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激光全息光刻技术在微纳光子结构制备中的应用进展 总被引:1,自引:0,他引:1
微纳光子结构研究随着光子学、半导体物理学及微加工技术的发展而逐渐蓬勃开展,并在其结构、理论、制备技术等方面取得了系列进展。受限于目前的微加工技术水平,要成功制备大尺度、高质量的光子材料仍然存在着一定挑战。激光全息光刻技术作为一种简便快捷的微结构制作技术已经发展成为一种经济快速制作大面积微纳超材料及光子晶体模板的重要手段。介绍了激光全息光刻技术的原理,详细阐述了该技术在制作三维面心立方、木堆积结构、金刚石结构光子晶体以及光学周期类准晶、手性超材料、周期性缺陷结构等微纳光子结构中的应用研究进展。激光全息光刻技术成功制作微纳光子结构为光子材料在更多领域的广泛应用提供了基础和方法。 相似文献
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应用微波等离子体化学气相沉积技术, 在低气压下对(100)晶面金刚石膜的表面形貌、质量、取向和生长率进行了可控性生长研究. 结果表明: 基片温度与甲烷浓度对(100)晶面金刚石膜的生长存在耦合规律. 为了获得表面形貌相似的(100)晶面金刚石膜, 在沉积过程中, 增加碳源浓度的同时需要同时升高基片温度; 当甲烷浓度为3.0%, 基片温度从740 ℃上升至1100 ℃ 的过程中, 金刚石膜的晶面取向变化可分为五个阶段, 其中当基片温度在860 ℃至930 ℃时, 很适合高取向(100)晶面金刚石膜生长; 另外, 金刚石膜的质量和生长速率分别与基片温度和甲烷浓度成正比. 为了获得高质量高取向(100)晶面金刚石膜, 应当选择合适的基片温度和甲烷浓度. 相似文献
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本文介绍了用金属丝和厚纸板等材料制作金刚石、闪锌矿、黄铜矿和纤锌矿结构的晶格模型的方法,并利用这些模型进行了各种晶格结构的观察试验.这些方法简单易行、便于学生自行制作,可达到形象教学的效果. 相似文献
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为了提高GaN基发光二极管(LED)的外量子效率,在蓝宝石衬底制作了二维光子晶体.衬底上的二维光子晶体结构采用激光全息技术和感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术制作,然后采用金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)技术在图形蓝宝石衬底(PSS)上生长2μm厚的n型GaN层,4层量子阱和200nm厚的p型GaN层,形成LED结构.衬底上制作的二维光子晶体为六角晶格结构,晶格常数为3.8μm,刻蚀深度为800nm.LED器件光强输出测试结果显示,在PSS上制作的LED(PSS-LED)的发光强度普遍高于蓝宝石平
关键词:
全息
发光二极管
图形蓝宝石衬底
外量子效率 相似文献
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Shinya Akihiko Notomi Masaya Yokohama Itaru Takahashi Chiharu Takahashi Jun-Ichi Tamamura Toshiaki 《Optical and Quantum Electronics》2002,34(1-3):113-121
Two-dimensional photonic crystals (2D-PhCs) on oxide can be easily incorporated into photonic integrated circuits. Although an asymmetrical structure (air/PhC/oxide) is advantageous in terms of ease of fabrication, it has been pointed out that such a structure may have no photonic band gap (PBG). To clarify the characteristics of the asymmetrical structure, we calculated the band structure using the three-dimensional (3D) FDTD method and measured the transmission characteristics of a fabricated 2D Si-PhC on oxide. The calculations show that we can use a quasi-PBG even in an asymmetrical structure when the PhC thickness satisfies the single-mode condition. The measured transmission characteristics correspond to the calculated band structure and reveal the existence of a quasi-PBG. These results show that the asymmetrical 2D Si-PhC-on-oxide structure can be applied to various optical devices. 相似文献
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I. I. Shishkin K. B. Samusev M. V. Rybin M. F. Limonov Yu. S. Kivshar’ A. Gaidukeviciute R. V. Kiyan B. N. Chichkov 《JETP Letters》2012,95(9):457-461
Three-dimensional photonic crystals with an inverted yablonovite structure have been fabricated by the direct laser writing method based on the two-photon polymerization of a photosensitive material. The correspondence of the structure of the samples to the inverted yablonovite lattice has been confirmed by scanning electron microscopy. The photonic band structure of inverted yablonovite, as well as a number of related photonic materials with an fcc lattice, has been calculated. It has been found that the photonic properties of opal and yablonovite are opposite: the complete photonic band gap appears in inverted opal and direct yablonovite and is absent in direct opal and inverted yablonovite. A method for the fabrication of ideal three-dimensional photonic structures having the complete photonic band gap in the infrared and visible spectral ranges has been discussed. 相似文献
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用特征矩阵法研究了带缺陷的一维光子晶体的透射性质,并提出了新的可调谐光滤波器的概念.一维光子晶体(L1H1)m带有Lc-H2(L2H2)n形式的缺陷时,在光子晶体中间出现了窄的透射峰,其他级次的干涉峰则随着覆盖层H2(L2H2)n周期数的增大而减弱并消失.当耦合层Lc厚度变化时,在光子晶体禁带边缘附近出现两个高透射率区域.高透射率区域透射峰的特性由光子晶体和覆盖层的性质决定.当光子晶体禁带宽度较小时,两个高透射率区域接近,形成具有约150nm调谐范围的区域,因此可制备以一维光子晶体为基础的新型可调谐光滤波器.
