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相似文献
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1.
利用同步辐射光电子能谱研究了K对P型InP(100)表面的催化氧化反应过程.对于O2/K/InP(100)体系的P2p、In4d和价带光电子能谱研究可知,在氧吸附的过程中,O和P、In之间发生了化学反应,O更易于与K在吸附过程中与InP(100)衬底之间的界面反应形成的K-P化合物中的P健合.碱金属K的存在并不直接和O发生作用,而是起到一种催化剂的作用,增加了电荷向氧传输的能力.使得O2的分解和吸附变得更加容易.在In4d芯能谱中,In-O之间的反应并不是很明显,而在价带谱中则可以明显地看到In-O之间反  相似文献   

2.
我们用XPS和UPS研究了氧在Rb复盖的和清洁的InP(100)表面的吸附行为.实验结果表明,碱金属可以使衬底的氧化能力大大增加.在氧的暴露量低于1L时,氧主要吸附在碱金属原子之间的InP衬底上,且位于Rb原子层之下.当氧暴露量增加时,氧主要还是吸附在Rb覆盖层下面,这时衬底开始氧化.在清洁表面,氧主要吸附在In原子上.样品退火后,Rb部分脱附,同时,衬底的氧化物相(InPO4)含量增加.  相似文献   

3.
在纯氮气体起辉放电产生的紫外光的激励下,到达GaAs表面的N2会离解并和Ga、As原子成键,X射线光电子能谱测量结果证实了这一设想.  相似文献   

4.
利用X光电子谱(XPS)和紫外光电子谱(UPS),对室温下Mn在GaAs(100)清洁表面淀积后的电子结构进行了研究.实验结果表明,当锰的覆盖度θ≤θc(θc≈0.25nm)时,界面体系是半导体性的;而当θ>θc时,界面表现出金属性.我们认为这是铁磁交换积分导致3d能带分裂的结果.另外,从Mn3s芯能级的多重分裂来看,至少从θ>0.4nm开始,Mn的原子局域磁矩大小就不再变化.  相似文献   

5.
在GaAs表面淀积β-GaS是一种可行的GaAs表面钝化方法.用光电子能谱研究了超薄GaS淀积后的GaAs表面,分析了表面成分.并发现GaS的淀积能使GaAs原有的表面能带弯曲减小0.4eV,这意味着表面费米能级钉扎在一定程度上得到消除.给出了一个半定量的理论模型,来解释GaS淀积引起的能带弯曲减小与以前湿法钝化引起的能带弯曲增大之间的不同.  相似文献   

6.
在 Ga As表面淀积β- Ga S是一种可行的 Ga As表面钝化方法 .用光电子能谱研究了超薄Ga S淀积后的 Ga As表面 ,分析了表面成分 .并发现 Ga S的淀积能使 Ga As原有的表面能带弯曲减小 0 .4e V,这意味着表面费米能级钉扎在一定程度上得到消除 .给出了一个半定量的理论模型 ,来解释 Ga S淀积引起的能带弯曲减小与以前湿法钝化引起的能带弯曲增大之间的不同  相似文献   

7.
我们用X光电子能谱(XPS)和真空紫外光电子能谱(UPS)研究了碱金属Cs/InP(100)界面形成和电子结构特性.XPS和UPS测量表明,在Cs的覆盖度低于0.5ML时,Cs与衬底InP之间既没有化学反应也没有扩散.当Cs的覆盖度大于0.5ML时,In和P开始向表面扩散,且Cs与P发生弱的化学反应.饱和吸附的Cs/InP(100)界面在不同温度退火时,一部分Cs脱附,一部分仍留在InP体内.  相似文献   

8.
电子束辐照对InP(100)表面硫钝化的增强作用   总被引:1,自引:1,他引:0  
采用含有过量硫的(NH4)2Sx对InP(100)表面进行化学钝化和辉光放电电子束辐照处理,液氮下光致发光强度比未辐照的光致发光强度提高了1.5倍,比未钝化的提高了5倍.利用X射线光电子谱研究了电子辐照对InP表面硫钝化的影响.结果表明,硫钝化InP表面经电子束辐照可以促使S与InP中的In更好的化合.  相似文献   

9.
采用分子束外延的方法在理想清洁的CdZnTe表面蒸金,获得了Au/CdZnTe肖特基接触.采用同步辐射光电子能谱研究了Au与CdZnTe(110)和(111)A面的肖特基接触势垒.实验测得Au与CdZnTe(110)和(111)A面的接触势垒分别为0.738和0.566eV.运用金属感应隙态模型(MIGS)对实验结果进行了分析和解释.  相似文献   

