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近些年微喇曼光谱技术在微结构残余应力测量领域受到了广泛关注。简要介绍喇曼光谱应力测量方法的基本原理,重点介绍微喇曼光谱技术力学测量理论及其在微结构残余应力测量应用方面的研究进展。微喇曼光谱技术目前主要应用于立方晶系和六方晶系材料的残余应力测量;已建立的单轴应力、静水应力和双轴应力状态下的喇曼频移-应力定量关系式,是使用该技术进行残余应力测量的理论基础。在今后一段时间内,喇曼残余应力测量技术的发展将集中在复杂应力状态的张量分辨残余应力测量理论、其他类型晶体材料的喇曼应力测量理论以及深度分辨的三维喇曼残余应力测量技术三个方面。 相似文献
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本文从喇曼光谱原理、实验方法和实验手段上阐述显微喇曼在测试SOI材料局部应力中的应用,详细综述了显微喇曼光谱对各种不同SOI材料的喇曼分析。通常来说,局部内应力会引起喇曼峰的宽化以及峰位的移动,压应力会使喇曼峰向高频方向移动,而张应力却是向低频方向移动。详细分析喇曼峰的移动情况可以分析材料内部的应力分布情况。由于显微喇曼能提供小于1μm空间分辨率,同时分析时无需对材料进行破坏,因而是一种实用性很强的分析手段。 相似文献
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AIN和SiOxNy薄膜与其GaAs衬底间界面应力的喇曼光谱研究 总被引:1,自引:1,他引:0
本文用喇曼放射方法研究了在GaAs衬底上用S-枪磁控反应溅射的AIN和PECVD淀积的SiOxNy薄膜界面应力,并研究了这两种薄膜在N2和Ar气氛下的高温热处理对界面应力的影响。结果表明,与SiOxNy薄膜不同,在GaAs衬底上制备的AIN薄膜,其界面应力很不,而且经N2和Ar气氛下的高温快速热退火,仍具有较好的稳定性,从而表明AIN是GaAs集成电路技术中一种较好的绝缘介质、钝化层和保护材料。 相似文献
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随着光通信系统传输容量的飞速增长,对光纤的通道数、传输比特率、传输带宽和传输距离都提出了越来越高的要求,促使光放大器技术向宽带、低噪声的方向发展.喇曼光纤放大器以其优越的性能引起人们的普遍关注.喇曼光纤放大器需要多个大功率激光器作为泵浦光源,这些泵浦激光器需要稳定的大电流驱动和精确温度控制才能保证整个喇曼放大器良好的工作性能.本文给出了一种喇曼光纤放大器驱动控制的实现方案,通过实际测量比较可以看到,利用该驱动控制方案实现的喇曼光纤放大器具有良好的性能指标. 相似文献
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介绍了一种独特的方法来实现具有最优增益平坦度和增益带宽的增益平坦喇曼光纤放大器.通过使用反向放大器设计,实现了不使用任何增益均衡器在12 THz带宽上的相对平坦度低于1%,这种放大器的结构比现有的宽带光纤放大器在增益平坦上有一定的进步. 相似文献
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微电子机械系统及硅微机械加工工艺 总被引:3,自引:0,他引:3
微电子机械系统(MEMS)是一项21世纪可以广泛应用的新兴技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的MEMS主流技术。介绍了MEMS的特点、国内外MEMS的发展现状,讨论了MEMS的三种加工方法,着重探讨了硅微机械加工中常用的腐蚀、键合、光刻、氧化、扩散、溅射等工艺。 相似文献
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光纤通信拉曼噪声引起的时间抖动的分析 总被引:1,自引:0,他引:1
在周期性集中放大的全光孤子通信系统中存在增益和损耗;除了自发辐射引起的时间抖动,还有拉曼耦合引起的时间抖动。本文利用平均孤子模型,通过微扰方法,研究了反常色散区光纤中自发辐射噪声(ASE),尤其是光子和声子耦合导致的拉曼噪声引起的亮孤子到达时间的抖动,并给出拉曼时间抖动的表达式。 相似文献
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微机械加工技术在传感器制作中的应用 总被引:4,自引:0,他引:4
讨论利用微机械加工技术制作传感器的可能性,必然性,介绍了几种在传感器制作中常用的微机械加工工艺,举例说明了用微加工技术制作的角速率传感器及加速度传感器的结构及性能。 相似文献
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微机械陀螺因其微型化、低成本等优点,广泛用于微系统的姿态稳定与控制系统.研究了无驱动结构硅微机械陀螺的信号处理技术.通过硬件电路和软件算法及补偿技术,将旋转载体的滚动、俯仰和偏航的三维姿态角速度信号同时提取并输出.该陀螺可用于旋转载体的姿态测量和控制技术领域. 相似文献
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