共查询到20条相似文献,搜索用时 750 毫秒
1.
2.
提出利用n≈k的金属膜层材料设计窄带反膜的一种新方法-用超薄金属膜与不对称法布里-珀罗干涉滤光组合设计法,给出了可光光区窄带高反膜的膜系结构,定量地分析了膜系的反射率,反射峰值,反射半波带宽光谱反射特性,实验证实了理论设计和分析,同时,也提供了设计非可见光波段的窄带高反滤光片的方法。 相似文献
3.
4.
5.
6.
光学减反膜是激光系统的重要组成部分,也是在激光照射下最容易发生损伤的部分,如何提高减反膜的激光损伤阈值是研究的热点之一。在保持目标透射光谱要求和膜系总光学厚度不变的前提下,研究了不同梯度化减反膜与激光损伤阈值之间的关系。首先采用混合渐变膜系设计方法设计了一种渐变减反膜系,G/H1→H/L/A;其次通过渐变折射率分层等效方法将渐变减反膜系进行不同的梯度化,并利用PECVD技术,在K9玻璃上沉积了满足光学性能指标要求的不同渐变减反膜系(多层梯度渐变膜系和相应的坡度渐变膜系);最后进行了激光损伤阈值(LIDT)测量。研究结果表明:在保持目标透射光谱要求和膜系总光学厚度不变的前提下,渐变减反膜系相比于传统减反膜系,抗激光损伤阈值有明显的提高;随着梯度化层数的增加,渐变减反膜系的激光损伤阈值呈减小的趋势;对于相同膜层的渐变折射率薄膜,采用坡度法制备的样片抗激光损伤阈值均优于采用梯度化制备的样片。 相似文献
7.
用计算机数值计算方法模拟多层介质光学膜系的实际镀膜工艺过程,分析膜厚误差对λ0/4高反射膜系透射率和反射率的影响,讨论在一定技射率要求条件下不同层数膜系的允许厚度误差。发现当膜层偏离λ膜厚时,光学厚度控制工艺能通过自动调整其后膜层的厚度有效地降低厚误差对膜系透射率和反射率的影响。对于镀制高反射率膜而言,膜厚允许误差仍可有较大的范围。 相似文献
8.
9.
提出利用n≈k的金属膜层材料设计窄带高反膜的一种新方法用超薄金属膜与不对称法布里-珀罗干涉滤光片组合设计法。给出了可见光区的窄带高反膜的膜系结构;定量地分析了膜系的反射率、反射峰值、反射半波带宽等光谱反射特性。实验证实了理论设计和分析。同时,也提供了设计非可见光波段的窄带高反滤光片的方法 相似文献
10.
11.
12.
本文阐述了n≈k的超薄金属膜与介质膜组成周期对称膜系的光学特性,并结合Ag、Al等膜层的高反特性提出了可见光区诱导窄带高反膜系结构,推导出膜系的反射率、反射峰值、反射半波带宽等光谱反射特性的近似公式,实验证实了理论设计和分析.同时也提出了设计红外和紫外窄带高反滤光片的方法. 相似文献
13.
基于遗传算法的减反射膜的优化设计 总被引:2,自引:1,他引:1
为了研究膜系设计领域内的全局性优化方法,提出了基于遗传算法的膜系设计方法。编制了用遗传算法进行膜系设计的通用程序,并在各种类型的减反射膜设计中取得了成功。结果表明:基于遗传算法得到的减反射膜具有与近期发表的膜系结果相一致或更好的光谱性能和全局性。同时在应用遗传算法进行膜系设计时,不需要给定初始膜系,可以设定膜层厚度边界和膜层数,这对于设计和镀制有现实意义的光学薄膜极为有利,并且只要改变目标反射率就能推广到其他膜系的设计中,具有良好的可移植性。 相似文献
14.
本文提出一种计算相变型光盘膜系光学特性的方法.并以TeSbSe光记录介质为例,讨论了三层膜相变光盘的优化设计. 相似文献
15.