关键词:
光子晶体
可调谐光滤波器
特征矩阵 相似文献
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利用转移矩阵方法对二维正方介质柱光子晶体的传输特性进行了研究,数值计算研究了不同晶格、同一晶格柱体截面面积不同、放置方位角不同时光子晶体的传输特性。数值结果表明光子禁带的宽度与中心频率和晶格结构有很大关系,正方晶格更易形成平坦光子禁带,柱体截面面积大,则形成的禁带较宽,在其他因素相同的条件下柱体放置的方位角对光子禁带有重要影响。数值研究表明在正方介质柱下设计宽平坦光子禁带时,可以首先考虑正方晶格结构,其次设法使柱体截面尽量大一些,最后可通过柱体放置方位角来微调光子禁带的宽度与中心频率以达到设计要求。 相似文献
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高质量三维光子晶体的制备及其透射谱研究 总被引:3,自引:2,他引:1
设计了简易的压强可控自组装实验装置,制备了由直径为260 nm的聚苯乙烯(PS)胶体球组成的面心立方光子晶体.分析了压强的变化对光子禁带(PBG)深度及光子带隙边缘(PBE)坡度的影响,确定了合适的压强生长环境(P=5999.5 Pa).利用该实验装置,还进行了光子晶体的小批量制备,一次性制得了三块光子晶体,并从不同角度对每一块光子晶体的透射谱及不同光子晶体的透射谱进行了测量.同一光子晶体不同位置透射谱的重合、同一批次制备的不同光子晶体透射谱的一致性及光子禁带两侧的Fabry-Pérot振荡等均说明:该装置制备的光子晶体在大区域、大面积上是高度有序、均一和平整的;利用该实验装置进行光子晶体的小批量制备是可行的. 相似文献
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利用传输矩阵法研究了表层厚度渐变的一维非对称耦合腔光子晶体的反射相位特性. 研究表明, 光子禁带内(包括缺陷模附近)的反射率在98%以上, 且基本不受表层厚度影响, 特别是, 在非正入射情况下, 简并的缺陷模随着表层厚度的变化会发生分裂; 进一步研究发现, 在缺陷模分裂处附近, TE, TM偏振的反射相位以及它们之间的相位差均敏感地依赖于表层厚度的变化, 从而使得反射光的偏振态也随表层厚度的变化而敏感变化, 其物理机理在于缺陷模分裂所造成的剧烈相位变化. 基于上述特性, 设计了一种表层厚度呈二维周期变化的一维光子晶体结构, 从该结构反射的激光经透镜聚焦后, 在聚焦区域同时存在各种偏振态(包括沿不同方向的线偏振、左旋或右旋圆偏振、椭圆偏振等)的子光束, 它们叠加后在聚焦区域将产生具有无规相位和无规偏振态的光场. 以上结果能有效降低激光的相干性, 在激光核聚变等领域有潜在的应用价值. 相似文献
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采用平面波展开法数值计算了空气背景中由圆形、正六边形和正方形介质柱构造的二维三角晶格光子晶体禁带结构,并研究了介质方柱旋转角度、介质折射率和填充比对完全光子禁带宽度的影响.结果表明,在低频区,介质方柱旋转17°时,出现最大完全光子禁带,且最大禁带宽度随介质折射率的变化较为稳定.在高频区,介质方柱旋转30°时,完全光子禁带宽度最大;且介质材料折射率n=2.2时即出现完全光子禁带,n=2.6时,完全光子禁带达到最大. 相似文献
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In this paper, we investigate the existence and variation of complete photonic band gap size with the introduction of asymmetry
in the constituent dielectric rods with honeycomb lattices in two-dimensional photonic crystals (PhC) using the plane-wave
expansion (PWE) method. Two examples, one consisting of elliptical rods and the other comprising of rectangular rods in honeycomb
lattices are considered with a view to estimate the design parameters for maximizing the complete photonic band gap. Further,
it has been shown that complete photonic band gap size changes with the variation in the orientation angle of the constituent
dielectric rods.
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