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Si/SiNx/SiO2多层膜的光致发光 总被引:1,自引:0,他引:1
采用射频磁控溅射法,制备了具有强光致可见发光的纳米Si/SiNx/SiO2多层膜,利用傅立叶红外吸收(FTIR)谱,光致发光(PL)谱对其进行了研究。用260nm光激发得到的PL谱中观察到高强度的392nm(3.2eV)和670nm(1.9eV)光致发光峰,分析认为它们分别来自于缺陷态≡Si-到价带顶和从导带底到缺陷态≡Si-的辐射跃迁而产生的光致激发辐射复合发光。PL谱中只有370nm(3.4eV)处发光峰的峰位会受退火温度的影响,结合FTIR谱认为370nm发光与低价氧化物—SiOx(x<2.0)结合体有密不可分的关系。当SiO2层的厚度增大时,发光强度有所增强,800℃退火后出现最强发光,认为具有较大SiO2层厚度的Si/SiNx/SiO2结构多层膜更有利于退火后形成Si—N网络,能够得到更高效的光致发光。用量子限制-发光中心(QCLC)模型解释了可能的发光机制,并建立了发光的能隙态(EGS)模型。 相似文献
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采用射频磁控反应溅射技术制备了a-Si/SiN_x超晶格材料,并采用热退火技术对材料进行处理。利用吸收光谱和X射线衍射谱对材料进行表征,结果表明Si层呈现非晶态。为研究材料的三阶非线性光学特性,对材料进行Z扫描研究,测量数据表明,材料的非线性吸收为反饱和吸收,材料非线性折射率呈现为负值,该材料的χ(3)的实部为4.57×10~(-17)C(1.39×10~(-7)esu),虚部为1.49×10~(-17)C(4.48×10~(-8)esu),该极化率数值比体硅材料的χ(3)值大5个数量级。对该材料非线性光学产生的机理进行了研究,认为材料体现出的较强的量子限制效应是非线性极化率增强的主要来源。 相似文献
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利用磁控溅射方法在不同溅射压强条件下制备了TiN/SiNx纳米多层膜.多层膜的微观结构及力学性能分别用X射线衍射仪、原子力显微镜及纳米压痕仪来表征.结果表明随着溅射压强的增大,多层膜的界面变模糊,TiN层的择优取向由(200)晶面过渡到(111)晶面.与此同时,多层膜的表面粗糙度增大,硬度和弹性模量随溅射压强的增大而减小.多层膜力学性能的差异主要是由于薄膜的周期性结构及致密度存在差异所致.
关键词:
x多层膜')" href="#">TiN/SiNx多层膜
界面宽度
表面形貌 相似文献
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月球表面环境对Mo/Si多层膜光学特性的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了月球表面高温、强辐射的空间环境下Mo/Si多层膜的热稳定性和辐照稳定性。Mo/Si多层膜采用磁控溅射法镀制,将制备好的多层膜在100℃和200℃高温下加热,利用激光等离子体反射率计和X射线衍射仪(XRD)对加热前后的多层膜进行了测量。结果显示在200℃以内,多层膜反射率和中心波长没有显著变化,表现出良好的热稳定性。利用Monte Carlo方法模拟了质子在多层膜内造成的缺陷的分布和浓度分布。模拟显示,能量大的质子沉积在多层膜内部,造成的缺陷也集中在多层膜内部。用能量为60keV,剂量分别为3×1012 cm-2和3×1014 cm-2的质子对Mo/Si多层膜进行辐照实验。发现多层膜内部出现了烧蚀损伤缺陷及节瘤缺陷。结果表明能量相同时,辐照剂量越大对多层膜反射率影响越大。 相似文献
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Co-Zr/Pd多层膜由高频溅射方法制得.磁性合金Co-Zr层厚度固定为1.8nm,改变Pd层厚度0.5—6nm.由振动样品磁强计测量,发现随Pd层厚度增加,磁化强度发生周期性振荡变化,周期约为1nm,这是由Pd层的极化振荡引起的.经X射线衍射测得Pd层厚度超过1.3nm时,磁性合金Co-Zr层发生晶化,而厚的Co-Zr单层膜是非晶结构.X射线大角衍射图中的超晶格峰表明,在Co-Zr层和Pd层之间存在相关生长.而且还发现,随Pd层厚度增加,样品在垂直膜面方向的晶粒尺寸及fcc(111)面的面间距发生周期性
关键词: 相似文献
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用X射线运动学理论对软X射线多层膜光栅的衍射特性进行了研究。发现其衍射规律与多层膜的布拉格衍射和普通光栅衍射有本质的区别,可将衍射能量集中于某一衍射级上,同时它又保持了多层膜的高反射率和光栅的高分辨本领等优良特性。 相似文献
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利用极化中子反射技术较系统地研究了CoFe/TiZr复合多层膜材料界面结构,结果表明.1)从多层膜超镜传输特性角度考虑,等厚对层不如非等厚对层膜结构好.2)等厚对层的最佳退火温度约250℃,非等厚对层退火温度低于250℃影响不明显,等厚和非等厚对层经350℃退火后膜层变化严重.3)从布拉格峰位变化看,随着退火温度的升高,等厚对层膜的厚度先变小后变大;非等厚对层与之相反. 相似文献
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采用射频磁控反应溅射技术与热退火处理制备了Si/SiNx超晶格材料。利用吸收光谱和X射线衍射对材料进行表征。通过皮秒脉冲激光单光束Z-扫描技术研究了该材料在非共振吸收区的三阶非线性光学特性,实验结果表明,样品的非线性折射率为负值,非线性吸收属于双光子吸收。由实验数据得到材料的三阶非线性极化率实部和虚部分别为1.27×10-7,1.51×10-8esu,该值比体硅材料的三阶非线性极化率值大5个数量级。对材料光学非线性产生的机理进行了探讨,认为材料的非线性极化率的增加来源于材料量子限制效应的增强。 相似文献
