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通常对一种半圆柱壳槽靶与平面靶激光等离子体软X射线光谱空间分布特点和流体动力学行为的比较,证实这种槽形靶可以有效地提高槽区内等离子体温度,从而增强该区域内的软X'射线光谱发射. 相似文献
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本文报导激光等离子体辐射X射线的测量方法和结果。在“星光”装置上,用1.6μm激光辐照Na/F和铜靶。用平晶谱仪测量等离子体辐射X射线绝对强度,并研究了辐射X射线强度与入射激光功率密度的关系,测量了靶前后辐射强度之比,为光电离机制的X光激光研究提供了较重要的数据。 相似文献
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非同轴双束激光产生的等离子体辐射 总被引:1,自引:0,他引:1
采用非同轴双束激光,可得到时空差可控的二束不同性质的等离子体,实现在绝对同等条件下研究多束等离子体辐射的空间非均匀性和等离子体喷射对线加宽的影响。实验结果显示出在最简单的实验装置上实现等离子体强X射线泵浦X射线激光方案的可能性。 相似文献
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采用波长13.5 nm的极紫外光作为曝光光源的极紫外光刻技术是最有潜力的下一代光刻技术之一, 它是半导体制造实现10 nm及以下节点的关键技术. 获得极紫外辐射的方法中, 激光等离子体光源凭借转换效率高、收集角度大、碎屑产量低等优点而被认为是最有前途的极紫外光源. 本文开展了脉冲TEA-CO2激光和Nd:YAG激光辐照液滴锡靶产生极紫外辐射的实验, 对极紫外辐射的谱线结构以及辐射的时空分布特性进行了研究.实验发现: 与TEA-CO2激光相比, 较高功率密度的Nd:YAG激光激发的极紫外辐射谱存在明显的蓝移; 并且激光等离子体光源可以认为是点状光源, 其极紫外辐射强度随空间角度变化近似满足Lambertian分布. 相似文献
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激光产生等离子体的研究 总被引:5,自引:0,他引:5
强激光(≈10^8-10^9W.cm^-^2)轰击固体靶产生等离子体,用4kV电势引出,得到最高总束流峰值为4.5mA,观察到离子最高电荷态为C^3^+,Al^3^+,Cu^4^+,Ta^5^+,Pb^4^+。另外,还详细研究了激光能数对等离子体的影响及激光等离子体的损失。 相似文献
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在低真空条件下(5Pa),通过测量脉冲激光烧蚀平面Al靶产生的等离子体辐射谱的时间分辨特征,得到辐射粒子速度的空间分布.在激光脉冲宽度为10ns,烧蚀斑直径为200μm,靶面上功率密度分别为1.91×1010,5.10×1010和7.64×1010W/cm2时,测得辐射粒子Al的速度均在106cm/s量级,且随着靶面径向距离的增大而近似呈指数衰减.在距靶面的相同距离处,激光功率密度的增大反而使速度减小.利用激波模型(shockwave model)较好地解释了实验结果,并得出激波的波面基本为柱对称
关键词:
激光等离子体
平面Al靶
粒子速度分布
激波 相似文献
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激光辐照凹形靶提高激发态离子的丰度 总被引:2,自引:1,他引:1
本文通过分析比较激光辐照平面和凹形结构靶实验产生的等离子体辐射特性,发现在凹形靶的凹域中存在着丰富的高激发态离子并发射强的激光等离子体X射线. 相似文献
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脉冲激光烧蚀空气中金属靶产生等离子体的性质 总被引:3,自引:0,他引:3
当1.06μm和脉宽为10ns、功率密度为9.3×109w/cm2的脉冲激光作用在大气中的金属靶面上时,将产生等离子体。研究了它从200nm~880nm间的空间、时间分辨谱,用飞行时间诊断方法得到了等离子体中被激发的核素的速度、电子密度和电子温度等特征数据 相似文献
