无油机械真空泵及其应用

综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类 ,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题 ,以及对泵的选择和应用。     

无油真空泵在半导体生产中的应用

目前的半导体生产企业越来越多地用无油真空泵（干泵）来取代传统的旋片式真空泵（油泵），原因很简单，干泵的运行成本比油泵低得多，而且相对洁净，寿命长，在半导体生产中油泵的致命缺陷在于需使用昂贵的PFPE油。并且在CVD工艺，刻蚀，扩散等工艺上需经常做保养并换油，这使干泵无疑成为这些苛刻的半导体工艺的最佳选择。     

油密封真空泵的安全使用

本文主要阐述真空机械泵的运行原理,其中着重说明了泵发生安全事故的主要原因,并 提出了如何改善真空系统的建议。     

真空泵

采用多段喷管的喷射器式真空泵适于粉状物体的真空传输。 有吸入空气量为18～13,800升/分,到达真空度为—65～99kPa等多种模式。 特点: ① 消耗空气量少。     

常压真空泵

DirectorrG真空泵用内齿轮元件代替叶片,其抽速为1立方英尺/分。可以在100μm到1个大气压之间的任何压强下连续工作。特别是内齿轮的设计是很严格的,这就使所产生的摩擦最小。而且它可以在高压强时启动冷凝器,可与带有绝缘阀门的双电压/频     

转叶式真空泵

Balzers公司推出了一种新型的重量较轻的UNO/DUO2.5-A转叶式真空泵。其价格和小型尺寸与以前各种型号的相同,但其抽气速度更高。它提供1.7cfm的体流率,极限真空度为10-4Torr,供中、低真空范围使用。     

无油真空系统及其初步应用

无油超高真空技术在近代真空技术及广泛的科学领域中起着重要作用.尤其对于电真空器件的研制与生产有着特殊的意义。本文试图与油泵排气方式相比较,简述了无油排气方式的优越性;详细描述了自制无油排气系统及其主要泵;扼要介绍了运用无油排气系统进行应用实验的进展;提高了氧化物阴极发射性能;明显地改善了高压真空电容器的耐压能力;提高了磁控管及行波管的成品率以及管子某些性能得到改善。作者最后对于无油真空技术的发展及其应用陈述了若干意见,供有关同志参考。     

小型无油真空系统的试验

一、前言在无产阶级文化大革命的推动下,电真空事业蓬勃发展,无油真空系统在电子器件上的应用日益广泛,不少单位有了实例。我们在一九七四年进行了试验。首先是用8升/秒的钛离子泵系统对FU-101大功率发射管进行排气试验。封离真空度在10~(-8)托,比现有的1000升/秒的油泵系统要高。随后又制作了30升/秒的钛离子泵和200升/秒的钛升华泵。并首先在     

玻璃真空泵监视报警器

本文将要介绍一种报警器,专用于监视玻璃真空泵的工作情况。当玻璃真空泵受到撞击、破碎、振动时,该监视器能发出报警。特别要指出的,当玻璃真空泵振动在超声波范围内的频率时,危险性最大,但人不易觉察,此监视报警器能很快报警,可避免真空泵玻璃破碎的损失。玻璃真空泵监视报警器的具体线路如图1所示。使用时,只要将C_(o1)用粘胶贴附于玻璃真空泵的玻璃上,并用屏蔽线引出 C_(o1)的两端,如图1连接。     

微波管生产工艺中的无油检漏技术

阐述了微波管生产工艺中真空封泥油污染的危害性,并简要介绍了无油检漏夹具的设计.     

干式真空泵的优化选择

本文介绍在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型。     

干式真空泵的优化选择

介绍了在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型。     

供激光器用的真空泵

在小型激光器系统中，是用油封机械泵给循环的工作气体连续抽气，使其在冷却和纯化之后回到激光器。对于较大的激光器，是用罗茨泵来维持总气流，但油封机械泵仍然需要，用以提供预备真空并连续抽掉辅助气体流，以便除去不要的气体分子，使纯化后的气体以任意必要的组分返回激光器。     

干式真空泵的优化选择

介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型.     

提高水环真空泵效率研究

大唐甘肃西固热电厂2×330MW机组采用水环式真空泵。夏季时真空泵工作液温度高,效率较低,严重影响机组经济性和安全性。生水温度稳定,管路距2台机组真空泵距离均较近,利用现有管路,改造工程工作量较小。真空泵增加一路生水作为冷却水源,显著提高真空泵效率。     

干式真空泵的优化选择

过去，人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能令人满意。因此，干式真空泵应运而生。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。因为