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本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。 相似文献
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本文介绍了电子束曝光机激光定位工作台的一种新型吊装结构。用有限元法分析了吊装结构工作台的静态特性及其对测量系统定位精度的影响,并用散斑摄影法测试了模拟吊装结构工作台的静态变形位移。分析与实验表明吊装结构工作台是实现亚微米定位精度较理想的切实可行的结构方案。 相似文献
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Zhu Nianlin Zhang Jin Chen Ergang Bai Han Zhang Xi Wang Guangcan Guo Junmei Dou Juying 《半导体学报》2006,27(S1):186-188
We present a new method to fabricate PMMA 1D and 2D periodic nanostructures at the tens-to-hundreds of nanometers scale using the calibrating sign of a digital scanning electron microscope (SEM).In our work,a controllable negative bias voltage generator is cascaded into the cathode self-bias-voltage circuits of SEM,and its internal resistance is far smaller than the self-bias-voltage resistance.The SEM works normally when the generator do not produce negative bias voltage.Once the negative bias voltage is generated,it will restrain electrons emitted from the cathode not passed the grid.The resulting patterning of PMMA-1D and 2D periodic nanostructures are formed by electron beam scanning in the modified SEM. 相似文献
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电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究 总被引:1,自引:1,他引:0
对PCR微流控芯片通道中流体的流动特性进行了分析,发现流体在横截面为圆形的通道中流动时由摩擦引起的等效水头损失及表面张力均小于微矩形通道。以此为依据,将PCR芯片微通道优化设计成圆形通道。在JSM-5CF电子束曝光机上采用束斑尺寸80nm、能量20keV的电子束对1μm厚的聚甲基丙烯酸甲酯进行了单次曝光剂量40μC/cm2的8次重复增量扫描曝光实验,显影后得到的PCR芯片微圆通道轮廓清晰,边缘连续光滑。证明了电子束重复增量扫描曝光方式制作PCR微流控芯片微圆通道的可行性。 相似文献
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通过简单添加一些附件,将一台带有扫描附件的商用透射电子显微镜改造为一台高压扫描电子束曝光机,以研究高压下高分辨率、高深宽比抗蚀剂图形曝光及邻近效应的影响。重点介绍了如何获得一个高分辨率的电子光学系统,并利用此系统初步进行了曝光实验,在120nm厚的PMMA胶上获得了53nm线宽的抗蚀剂图形,表明此装置可用于纳米图形的制作。 相似文献
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