针对唐晋发、郑权老师在《应用薄膜光学》一书中介绍的采用低折射率材料做间隔层,用16个λ/4层完成红外双半波滤光片的设计方法制作的薄膜易发生断裂,该文给出该膜系另一种设计计算方法,即采用高折射率材料做间隔层,用12个λ/4完成膜系设计。与前者相比,该方法节省了材料和时间。同时给出了镀制该膜系的工艺要点,并对镀膜过程中的初始真空度、蒸镀温度和2种材料的蒸发速率做了说明。指出在该工艺实施过程中,首先使用离子源对基底进行活化轰击,然后在蒸镀硫化锌和锗的过程中用离子源进行辅助蒸镀,可得到非常牢固的膜层。 相似文献
16.
提出了一种基于膜系误差灵敏度控制的鲁棒膜系设计方法,建立了鲁棒膜系设计评价函数在膜层参数误差统计分布下的解析表达式,避免统计样本数目有限性造成的样本均值与总体期望的误差,以及过大数目样本造成的长的计算时间消耗,并通过宽带增透膜、中性分光膜和线性透射率滤光片等多种薄膜的鲁棒设计实验证实了其在膜层参数误差控制上的效果。结果表明:该新型鲁棒膜系设计方法具有内在的快速算法特性,其设计膜系对镀膜中的膜厚监控误差不敏感,对于高质量薄膜的重复制备和批量成品率的提高具有实用价值。 相似文献
17.
50~110 nm波段高反射率多层膜的设计与制备 总被引:1,自引:0,他引:1
阐述了50~110 nm强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50 nm处高反射多层膜,并以此为初始条件通过Levenberg-Marquart优化方法完成了50~110 nm强吸收波段宽带高反射率Si/W/Co多层膜的设计,其平均反射率达到45%.采用直流磁控溅射方法制备了Si/W/Co多层膜,用X射线衍射仪(XRD)对膜层结构进行了测试,测试结果表明制作出的多层膜结构与设计结构基本相符. 相似文献
18.
在膜系的优化设计中,以膜系结构为参数的评价函数是一个非常复杂的多峰值函数。传统的优化算法强烈地依赖于膜系的初始设计,且易陷入较接近于初始结构的一个局部极值处。为解决这一矛盾,将全局寻优的自适应进化算法用于光学薄膜的膜系优化设计,设计中只需问题解的编码和适应度函数,而不依赖其他任何辅助信息(包括初始结构),有利于自动设计的进行。将该方法与常用设计方法进行了比较。高反膜、分光镜的实例优化表明:在相同设计要求下,用自适应进化算法可以得到更加合理的膜系结构,而且膜系结构简单,设计灵活,容易实现。理论和实践均表明该方法是高效和可靠的。 相似文献
19.
膜系自动设计中的隧行方法 总被引:9,自引:1,他引:8
针法膜系自动设计可以从单层膜开始优化设计得到一个多层膜,但多层膜还必须克服局部极值得到最佳膜系设计。为此我们讨论了三种可以摆脱局部极值影响的隧行方法。 相似文献
20.
基于斜入射薄膜制备实践中镀膜误差对光谱性能的严重退化影响的认识,提出了一种基于灵敏度控制思想的主动膜系设计方法。在深入分析了镀膜中膜层结构参数误差的分布规律的基础上,运用膜系光谱系数关于膜层参数的导数计算的解析模型,建立了膜系灵敏度的定量计算模型和快速实现算法。以一45°入射高精度消偏振增透膜的设计实验为例,探讨了灵敏度控制思想在膜系设计中的可行性、快速性和有效性。结果表明,这一新型设计方法不会显著增加程序时间消耗,能获得具有良好可镀制性能的薄膜,对于正入射和宽角度入射膜同样适用,而且可以避免昂贵的失败试镀和采样,有助于缩短新薄膜的生产周期,特别是对于高精度斜入射薄膜的重复性制备具有重要意义。 相似文献