影响基于等厚干涉原理测量膜厚精度的因素分析

基于光学干涉原理的薄膜测量技术是重要的光电检测技术之一.该测量方法可获得较高的测量精度.但是在实际干涉测量中,膜厚测量的精度与所用光束的物理特性以及膜厚本身有较大关系.基于薄膜干涉的基本原理,分析了光束的发散角、薄膜厚度以及光束的入射角对基于薄膜干涉测长结果的影响,这对学生正确理解基于干涉的测量原理,掌握正确的测量方法,提高测量精度具有一定的指导意义.     

用等厚干涉测定液体折射率

介绍一种采用等厚干涉原理测定液体折射率的简单可靠的方法。     

综合设计性实验教学探讨——用等厚干涉法测量头发丝直径

综合设计性实验可以培养学生对各种知识的综合运用能力,加深对实验原理的掌握,丰富实验内容,同时激发学生的实验兴趣．本文给出利用等厚干涉法测量头发丝直径的方法．     

迈克耳逊干涉仪实验中的等倾与等厚干涉

本仔细讨论了在面光源照明下用肉眼直接观察的迈克耳逊干涉仪实验中产生的干涉条纹形状，指出等倾干涉和等厚干涉的实验条件，从而帮助学生加深对这两种干涉条纹的理解和判别。     

基于编码标志点的数码相机三维测量与重构

介绍了利用数码相机作为图像传感器,在物体表面设置编码标志点,通过对编码标志点进行识别和检测,从而确定标志点的空间位置,实现了对物体表面某些特定点三维信息的无接触检测。介绍了其中的关键技术,如标志点的设计与检测、基础矩阵的求解、数码相机参数的标定以及内外参数的捆绑调整等,给出了检测实例并进行了精度验证。实验证明,该方法结构简单,成本低廉,数据采集快,移动方便,检测范围大,可满足三维物体特别是大面积物体空间检测的需求。     

用迈克尔逊干涉仪测量全息干板膜厚度

全息干板膜的厚度是全息干板的重要参数之一。使用迈克尔逊干涉仪和白光光源对2种全息干板膜厚度进行测量,并对测量结果误差进行分析,给出了测量误差与膜厚及折射率之间的关系以及此方法的适用范围。研究结果表明：在膜厚从8μm增至41μm的过程中,测量结果的绝对误差≤2μm且变化很小,相对误差则从14.1%降到了2.2%。随着膜厚的增加,相对误差明显降低;折射率n也参与了误差传递,其值与测量误差呈类似反比关系;当n值在1.5附近时,为保证测量的准确性,所测膜厚≥40μm。最后指出,迈克尔逊干涉仪在测量全息干板膜等较厚的薄膜时,具有测量范围大,结果较准确等优点。     

等厚干涉法测量盐度

根据等厚干涉的原理,本文提出了一种通过测量水质的折射率来测定盐度的光学方法。测量误差低于3％。     

基于SPR的类铬型金属膜厚在线纳米测量研究

当具有足够大发散角的柱面光照射在匀厚金属薄膜表面时,由表面等离子体振荡产生的光反射率角分布是膜厚的函数,用CCD接收反射光分布信息并经过计算机分析处理,可实时、在线测量10nm内的铬、钛等金属膜厚,这类金属的复介电常数的实部相对虚部是较小的负数,故具有强反射锐峰及较平坦的吸收峰,该两峰点可作为膜厚测量依据的特征标记点,并通过建库进行曲线匹配而获得膜厚数值.实验结果表明,该方法的平均测量误差可低于0.4nm.     

拍频干涉实验装置测量物体微小位移

拍频干涉实验装置测量物体微小位移诸葛向彬，宗普和，钟建伟（浙江大学物理系杭州１３１００２７）一、不同频率单色光的于涉原理在物理光学中，对二光束产生干涉现象提出如下的前提条件：二束光必须同时来自同一光源，而且它们的频率必须保持相同．这是产生稳定干涉现象...     

摄像型等厚干涉实验仪器的研究

介绍了“摄像型等厚干涉实验仪”的构造及等厚干涉实验新的测量方法。     

数码相机引入科技照像实验

介绍了数码相机的系统结构和工作原理，通过与传统相机的对比分析，在科技照相实验中应该使用数码相机。     

镀膜厚度自动测量的一种方法--容量法

文章介绍了应用容量法自动测量镀膜厚度的理论依据、测试装置和测量结果.     

薄膜厚度测控技术中的物理原理

针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术,简明介绍了光电极值法,干涉法,石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用。     

真空蒸发镀膜膜厚的测量

测量镀膜厚度的方法有很多,在实验室现有的条件下,探究光学干涉方法测出镀膜厚度,其中光学干涉方法包括两种：一是根据多光束干涉的原理,利用读数显微镜测量镀膜的厚度;二是根据自光干涉的原理,利用迈克尔逊干涉仪测量镀膜的厚度。     

用数码照相法研究落球法测量液体的粘滞系数实验

本文用数码照相法研究落球法测量液体的粘滞系数实验,用截图软件对照片进行下落距离的测量．分析了数码相机作为时间测量仪器的使用,以及实验结果所能达到的测量精度．     

利用数码相机进行白光光谱的拍摄

本文介绍了一种利用数码相机拍摄白光光谱的方法．详细介绍了拍摄过程中器材准备、拍摄过程及照片编辑等步骤．     

线胀系数的视频在线光干涉法测量研究

实验室测量金属的线胀系数普遍采用的是光杠杆法,经实验证明光杠杆法存在偶然误差大、测量精度低、占地空间大等问题,通过利用劈尖的等厚干涉法能够很好地解决光杠杆法存在的问题.新方法具有温升范围小、加热功率低、测量精度高、操作简单直观、占地空间小等优点,便于实际教学中教师的讲解、示教和演示,有利于学生综合应用知识,提高综合设计实验的能力.     

金属表面镀层、漆膜测厚仪

介绍一种利用通电线圈产生感应电压原理自制的测量金属镀层、漆膜厚度的仪器。     

塞曼效应实验的CCD测量法

本将CCD摄像技术及电视显微技术引入塞曼效应实验,方便了学生测量,激发了学生的学习兴趣。     

膜厚度测量的椭偏仪法原理分析

薄膜厚度的测量通常有多种方法,但对超薄的膜厚,要达到较高精确度,且测量手段又较为简洁的,则椭偏仪法是理想的选择。本文对这种测量材料膜厚的光学方法从基本原理、仪器特点、测量过程、样品状态等方面,均作了全面的分析。