液体反射式激光平面干涉仪

口径大于200毫米、光圈要求在0.1道以上的大型平面镜的面形检验,是十分困难的事情。为解决图1所示平面镜加工中检验和最后鉴定的问题,我们制作了一台大口径反射式液     

阴影检验(续)

三、阴影检验的应用由于阴影检验具有一系列比较突出的优点,如设备简单、比较直观、灵敏度高、被检光学零件的口径不受限制,而且又属于非接触检验等等,所以广泛地应用于光学零件的制造中。下面我们将着重介绍它在光学零件加工检验中的一些应用1.在大口径球面反射镜加工中的应用由于大口径球面样板制造困难,尤其在生产数量较少的情况下,更没有必要制造那么大口径的样板。因此在大口径球面反射镜的制造中,几乎都采用刀口阴影法来检验。检验时将刀口仪放在反射镜的球心,如图1所示,构成自准直光路。刀口仪的位置要尽可能放准确,刀口仪的星点用目视法使其大致位于反射镜的光轴上。由于星点光斑的均匀性对阴影图形有影响,所以在检验前必须将刀口仪星点孔出射的光斑     

奥普光电在大口径平面镜光学加工取得突破

正近日,中科院长春光学精密机械与物理研究所投资的奥普光电公司加工完成了直径为700mm的BZPMJ700标准平面镜。这标志着奥普公司在大口径平面镜光学加工技术上取得重大突破。该BZPMJ700标准平面镜由平面反射镜和精密二维支撑架两部分组成。面形精度为:PV=0.187λ、RMS=0.018λ、P     

纳米级面形精度光学平面镜加工

为实现纳米级面形精度光学平面镜的高效精密抛光,提出了一种由传统环带抛光技术和先进离子束抛光技术相结合的组合式加工方法。介绍了环带抛光技术和离子束抛光技术的原理,通过实验研究了离子束抛光的材料去除函数,并采用这种组合抛光方法对口径为150 mm的平面镜进行抛光,抛光后平面镜的面形误差和表面粗糙度分别达到1.217 nm RMS和0.506 nm RMS。实验结果表明,这种组合抛光技术适合纳米级面形精度光学平面镜的加工。     

大口径金属镜的加工

<正> 随着现代光学事业的不断发展,大口径金属镜也进入了光学领域。小太阳模拟器光学系统就是典型的大口径金属光学元件的集合,其中主要包括φ610mm 的球面镜、φ490mm 的椭球镜和φ320mm 的铜质平面镜。下面简介大口径金属镜加工的点滴经验。     

大口径高精度空间光学窗镜制造技术

大口径高精度空间光学窗镜的技术特点有二。其一是要有很高的波面畸变精度。受窗谱材料光学均匀性的限制，常规的平面镜制造技术已不再适用。应用以非平面的镜面修磨工艺与全口径数字干涉检验为技术基础的等光程工艺方法，已研制出波面畸变小于λ／５０（ＲＭＳ）的大口径空间窗镜。其二是要有特殊的光学表面质量要求。空间窗镜的工作寿命在很大程度上取决于窗镜表面的微裂纹。采用了特殊工艺对表面微裂纹进行处理。模拟试验的结果表明这些方法是有效的。     

大口径氟化镁(MgF_2)平面镜的加工

<正> 3～5μ波段大口径红外材料氟化镁平面镜的加工是比较困难的。我们没有这方面的工艺资料。经走访有关单位和查阅有关资料,结合实际情况,我们进行了实验性加工。以下是我们的一点体会。一、对零件要求N=5,△R=0.5,B=? θ=l′,△R=B,φ_效208     

大口径轻质非球面反射镜制造技术研究

研制某卡塞格林光学系统的关键技术之一是通光口径超过1000mm的轻质抛物面主反射镜。该反射镜相对口径为1/2,减重率为65%,是目前国内最大口径的轻质非球面反射镜。成功地解决了大口径轻质镜坯的制造和大口径轻质非球面镜的加工与检测方面的难题。通过对高比刚度轻质镜的设计和进行CAD工程分析以及选用合理的光学材料,采用计算机控制的数控钻铣技术制造出了反射镜镜坯。在经典光学加工技术的基础上,摸索到了针对大口径轻质镜的支撑、加工与检测方面的技术。检测结果表明,该反射镜的研制达到了各项设计指标,其面形精度的均方根值RMS=0 029λ(λ=633nm)。     

平面镜成像观察范围的确定

利用平面镜观察镜前的景物(即景物的虚像),其观察范围既与平面镜的口径有关,又与观察点在镜前的位置有关.下面以实例来说明如何确定平面镜成像的观察范围.     

塑料平面镜的研制

<正> 近几年来,塑料光学的研究工作进展极快,它已引起人们的普遍重视。塑料光学材料不易碎、比重小、透光性好、加工方便、价格低廉,由它制成的反射镜、透镜、平面透明板、防护镜等已得到日益广泛的应用。研究用传统的化学镀银方法制取塑料平面镜,目的是制造一批质轻、性韧、价格便宜的塑料平面镜以供民用;同时,又可利用一般制镜厂的普通设备进行生产。但是直接用传统的制     

