多线切割机控制系统的设计与研究

分析了多线切割机的总体结构,给出了系统设计控制硬件和软件实现框图,详细阐述了系统恒定张力控制、变径收放线辊恒线速度控制、排线控制等具体功能。     

新型多线切割机张力控制系统研究

分析了多线切割机的工作原理、组成结构及其工作过程。介绍了多线切割机的总体控制方案,并对多线切割机的张力控制系统进行深入地理论研究,建立了控制系统的运动学和动力学模型。在此基础上,提出了一种PID速度同步跟随控制方案。试验结果表明,该方案可靠、稳定、控制精度高、调整方便。     

多线切割机的切割运动分析

半导体晶圆不断向大直径方向发展,内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求,随着多线锯切割技术的完善,多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切割过程中的运动进行了分析,同时对钢线张力、切削进给运动进行了理论分析。     

多线切割机轴辊温度智能控制

多线切割机轴辊温度对于硅片表面质量,尤其是翘曲度有较大的影响。传统的PID控制方法由于其局限性难以满足实际生产的要求。提出一种智能PID温度控制方案,模拟人的控制策略及方法,结合经典PID方案进行轴辊温度控制。该方法简单有效、工作可靠,满足半导体用多线切割机的要求,并在实际工作中成功应用。     

机线张力数控系统卷绕驱动设计

简述了力矩电机的原理,分析机线张力数控系统卷绕驱动机构的工艺要求,针对普通伺服电机驱动收线轮装置存在的缺陷,提出了用力矩电机控制收线轮的方案。在卷绕驱动机构设计参数确定过程中,阐述了切割线张力形成的原理,并且依据控制电机的选择原则,给出了力矩电机选择计算方法,最终完成了力矩电机控制方式的设计,实现了多线切割恒张力、恒限速度的要求。采用力矩电机驱动收线轮能够使卷绕机构满足系统要求,简化卷绕装置的结构,并能使切割过程运行平稳。     

浅谈摆动式多线切割机原理及应用

简述了摆动式多线切割机切割机理及钢线张力控制原理,并就摆动式多线切割机在切割过程中影响切片的因素做了简单分析.     

多轴电机同步运动控制器设计

针对多轴电机同步控制问题,研究一种基于模糊-单神经元PID控制策略的同步控制器。使用研究的同步控制方法与常规PID算法进行对比分析。结果表明,相比基于常规PID算法的多轴电机同步运动控制器,在基于模糊-单神经元PID算法的多轴电机同步运动控制器作用下,各个电机之前的同步误差更小,当第二台电机发生载荷突变时,控制器能够有效抑制载荷突变对整个多轴电机系统的影响。基于模糊-单神经元PID算法的多轴电机同步运动控制器能够有效提升多轴电机同步运动系统的动态特性和稳定性。     

线切割机加工半导体晶片质量控制的研究

根据线切割机的工作原理,切片过程中硅片因机械作用造成的刀痕、损伤、破损产生包括机械应力和热应力在内的应力,进而产生滑移位错.当机械应力和热应力在高温处理过程中的作用超过晶体滑移临界应力时,会产生硅片的破碎.对于翘曲度、弯曲度、总厚度误差、中心厚度误差等方面的质量控制,通过调整线张力、进给速度、冷却剂流量等一系列工艺措施可达到目的及要求,大大降低了生产成本,提高了生产效率.实验证明,线切割机切出的硅片的厚度和质量都很好地满足了下一道工序的要求.     

基于神经网络的多电机同步控制

文章通过对多电机同步控制的原理及其特点分析,将神经网络与PID控制相结合,设计一种神经网络PID控制器并用于多电机同步控制中,有效的缓解负载带来的同步误差,实验结果表明,在相同扰动情况下,该方法能更好的使多电机以一定速度同步运行。     

切割机主轴电机技术研究

在半导体封装技术领域,切割机是一种极其重要的封装设备,而电主轴则是切割机非常重要的一个执行部件,所以,对主轴电机技术的研究据有实际意义.介绍了主轴中电机的设计、加工技术.     

浅析砂轮划片机划切工艺

介绍了砂轮划片机的划切原理以及砂轮刀具的构成,并对影响划切品质的因素进行了分析,结合以往实验结果,得到了砂轮划片机的常规划切工艺,既通过优化划切参数和对刀片的选择,达到减小崩裂,提高划切品质的效果。     

ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计与实现

介绍了ZSH5型自动砂轮划片机控制系统的设计路线和框架结构,以及一些重要功能模块的实现方法和特点。总结了一些精密半导体专用设备的开发经验,为设计和开发机电设备的控制系统提供一些思路和方法。     

张力调节系统在金刚石单线切割设备上的应用

金刚石单线切割设备主要是针对碳化硅等其他硬脆材料的切割,在单线切割过程中,切割线张力的突然变化会导致切割质量下降,甚至断线,必须增加张力调节系统,介绍了国内外单线切割设备的张力调节系统。     

划片机运动性能对划切工艺的影响

通过对砂轮划片机的架构和工作原理研究,分析了X电机速度震动对崩边的影响,Y电机的比例、积分、微分调节对切割位置的影响,阐述了Z轴向电机测高的机理以及对整机的影响。结合工艺划切验证,减小了不良运动特性,减少了设备可能存在的隐患,改善设备的划切效果。     

划片机划切工艺研究

介绍了划片机的划切原理,对划切中影响划切质量的关键因素进行了系统分析研究,并提出指导性的建议。     

划片机工作台仿真分析

以划片机悬臂工作台和桥型工作台为载体,运用ANSYS Workbench仿真软件通过Mohr-Coulomb强度理论分别对两种不同的三轴结构进行位移变形和应力仿真。从仿真结果得出较大变形发生的位置及大小,且桥型工作台结构优化于悬臂工作台结构。     

半导体材料加工设备的新秀--多线切割机

对多线切割机各个部分的作用、原理及整机性能作了简要介绍。     

QFD在切割机工作台设计中的应用

QFD目前在国外很多企业已有效地应用于新产品开发,并取得了显著成效。缩短开发周期,减少设计更改,降低开发成本,这就使企业开发的新产品处于比竞争对手更优势的地位。简单介绍了QFD的基本概念、分析方法、主要步骤及方案评估,然后,结合切割机工作台的开发设计,论述了QFD技术在切割机产品开发过程中的应用。     

多线切割机排线方法研究

介绍了一种用于多线切割机的线轮排线方法、及其排线控制系统,该方法适用于多线切割机高速单向或往复工作时的线轮排线工作,具有实现简单,工作可靠等优点,已在新型300mm多线切割机上成功应用。