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提出了由扫描法布里--珀罗干涉法测量微小形变的方法, 设计了一种基于激光扫描法布里--珀罗干涉原理的压电常数$d_{31}$测试系统. 文中给出了测量原理、测量装置及陶瓷样本的测量结果,并与用IEEE标准测量方法的测量结果进行了对比,测试结果表明两者相差很小. 相似文献