南光ZZS700—1／G镀膜机电子枪扫描系统改进

针对南光ＺＺＳ７００－１／Ｇ箱式真空镀膜机电子枪扫描系统的缺陷，提出一种实用的改进装置，克服了被镀材料蒸发特性不同带来的膜厚误差，提高了膜层质量。     

真空镀膜机攻装成热丝CVD系统

通过重新设计和改造镀膜室,增添新引线和引进进气系统,将蒸发镀膜装置改装成新型热丝CVD（化学气相沉积）系统。性能参数测试结果表明,改装后的装置完全达到化学气相沉积系统的要求,能进行金刚石、BCN材料等物质的化学气相沉积,同时也完好地保留了原有真空镀膜的功能。     

真空蒸发镀膜中钨螺旋蒸发源的多次利用

真空蒸发镀膜中钨螺旋蒸发源的多次利用张建民（陕西师范大学物理系西安７１００６２）真空镀膜是目前各高等院校近代物理实验的重要内容之一，一般以真空蒸发镀铝镜为主．传统的做法是以钨螺旋作为蒸发源，要将待蒸材料——铝丝先两股合在一起，在端头处弯成一个小“Ｕ”...     

真空蒸发镀膜

一、引言开设具有综合性、买用性的物理实验，对培养学生的实际动手能力和分析问题、解决问题的能力大有裨益，是其它理论课无法替代的，这在教委物理实验教学指导组有关会议上明确指出过．多年来，我们结合硅光电池制造工艺的最后一道工序，开设真空蒸发镀膜实验，得到良好的教学效果，受到大学生和研究生的普遍欢迎．这是因为通过一个具体的实验，既可以学习真空技术，又可以学习镀膜工艺，还可以了解硅光电池的基本性能，在诸多方面都有收获．这种知识含量丰富、实用价值大的实验理所当然会受到学生的重视和欢迎．尤其在五天工作制和压缩…     

真空镀膜基板温度的测试新法──激光干涉测定基板温度

文章介绍了激光干涉测温原理．测试装置及测试结果与普通方法的比较．从而说明此法的优点。     

具有定向及自控制功能的真空镀膜系统

对现有真空镀膜系统进行了改进,在原系统中增加了定向装置和5个控制装置,可实现定向镀膜和有效地控制膜厚,进而显著提高膜层质量.     

一种简便的真空室返油清洗法

在真空镀膜实验中,若遇突然停电而未及时采取应对措施,或操作不当(例如关闭机械泵时未很快将机械泵放气阀门打开),则会发生机械泵油进入真空室和扩散泵的返油事故(当通往真空室和扩散泵的真空管路阀门均开启时).     

Strange—Nonchaotic—Attractor—Like Behaviors in Coupled Map SYstems

In a coupled map system,an attractor which seems to be strange nonchaotic attractor(SNA)is discovered for nonzero measure in parameter range,The attractor has nonpositive Lyapunov exponent(LE) and discrete structure.We call it strange-nonchaotic-attractor-like(SNA-like) behavior because the size of its size of its discrete structure decreases with the computing precision increasing and the true SNA does not change.The SNA-like behavior in the autonomous system is born when the truncation error of round-off is amplified to the size of the discrete part of the attractor during the long time interval of positive local LE.The SNA-like behavior is easily mistaken for a true SNA judging merely from the largest LE and the phase portrait in double precision computing.In non-autonomous system an SNA-like attractor is also found.     

基于PEM的反应磁控溅射镀膜机参数监控系统

实时在线监测磁控溅射反应气体的参数可有效保证镀膜质量;针对反应磁控溅射离子镀膜机反应气体的功能需求,分析了反应气体的控制原理,基于PEM方法提出了控制器方案和反应气体的参数监控方案,分析了监控系统的功能需求,自定义了串口通信协议,基于LabVIEW和串口设计了反应气体的参数监控系统系统,并与设计的控制器用于镀膜工艺试验;试验结果表明,基于PEM方法设计的反应气体参数监控系统功能正确,可为控制器和镀膜机提供参数调控依据,为提高硬质镀膜质量提供了一套有效的监控方法。     

处理金属闪耀光栅的多次基尔霍夫积分法

在散射场「通过菲涅耳（Ｆｒｅｓｎｅｌ）反射系数决定于入射场」的边界条件铁定理及等效场原理的支持下,完善了金属闪耀光栅的多次基尔霍夫（Ｋｉｃｈｈｏｆｆ）积分方法;并以利特罗（Ｌｉｔｔｒｏｗ）安装及固定偏向角安装的理想金属导体闪耀光栅对不同波长平面电磁波衍射效率的计算实例,探讨了此方法的稳定性与自洽性。     