10.
采用分子束外延的方法在理想清洁的CdZnTe表面蒸金,获得了Au/CdZnTe肖特基接触.采用同步辐射光电子能谱研究了Au与CdZnTe(110)和(111)A面的肖特基接触势垒.实验测得Au与CdZnTe(110)和(111)A面的接触势垒分别为0.738和0.566eV.运用金属感应隙态模型(MIGS)对实验结果进行了分析和解释.  相似文献   

11.
文章研究了P型氮化镓材料表面自然氧化,故意氧化以及盐酸处理等三种不同情况下的X射线光电子能谱(XPS) 。结果发现800℃下在空气中故意氧化6min后, P型氮化镓材 料表面的镓(Ga2p3 /2)峰出现较大移动,向高能端移动了0. 88eV (与盐酸处理的样品相比) ,O1 s峰向低能方向移动了0. 9eV,且镓氮原子含量比最大;在空气中自然氧化和盐酸处理的两个样品峰的移动很小,各个峰的移动大约在0. 1eV左右,但是用盐酸处理后的样品的含氧量有所下降,且盐酸处理的样品的镓氮原子含量比最小,镓氮的原子含量比小有利于形成镓空位,而镓空位是受主,这样镓氮原子含量比越小越有利于形成P型氮化镓欧姆接触。  相似文献   

12.
碲镉汞表面氧化特性的光电子能谱研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
李毅  何嵩  易新建 《半导体学报》1997,18(12):888-893
利用X射线光电子谱(XPS)对HeCdTe表面氧化特性进行了研究,对不同工艺过程中的HeCdTe表面进行了测量、分析,结果表明流镉汞表面的自身氧化与工艺密切相关,说明HgCdTe表面钝化前的预处理直接影响钝化层/HgCdTe的界面特性.  相似文献   

13.
同步辐射光电子能谱对ITO表面的研究   总被引:9,自引:0,他引:9  
首次利用同步辐射光电子能谱(SRPES)研究了铟锡氧化物(ITO)薄膜表面的化学状态.发现ITO表面的铟和锡分别具有多种价态.对比真空退火前后ITO样品的电阻率与透射率,结合对ITO导电机理的分析讨论,可以认为In2O3-x与Sn3O4的含量变化是影响ITO的导电与透光性能的主要原因  相似文献   

14.
秦启宗  张抗战 《中国激光》1995,22(5):361-365
采用超声氯分子束和时间分辨质谱研究了由1064nm近红外激光诱导InP(100)表面蚀刻反应的产物质量分,入射Cl_2分子束的平动能效应,激光能量密度和表面温度的影响,并讨论了反应机理。  相似文献   

15.
文章采用光致发光(PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况.  相似文献   

16.
本文研究了双通道光致离化系统的离化光电子能谱及原子布居相干捕获条件,结果表明,能谱及相干捕获不仅决定于离化光场的相位,而且与调制光场的相位及强度密切相关。  相似文献   

17.
利用X射线光电子谱(XPS)对HgCdTe表面的硫化特性进行了研究,发现溴腐蚀后的表面硫化处理可以去掉表面的氧化层, Te富集的程度大大减少,硫化处理后再长硫化锌对器件进行钝化,可以大大减少器件的表面漏电,增加器件工作电压和提高器件性能。  相似文献   

18.
促使物相尽可能地向Pt2Si和PtSi 转化,是PtSi薄膜工艺研究中的重要工作。文中通过用X射线衍射( XRD)、X射线光电子能谱(XPS)微观分析手段对PtSi薄膜形成物相分步观察,研究了长时间变温退火、真空退火以及真空和保护气体(N2和H2)退火等工艺条件对溅射PtSi薄膜物相形成的影响。结果表明,氢气气氛退火能提高薄膜质量;真空退火可以减少氧元素对成膜的影响。  相似文献   

19.
文章采用光致发光( PL)测试和X射线光电能谱(XPS)测试相结合的方法,对硫化前后P+型InP的PL光谱以及表面化学成分进行了分析,得到了退火对硫化过的InP表面性能的影响结果;同时得到了S在InP表面所成键的结构以及稳定性随温度的变化的情况。  相似文献   

20.
利用同步辐射光电子能谱技术研究了低Sr组分时Pb_(1-x)Sr_xTe薄膜能带的移动规律,并计算了Pb_(1-x)Sr_xTe/Pb Te异质结中导带帯阶所占比率.当不考虑应力时,该异质结界面导带带阶比率Qc=ΔEC/ΔEg=0.71.当考虑应力时,PbTe能带发生L能谷与O能谷的劈裂,其导带带阶比率分别为QLC=0.47和QOC=0.72.Pb_(1-x)Sr_xTe/Pb Te异质结界面具有类型Ⅰ的能带排列结构,这说明Pb_(1-x)Sr_xTe/PbTe型量子阱或量子点对电子与空穴都有较强的限制能力.该异质结能带帯阶的精确测量有利于该类三元系半导体异质结在中红外光电器件的研发和应用中发挥重要作用.  相似文献   

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