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F. Stobiecki T. Luciński B. Szymański J. Dubowik K. Röll 《Czechoslovak Journal of Physics》2002,52(2):231-234
The interlayer exchange coupling and GMR effect of (permalloy/Cu
x
Au1-x
)30 (Py = Ni83Fe17; 0.29x0.75) sputtered multilayers (MLs) were investigated. The strength of the antiferromagnetic (AF) interlayer coupling J
AF was determined from M(H) and/or R(H) curves. GMR effect and AF coupling was found in entire investigated concentration range of Cu
x
Au1-x
. For x<0.65 the J
AF values at the first maximum of AF coupling (1.3t
Cu-Au1.6 nm) were smaller than 3×10-6 J/m2 and for x>0.65 J
AF increased to a value characteristic of Py/Cu MLs (J
AF10-5 J/m2). The second maximum of AF coupling (J
AF10-7 J/m2) was only found for x0.75 at t
Cu-Au2.6 nm. 相似文献
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在Si基集成光电子学的发展中,高效的Si基光源是人们不懈追求的目标。但是Si材料的间接带隙特性导致其发光效率低,更谈不上受激发射。于是人们探索了多种Si基材料体系来提高Si材料的发光效率,并在不同程度上取得了重要的进展。在众多的Si基发光材料体系中,Ge/Si量子点材料,不仅生长工艺与标准的CMOS工艺有很好的兼容性,而且发光波长能够覆盖重要的光通信波段即1.3~1.55μm,因此成为实现Si基发光器件的重要途径之一。但是目前这种材料的发光效率仍很低,所以提高其发光效率自然成为人们关注的焦点。如果将光子晶体引入到nc-Ge/Si材料中,它不仅可以改变材料本身的自发发射特性,而且可以改变发射的光子的提取效率,从而使材料的发光效率得到增强。提出了在Ge/Si量子点材料中引入光子晶体结构来提高其发光效率,包括光子晶体点缺陷腔结构和带边模式工作的完整光子晶体结构,并从理论上分析了发光效率提高的原理。针对发光波长在1.5μm附近的材料结构,模拟出了相应的光子晶体的结构参数。从模拟结果可以看出,对于缺陷腔的光子晶体结构,采用单点缺陷微腔很好地实现了单模运作,但是微腔内有源材料的体积很小,因此得到的发光效率很低。而采用耦合缺陷腔的结构和H2腔都增加了腔内有源区的体积。但是耦合腔与H2腔相比,谐振腔模减少,主谐振模式的峰值强度增加,更容易实现单模发光。因而更适用于提高nc-Ge/Si的发光效率。而带边模式工作的光子晶体结构,尺寸较大,不需引入缺陷,工艺上更容易实现。 相似文献
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对一种新型的,具有双脂链的盘状非活性分子氮冠(醚)(NC)LB膜进行了表征。小角X射线衍射(SAXD)结果表明:纯NC分子可以形成非常好的LB膜有序结构。将它与活性分子半花菁(DAEP)制备成Y型交替多层膜,由于半花菁分子的单脂链(长尾)可以镶嵌在NC分子的双脂链之间,改善了多层膜的结构有序性及稳定性,从而得到二次谐波强度随层数的变化在1 ̄116双层范围内显示出较理想的平方关系。通过二次谐波的测量 相似文献
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测定了新型光功能有机材料锌 四苯并卟吩 巴豆酸 苯氧树脂 (Zn Tetrabenzoporphin CrotonicAcid/PhenoxyResin ,简称ZnTBP/CA/PhR)体系薄膜样品在可见光范围内的吸收谱 ,定点测量了其主要吸收谱带在激光作用下的变化情况 ,实验观察到此种材料显著的饱和及反饱和吸收现象 ,还首次观察到它的再反饱和过程。文章定性分析了变化过程中的物理机制 ,讨论了ZnTBP/CA/PhR的非线性吸收特性在光子学领域的一些应用 相似文献
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采用皮秒Z-扫描技术研究了两种不同中心金属取代的酞菁配合物2,9,16,23-四-(对羧基苯氧基)酞菁钴(p-HPcCo)和2,9,16,23-四-(对羧基苯氧基)酞菁锌(p-HPcZn)的非线性光学性质,并从离域电子共轭结构理论和共振、非共振增强理论进行了分析.结果表明:吸电子能力强的金属离子Zn2+ 取代的p-HPcZn的吸收带相对于Co2+ 取代的p-HPcCo略有红移|两种样品均具有正的三阶非线性极化率,共振增强使得p-HPcZn和p-HPcCo的三阶非线性极化率在532 nm条件下比1 064 nm条件下增强了近两个量级,中心金属离子强的吸电子能力使得p-HPcZn的三阶非线性极化率大于p-HPcCo,并在532 nm激发时,χ(3) 具有最大值1.76×10-10 esu. 相似文献