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设计了一种小型激光等离子体软X线-真空紫外光源。该光源辐射强度高、波段覆盖宽、光谱连续平滑,其重复性、稳定性均优于±4.5%。适合在非同步辐射的一般实验室中使用。在亚微米光刻、软X射线显微术、真空紫外光谱学、薄膜光学常数测试等研究及应用技术领域具有广泛的实用价值。本文探讨了光源的辐射机制,给出了较理想的光谱测试结果。 相似文献
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重离子束在等离子体靶中的能量损失 总被引:1,自引:0,他引:1
借助于线性Vlasov方程,我们研究了重离子束在等离子体靶中的有效电荷数和电子阻止本领。在高速情况下,分别得到了它们的解析表示式。以~(40)Ga,~(74)Ge,~(84)Kr,~(110)pd,~(208)pb及~(238)U等重离子束在氢等离子体中的能量损失为例,将我们的理论结果与Hoffmann等人的实验结果进行了比较。 相似文献
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用1米掠入射光栅谱仪测量了在点聚焦和线聚焦两种打靶方式下,单脉冲或双脉冲驱动锗薄膜产生的等离子体XUV光谱。并对测得结果进行了分析讨论。在点聚焦打靶条件下,等离子体发射的XUV光谱主要为底衬材料发射的谱线,集中在小于19um的波长范围内。在靶长10mm线聚焦打靶条件下,Ge等离子体谱线增多,出现了GeXXⅢ3s─3pJ=0-1和J=2-1两条激光线。C离子的Hα线显著变强。 相似文献
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HL—1M装置欧姆等离子体实验的初步分析 总被引:1,自引:2,他引:1
从1994年10月24日开始,对HL-1M装置进行欧姆加热等离子体的调试实验,获得了Ip=310kA,qn<2.5,nc=3×10^13cm^-3,Tc(0)>1keV,Ti(0)>0.5keV和τE≈10ms的平衡稳定等离子体。本文简述了HL-1M装置及其诊断等的实验结果进行了初步分析和讨论。 相似文献
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采用非干扰的实时光谱学诊断检测手段,对XeCl准分子激光烧蚀沉积Y-Ba-Cu-O高温超导薄膜过程中的等离子体辐射进行了研究,光谱分析结果表明,由靶面出射的沉积粒子不仅有Y、Ba、Cu原子和YO、BaO、CuO分子,而且还有大量的一价和二价钇、钡、铜离子。实验中还探讨了发光辐射与激光能量密度及其充氧压的变化关系。 相似文献
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本文介绍了用全息干涉法诊断爆炸丝等离子体的数据处理方法。在考虑等离子体区域为轴对称的情况下,给出了由折射率计算等离子体电子密度的计算公式。在爆炸丝能量为9.6J的情况下,拍摄到了延时3μs的爆炸丝等离子体干涉图。运用计算机图象处理技术对反拍后的干涉图进行了处理,获得了较为理想的干涉图。用微机控制的线阵CCD摄像机判读了干涉条纹漂移。给出了等离子体密度随径向分布的曲线,并得到相应的等离子体密度在中心处约为1016个/cm3。 相似文献
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杨式坤 《核聚变与等离子体物理》1985,(3)
等离子体电位是托卡马克装置的一个重要参数。它的测量在放电机制、等离子体的平衡与稳定、等离子体-表面相互作用以及杂质控制等研究课题中有着极其重要的作用。 本文描述用朗谬尔探针,以及由它组成的对称双探钎系统(以下简称SDP系统)测量微环托卡马克边界区等离子体电位V_0的两种方法和结果。 相似文献
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给出了寂静放电产生的非平衡态氧等离子体特性的实验研究结果,并对空气中及氧气中合成臭氧的特性进行了研究,得到了在纯氧放电时臭氧质量浓度C= 18.9m g ·L- 1、臭氧产率Q=1800m g ·h- 1、臭氧单能产率η= 70g ·(kW ·h)- 1 的实验结果,同时对影响C、Q的因素也进行了研究。最后,就臭氧对造纸黑液的脱色、降粘及脱木素的作用进行了实验探讨 相似文献