反射式离轴全息透镜的制作

介绍用银盐全息干板经真空镀膜制作反射式离轴全息透镜的方法 ,并对其与透射全息透镜的衍射效率进行比较 ,并给出相应的比较结果。     

光学塑料真空镀膜附着力机理与工艺研究

依据光学塑料的基本特性，研究光学塑料真空镀膜过程中附着力的有关问题。论述薄膜生长过程中影响薄膜附着力的各种因素，针对其相关因素作了具体的理论分析。在真空镀膜实验的基础上，提出了一种提高真空镀膜附着力的具体方法。     

新型酞菁的光致发光性质研究

研究了2,3-四-(2-异丙基一5-甲基苯氧基)氢酞菁在10,77,177和300 K下石英衬底上的浇铸膜和单晶硅衬底上真空镀膜(约200 nm厚)在300 K下光致发光光谱.氢酞菁的浇铸膜光致发光光谱在上述温度下均出现荧光发射和磷光发射峰,在177和300 K下出现了1 673 nm激基缔合物峰.该峰的出现与分子抗聚集能力的强弱有关,在300 K激基缔合物峰比在177 K下的峰强,从氢酞菁分子结构特点讨论了形成激基缔合物的原因.随着温度的升高,可以观察到荧光发射峰渐渐减弱而激基缔合物峰变强.由于浇铸膜和真空镀膜的酞菁分子聚集态不同导致了斯托克司位移的差异,真空镀膜的发光峰峰值在1 140 nm左右,与酞菁浇铸膜的峰值差别较大.浇铸膜的发光峰的半高宽为300 nm,而真空镀膜发光峰的半高宽为100 nm左右.     

光纤激光器光学膜设计与制备

针对激光在传输过程中的光能损失,本文根据光学薄膜理论,设计制备了减反射膜和抗激光的高反射膜,并对激光膜的镀膜材料、膜系设计、沉积工艺及离子辅助沉积等参数进行了深入研究.研究结果表明,制备的减反膜的反射率＜O.2%,激光以25°～65°入射时高反射膜的反射率＞99.7%.对50μm光纤和K9玻璃镀膜前后的输出功率测试显示...     

可见与红外双波段宽带增透膜的研制

根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400～1000 nm及远红外波段7～11 μm的平均透射率均大于90%.采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料,利用最新OptilLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜.所镀膜层在可见与近红外波段400～1000 nm的平均透射率大于91%,远红外波段7～11μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求.     

Li 掺杂ZnO薄膜的导电和发光特性

通过将含有原子数分数为2%锂的Zn-Li合金薄膜和金属锌薄膜在500℃氮气氛中退火2h,然后在700℃氧气氛下退火1h的方法分别制备出ZnO:Li和ZnO薄膜。Hall效应测量表明,其导电类型分别为p型和n型。通过He-Cd激光器的325nm线激发,测量了样品室温和低温(12K)光致发光光谱,并根据ZnO:Li薄膜的低温发光光谱特征,计算出Li相关受主能级位于价带顶137meV处。     

三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制

根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求,研究并选择了合适的薄膜材料;采用电子束真空镀膜加以离子辅助沉积系统,利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计。通过调整镀膜工艺参数并采用光控与晶控同时监控的方法,减少了膜厚控制误差,成功地在多组镜片上镀制了宽带增透膜。测试试验显示,制备的膜层在400～700 nm波段的平均反射率〈0.5%,而且颜色不失真,膜层牢固,抗腐蚀效果较好,满足医用光学仪器的使用要求。     

一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计

目前国内外的真空离子镀膜控制软件,都不具有重构功能,导致设备的功能有限,也不能任意修改镀膜程序,且自动化程度也不高;针对这种情况,设计了一种控制软件,以工业计算机为核心,使用Visual Basic.net编程语言编制软件,采用专家系统结构,在Windows操作系统环境下,通过计算机标准接口,控制真空设备中各种常用的部件,可根据产品的需求灵活配置真空镀膜设备;建立了控制指令集,可支持用户自选的光学膜厚仪,具有自主编程功能,可按不同工艺重构镀膜程序;该控制软件已经成功的应用于真空离子溅射镀膜设备,实现了计算机对镀膜设备的自动化智能控制,以及镀膜过程的24小时无人值守。