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谢中生 《电子工业专用设备》1997,26(3):51-55
本文描述了新型激光快速直写亚微米光刻系统。由准分子激光采用飞点扫描曝光的方法在片子上作图,制作了一种可编程相位调制的空间光学调制器(SLM),使用具有反射的、可变(粘)弹性的反射层的CMOS有源矩阵,研究成功并生产了512×464象素SLM。业已表明,06μm最小特征尺寸的曝光装置,完成了由GDSIICAD设计数据给出的整个光刻层曝光的全部功能要求;试验样机给出了质量很好的06μm光刻图形。具有提高每小时数片150mm片子产量的激光快速直写装置样机正在设计之中。 相似文献
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针对早期研制的激光直写装置存在的刻写速度慢、功能不够完善的缺点,重新设计并搭建了一套小型激光直写光刻系统。该系统采用波长405nm可高速模拟调制的单横模半导体激光器作为刻写光源,结构更为简单紧凑;采用正弦振荡模式控制纳米平台运动,大幅度提高了刻写速度;增加了刻写光源功率校正功能、基于互补金属氧化物半导体(CMOS)相机的样品观察功能、蓝光共聚焦成像功能以及刻录光源功率衰减以实现一般光刻胶刻写的功能。通过记忆调焦数据,刻写蓝光、辅助聚焦红光以及样品观察绿光三束光分时工作,互不干扰。实验表明,该光刻系统可在光敏薄膜材料上进行打点、刻画矢量和标量图形等多种操作,刻写范围200μm×200μm,最少用时100s,刻写分辨率在250nm以内。 相似文献
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CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
为了研究适合制作大面积波导的CO2激光直写制作聚酰亚胺多模波导技术,采用理论模拟和工艺研究的方法,通过建立激光加工模型,得到了激光扫描线的温度分布与加工参量的关系,提出了增加波导侧面陡直性的方法;通过对实验结果的分析,研究了加工参量对波导材料性能、波导结构和表面粗糙度的影响。结果表明,控制激光功率密度、直写速率和光阑位置可以控制波导的宽度、侧面陡直性和表面粗糙度。 相似文献
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基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法 总被引:1,自引:0,他引:1
为解决传统的接头闭合方法不能兼顾对接质量和写入效率问题,提出一种基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法.采用由直线和圆弧组合成的光滑S曲线控制封闭结构接头处的激光强度,利用两条S曲线相加斜率渐变的特性同时实现了消除曝光量分布折角和减缓曝光量变化速率的目的,从而改善闭合区域的曝光量分布,提高接头的闭合质量.实验结果表明,采用S曲线光强控制接头闭合方法可以很好地优化对接区域的曝光量分布,增加有效过渡区域长度,在不降低加工效率的基础上,提高激光直写质量. 相似文献
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利用皮秒激光直写还原绝缘石墨烯氧化物(GO) 薄膜,成功制备了图案化的导电石墨烯。先 通过旋涂法制备GO薄膜,再使用皮秒激光进行直写扫描,可以同步实现GO的还原和图案化 两个关键步 骤。光学显微镜成像显示,还原前后GO颜色发生明显变化,图案结构清晰,分辨率较高。结 合拉曼光谱和 X光电子能谱(XPS)进行表征分析的结果表明,激光直写区域石墨层缺陷程度和 含氧量均明显降低,GO还 原程度较高。图案化还原后GO(RP-GO)薄膜电学测试的结果表明,可以通过 改变皮秒激光 的输出功率对RP-GO的导电性能进行调控。本文技术一次性解决了石墨烯的大规模制备、图 案化成形和电学 性能调控三大难题,开辟了石墨烯基微电子器件生产制造的新道路。 相似文献
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Tadao Kato Yaichiro Watakabe Kazunori Saitoh Hiroaki Morimoto 《Microelectronic Engineering》1983,1(1):69-90
Development time of semiconductor devices which have a large volume of pattern data and fine feature size can be remarkably reduced by a high speed on-line system and an erase electron beam direct writing technology.Pattern data which is performed by a CAD system is converted by a VAX/780 and transmitted to an electron beam exposure system (EBES) through a communication controller at the speed of 1 Mbit/sec.Overlay accuracy less than 0.2 μm is obtained by scanning the alignment marks located at the periphery of a silicon wafer. The marks are fabricated by etching the silicon substrate to 2 μm depth.Radiation effects induced by electron beam irradiation is examined by Monte Carlo simulation.In production of ECL (emitter coupled logic) gate arrays using electron beam direct writing technology, the surface of the silicon nitride (SiN) interlevel insulation layer is coated with a thin conductive layer of TiW in order to avoid the charging phenomenon and the radiation damage caused by electron beam irradiation. 相似文献
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为了研究激光直写技术在制备薄膜铂电阻中的应用,采用激光直写制备了薄膜厚度为2m的铂电阻。探讨了激光直写技术制备薄膜铂电阻的原理,以条形铂电阻为例,研究了激光参量对铂电阻形状的影响,在最优的激光脉冲频率18kHz、激光扫描速率100mm/s的参量下,制备了实际电阻约为0.37的条形薄膜铂电阻,最后检验了薄膜铂电阻的电阻值。结果表明,铂电阻的宽度分别随激光脉冲频率和激光扫描速率的增大而增大;制备的电阻边缘整齐,表面平整,电阻实际值与理论值只有0.8%的相对误差,吻合很好。 相似文献