-area and low bending loss, eliminates PMD due to elliptical deformation in the single-mode wavelength region. Furthermore, this design is allowed to provide a small chromatic dispersion about few ps/nmkm, in order to overcome four-wave mixing effects.  相似文献   

17.
常温常压下BiMnO_3纳米粉末的制备与物性分析   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
钙钛矿型BiMnO3是同时具有铁磁性和铁电性的多铁性材料,在传感器,信息存储等方面具有潜在的应用前景.但是它的制备条件非常苛刻,需要高温、高压、密封等,这极大地限制了它的应用与发展.本文采用共沉淀法,以MnCl2·4H2O,Bi2O3,NaOH,HNO3和聚乙二醇为材料,在100℃的水溶液中成功地制备出了BiMnO3材料,此方法大大降低了制备的温度和压强,从而节约了能源,降低了成本.同时利用X射线衍射仪(XRD),透射电子显微镜(TEM),振动样品磁强计(VSM)等对其结构、相貌及磁性等进行了检测,并讨论了制备条件及煅烧温度对BiMnO3物性的影响.  相似文献   

18.
The slow light propagation in a line waveguide in the two-dimensional triangular photonic crystal has been numerically studied, based on which a wideband photonic crystal waveguide with low group-velocity and low dispersion is proposed. The numerical simulation analysis shows that it is possible to maximize the group index and minimize the group-velocity dispersion in wide bandwidth by increasing the radius of the basic air hole and changing the position of the first two rows of air holes in photonic crysta...  相似文献   

19.
Measurements of at low x and low are expected to provide a sensitive probe of the transition from Regge to perturbative QCD dynamics, offering a new testing ground for models of small x physics. We discuss the potential of polarized ep colliders (Polarized HERA and eRHIC) to investigate this physics – varying between 0.01 and 1 GeV– and to constrain the high-energy part of the Drell-Hearn-Gerasimov sum-rule for polarized photoproduction. Received: 28 August 2000 / Revised version: 9 November 2000 / Published online: 21 December 2000  相似文献   

20.
本文介绍了低温低噪声放大器的应用情况,以及确保它正常工作所需的结构设计方面的一些问题。  相似文献   

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