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搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统。利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑。利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化。提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行x, y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同。实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点。 相似文献
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根据高温超导薄膜的特点,详细讨论了制备高温超导滤波器的光刻技术及在制备的各环节中需注意的问题,实验结果表明:此种方法提高了制备的成功率。 相似文献
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采用激射波长为850 nm的AlGaInAs/AlGaAs梯度折射率波导分别限制增益量子阱结构的外延片,分别制备了具有锥形结构和条形结构的半导体激光器,并对比分析了两者的温度特性。结果显示,测试温度为20~70℃时,锥形结构器件的特征温度为164 K,远高于条形结构器件的96 K;占空比为0.5%(t=50μs,f=100 Hz),1 000 mA脉冲电流注入条件下,锥形激光器和条形激光器的波长漂移系数分别为0.25和0.28 nm/K;测试温度〈50℃时,锥形激光器和条形激光器的光谱半高宽分别约为1.12和1.24 nm。实验结果表明:相同外延层结构条件下,锥形激光器比条形激光器拥有更高的特征温度。 相似文献
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结温升高是影响主控振荡放大(MOPA)半导体激光芯片输出功率的重要因素,为解决MOPA芯片的多电极封装和高效散热问题,提出了一种正装和热扩散辅助次热沉相结合的封装结构。建立了该封装结构的3D热模型,对比研究了倒装封装结构、正装无辅助次热沉结构与正装有辅助次热沉结构对MOPA半导体激光器结温的影响。计算结果表明,采用正装有辅助次热沉结构与倒装封装结构散热性能接近,且显著优于正装无辅助次热沉结构,结温降低幅度最高可达40%。另外,采用正装有辅助次热沉封装结构的MOPA半导体激光芯片在连续工作条件下输出功率为10.5 W,谱宽可实现半高全宽小于0.1 nm,中心波长随电流的变化约14 pm/A,实现了10 W级MOPA芯片的封装,验证了该封装结构的有效性。 相似文献
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为提高1060 nm锥形激光器的输出性能,对1060 nm锥形激光器的脊形波导区和锥形增益区长度进行了优化。当保持总腔长3 mm不变时,设置脊形波导区长度为500,750,1000μm。在输出功率为2 W时,对三种情况所需的输入电流、功率-电流曲线斜率效率、电光转换效率、输出光谱及远场特性进行了对比。研究结果表明,当脊形波导区长度为750μm,锥形增益区长度为2250μm时,1060 nm锥形激光器的输出性能最优。当输出功率为2 W时,所需输入电流为3.95 A,斜率效率为0.61 W/A,转换效率为33.9%,光谱宽度(半峰全宽)为0.3 nm,远场近似高斯分布且95%能量处的水平发散角约为14°。 相似文献
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A novel semiconductor laser diode with nonlinearly tapered waveguide is proposed, and analyzed by a finite element beam propagation method (FM-BPM). The results show that the coupling efficiency is increased, and the laser's far field divergence is decreased effectively. 相似文献
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LI Hong HAUNG Dexiu 《Chinese Journal of Lasers》2001,10(3):167-170
1 Introduction Highefficientcouplingbetweenchip(semiconductorlaserdiode)andsinglemodefiberisthekeytechnologyforopto electronicsintegrationinthefuturecommunication[1 ] .Butt couplingofsemiconductorlaserdiodewithsinglemodefiberleadstolargecouplinglossandse… 相似文献
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A semiconductor laser diode with circularly symmetric waveguide is proposed, its property is studied by scalar finite-difference time-domain method (SFD-TDM). The results show coupling loss between the semiconductor laser diode and single mode fiber is reduced effectively, the minimum coupling loss is 0.7 dB. 相似文献
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A. K. Chernyshov S. P. Kotova V. L. Velichanskii 《Journal of Russian Laser Research》2002,23(2):132-147
It is shown that the type of lateral waveguide of a laser diode cannot be determined uniquely based on just the measured magnitude of astigmatism. For a unique determination, the K-factor of Petermann, which characterizes the wavefront curvature at the laser output facet, must be measured as well. In order to determine the type of lateral waveguide, a setup for measuring astigmatic distances in the range 0–200 m with an error of ±2 m and a K-factor with an error of 20% was developed. Operational features of the setup were analyzed, and a technique that allows one to minimize the effect of beam ellipticity on the measurement results was found. Using the technique, the optimization of spatial matching of a laser diode with a ring interferometer of the butterfly type was accomplished. For transformation of the astigmatic elliptical beam into the axially symmetric mode of the interferometer, we have used an optical system that consists of two cylindrical and one spherical lenses. The algorithm for designing the matching system was developed, and the 85% injection of radiation of a AlGaAs laser diode into the principal mode of a ring interferometer was experimentally demonstrated. 相似文献
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二极管双侧抽运横流连续液体激光系统性能模拟 总被引:2,自引:0,他引:2
为解决无机液体激光系统的热效应问题,采用激光二极管双侧抽运横向流动的Nd3 :POCl3:ZrCl4溶液以很好地减小热效应,实现液体激光系统高功率高光束质量输出。建立了液体激光理论模型,分析了工作参量对系统能量转换效率与介质热效应的影响;模拟了系统在不同吸收系数和不同流速下的能量转换效率,远场光斑分布以及激光束亮度分布。模拟结果表明:采用二极管作为抽运源可以获得很高的能量转换效率,而且光束质量较好;在给定抽运体积和抽运强度为800 W/cm2时,介质的吸收系数位于2.5~3.0 cm-1,流速约为25 m/s时,输出功率与光束质量实现最佳匹配,激光束亮度最高,系统性能达到最佳。 相似文献
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