大口径平面镜的计算机辅助瑞奇-康芒检验

 在瑞奇-康芒检测中,被检平面本身所固有的像散和大曲率在被检系统波像差数据中都表现为像散。由于被检平面处于发散光路中,这就使得平面面形与系统波像差之间的关系(即影响函数)变得十分复杂,推导起来十分困难,只能进行定性或半定量检测。文中介绍了如何通过计算机光线追迹模拟瑞奇-康芒检验,在两个瑞奇角下得到两组影响函数,以此建立过定方程组,由干涉仪检测得到的两个不同瑞奇角下的系统波像差,通过最小二乘法解过定方程组,拟合得到被检平面镜的面形误差;实现了大口径平面镜的定量检测,并以平面镜直接检验的面形误差作为对比,检验结果的一致验证了该方法的准确性与可行性。     

采用五棱镜扫描法检测大口径平面镜的面形

为了提高大口径平面镜面形检测的精度和效率,提出了一种新的五棱镜扫描法。该方法采用径向扫描的方式,使用一个扫描的五棱镜和一台自准直仪来测量表面倾斜角的差值,然后将被测平面镜的面形表示为Zernike多项式的线性组合,再利用表面倾斜角的差值建立方程组,最后采用最小二乘法计算得到被测平面镜的面形。在检测过程中,该方法还可以对五棱镜在扫描过程中的倾斜变化量进行自动监视和调整,减小了检测误差。误差分析表明,该方法的面形检测精度为7. 6 nm rms(均方根误差)。采用该方法对一块1. 5 m口径的平面镜进行了面形检测,并与Ritchey-Common法的检测结果进行了对比,两种方法面形结果的差异为7. 1 nm rms,小于五棱镜扫描法的面形检测精度。证明了利用该五棱镜扫描法检测大口径平面镜面形的正确性。     

大口径激光玻璃光学加工的质量控制

大口径激光玻璃光学加工的特点是加工指标要求高、难度大,加工周期长,而质量控制是保障大口径激光玻璃光学加工质量满足要求和促进工艺进步的管理手段。从质量控制和质量管理的角度出发,阐述了在大口径激光玻璃光学加工中质量控制的特点和质量控制的方法,其目的是通过流程检验和控制,人员、设备、物料管理,环境管理,以及先进的质量控制和分析方法的应用来提高加工的质量稳定性和合格率。实践证明:在大口径激光玻璃光学加工中推行质量管理,产品的合格率和加工效率得到了较为显著的提高。     

自准散射板干涉仪

一、前言自从1953年Buch发明散射板干涉仪以来,它在理论研究和实际应用方面都受到了相当的重视和发展。散射板干涉仪具有结构紧凑、抗振性能好、不需要参考表面、检测口径大等优点,对检测凹球面镜、透镜、平面镜等具有旋转对称性并能形成自准点的各种光学元件或光学系统特别合适;根据折射率的差异,还能检测透明物体的均匀度。     

长立方体的整盘加工

长立方体的整盘加工是利用光胶加工较高精度的棱镜或平面镜所广泛采用的方法。其光胶工具一般包括长方体、立方体和光胶垫板。光胶垫板的制造是属于高精度平面加工的范畴,而长方体和立方体的加工方法又基本相同,所以我们就只着重讨论一下有关长方体的使用、技术要求及加工等问题。     

铜面平面镜细磨抛光法

<正> 随着现代光学仪器的发展,往往在仪器中采用铜制光学元件,铜面平面镜就是其中的一种。由于铜面平面镜对面形、光洁度要求高。其加工工艺性也不同于光学玻璃,在加工时必然会出现新问题。通过实践,我们对铜面平面镜加工工艺有了初步的认识。现对我们试制的铜面平面镜简述其细磨抛     

光学测试

光学元件测试与设备TH7062006021574高精度大口径平面镜面形角差法测试探究=High preci-sion large flat mirror measurement by angle difference tes-ting[会,中]/马冬梅(中科院长春光机所检测中心.吉林,长春(130033)),孙军月…∥中国仪器仪表学会2005年第五届精密工程学术研讨会.—中国,深圳,2005,11.—121-126研究了一种集高精度自准直仪与五棱镜于一体,采用角差法(角度变化量测试),实现大口径平面镜垂直状态下面形测试的方法。阐述了测试装置的设计思想,对影响面形轮廓测试精度的因素进行了讨论。大口径平面镜面形的变化可通过其各点…     

大型非球面镜的加工和检测

大型非球面的加工和检验 ,通常采用 Offner补偿系统。对 Offner补偿系统进行了详细地论述。采用小口径三片式 Offner补偿系统检测大口径非球面镜 ,系统具有调节、检测方便 ,加工精度高等优点 ,这种方法在实际加工中得到证实。采用 Offner补偿系统加工的大口径非球面 (φ6 30 mm) ,取得了良好的实验效果     

检测大口径光学平面镜时干涉条纹的子孔径拼接方法

提出了用Ritchey_Common法检测大口径光学平面镜时干涉条纹的子孔径拼接方法。通过确立基准点将多幅子孔径检测数据统一到全口径归一化坐标系下进行拼接,解决了在检验光路中因Ritchey角所引起的投影变形问题和如何消去因被检平面的大曲率所造成的像散。通过Zernike多项式拟合重建连续波面,可恢复全口径波面图像。     

一种离轴凸非球面补偿器的研究

凸非球面,尤其是离轴凸非球面的光学检验一直是非球面加工中的难点。针对离轴凸非球面光学元件加工检验困难的问题,研究了一种改进的Hindle方法,解决了经典的透射式Hindle方法需要大口径辅助弯月透镜等不足。针对大口径离轴凸非球面的检测,设计了一个特殊结构的补偿器组,并对补偿器的加工和装调进行分析、仿真和优化,对整个补偿检测系统进行公差分析,并给出了相应的结果,同时也可以把此设计推广到更大口径的离轴凸非球面镜的面形检测中去。