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由于1. 55μm波段广泛应用于通信领域,为了探索不同生长温度对InN量子点的形貌影响,并且实现自组装InN量子点在1. 55μm通信波段的发光,对InN量子点的液滴外延及物性进行了相关研究。首先利用射频等离子体辅助分子束外延(PA-MBE)技术在GaN模板上,采用液滴外延方法在3种温度下生长了InN量子点结构。生长过程中靠反射高能电子衍射(RHEED)对样品进行原位监控。原子力显微镜(AFM)表征结果表明随着生长温度升高,量子点尺寸变大,密度减小。在生长温度350℃和400℃下,观测到了量子点;当温度高于450℃时,未观测到InN量子点。当生长温度为400℃时,量子点形貌最好,密度为6×10~8/cm~2,对400℃下生长的InN量子点进行了变温PL测试,成功得到InN量子点在1. 55μm波段附近的光致发光,并且随着测试温度的升高,量子点的发光峰位发生了先红移后蓝移最后又红移的S型曲线变化,这种量子点有望在未来应用于量子通信领域。 相似文献
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用分子束外延方法在GaAs(100)衬底上成功生长了高质量的Zn1-xMnxSe/ZnSe(x=0.16),超晶格结构,用X射线衍射和低温光致发光(PL)对其结构,应变分布以及光学性能进行了研究,结果表明,2K温度下,Zn1-xMnxSe/ZnSe超晶格的光致发光中主发光峰对应于ZnSe阱中基态电子和基态轻空穴之间的自由激子跃迁,而且其峰位相对于ZnSe薄膜材料的自由激子峰有明显移动。其中,当超晶 相似文献
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采用激光分子束外延技术,利用两步法,在Si单晶衬底上成功地外延生长出TiN薄膜材料.原子力显微镜分析结果显示, TiN薄膜材料表面光滑,在10 μm×10 μm范围内,均方根粗糙度为0842nm.霍耳效应测量结果显示,TiN薄膜在室温条件下的电阻率为36×10-5Ω·cm,迁移率达到5830 cm2/V·S,表明TiN薄膜材料是一种优良的电极材料.X射线θ—2θ扫描结果和很高的迁移率均表明,高质量的TiN薄膜材料被外延在Si衬底 相似文献
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采用激光分子束外延技术,利用两步法,在Si单晶衬底上成功地外延生长出TiN薄膜材料.原子力显微镜分析结果显示, TiN薄膜材料表面光滑,在10 μm×10 μm范围内,均方根粗糙度为0842nm.霍耳效应测量结果显示,TiN薄膜在室温条件下的电阻率为36×10-5Ω·cm,迁移率达到5830 cm2/V·S,表明TiN薄膜材料是一种优良的电极材料.X射线θ—2θ扫描结果和很高的迁移率均表明,高质量的TiN薄膜材料被外延在Si衬底
关键词:
激光分子束外延
TiN单晶薄膜
外延生长 相似文献
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分子束外延材料从基础研究到产业化 总被引:1,自引:0,他引:1
文章计概述了分子束外延技术和材料从实验室走向产业化的成功之路,为读者提供了一个了解高技术发展的全过程:由物理学家从理论上提出人工超晶格量子阱材料;再由器件物理学家制备出若干具有重要应用价值的器件与电路,如微波毫米波高电子迁移率晶体管及电路、量子阱激光器,从而促进了分子束外延技术的发展与完善。移动通信、移动互联肉、地面宽带无结通信、汽车防碰撞雷达、高效太阳能电池等对分子束外延材料的需求为其产业化带来 相似文献
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低温外延生长平整ZnO薄膜 总被引:2,自引:2,他引:0
在较低温度下实现平整ZnO薄膜的生长有利于ZnO的可控p型掺杂以及获得陡峭异质界面。本文使用分子束外延方法,采用a面蓝宝石为衬底,在450 ℃下生长了一系列ZnO薄膜样品。在富氧生长的条件下,固定氧流量不变,通过调节锌源温度来改变锌束流,以此调控生长速率。样品的生长速率为40~100 nm/h。通过扫描电镜(SEM)表征发现:在高锌束流的生长条件下,样品表面有很多不规则的颗粒;降低锌的供应量后,样品表面逐渐平整。原子力显微镜(AFM)测试结果表明:样品的均方根表面粗糙度(RMS)只有0.238 nm,接近于原子级平整度。这种平整表面的获得得益于较低的生长速率,以及ZnO外延薄膜与a面蓝宝石衬底之间小的晶格失配。 相似文献
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《中国物理快报》2016,(12)
High lattice match growth of InAsSb based materials on GaSb substrates is demonstrated.The present results indicate that a stable substrate temperature and the optimal Sux ratios are of critical importance in achieving a homogeneous InAsSb based material composition throughout the growth period.The quality of these epilayers is assessed using a high-resolution x-ray diffraction and atomic force microscope.The mismatch between the GaSb substrate and InAsSb alloy achieves almost zero,and the rms surface roughness of InAsSb alloy achieves around 1.7? over an area of 28μm×28μm.At the same time,the mismatches between GaSb and InAs/InAs_(0.73)Sb_(0.27) superlattices(SLs) achieve approximately 100arcsec(75 periods) and zero(300 periods),with the surface rms roughnesses of InAs/InAs_(0.73)Sb_(0.27) SLs around 1.8? (75 periods) and 2.1 ?(300 periods)over an area of 20μm×20μm,respectively.After fabrication and characterization of the devices,the dynamic resistance of the n-barrier-n InAsSb photodetector near zero bias is of the order of 10~6 Ω·cm~2.At 77 K,the positive-intrinsic-negative photodetectors are demonstrated in InAsSb and InAs/InAsSb SL(75 periods) materials,exhibiting fifty-percent cutoff wavelengths of 3.8 μm and 5.1 μm,respectively. 相似文献
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本文研究了荧光纳米材料与有机染料结合在多传感领域的应用:将荧光纳米材料CdSe/ZnS与有机染料铂(Ⅱ)四(五氟苯基)卟啉包埋于聚氨酯水凝胶D4,经过水解、缩合获得固体薄膜,来实现氧气浓度和温度的同时检测.利用发射峰在524nm的CdSe/ZnS荧光纳米材料提供温度传感,氧气传感则是基于发射峰为650nm的铂(Ⅱ)四(五氟苯基)卟啉的动态猝灭.所制得的薄膜具有良好的光学稳定性,由405nm的紫外光激发,得到两发射峰互不重叠的光谱.实验结果表明,在氧气浓度(0~30%)和温度(15~67℃)下传感膜能很好地应用于氧气和温度双传感系统,且氧气传感的灵敏系数为9.69×10-4,温度传感系数为-0.0035(误差在±0.0002),该技术为新型便携式多传感器提供了可能. 相似文献
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Guntis Liberts Girts Ivanovs Vilnis Dimza Andrejs Firsovs Edmunds Tamanis 《Optical Review》2005,12(2):135-139
Thermo-optical phenomena in absorbing media containing nanosize ferromagnetic or ferroelectric particles in liquid or solid state matrix are investigated. Enhanced thermo-optical properties have been observed in lanthanum doped lead zirconate-titanate (PLZT) ceraMisc, sodium-bismuth titanate single crystals and ferrofluids near phase transitions. 相似文献
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无机物高温下微结构的研究 总被引:3,自引:1,他引:2
上海市钢铁冶金新技术开发应用重点实验室 ( SELF)的 U- 1 0 0 0型 Raman谱仪经过改造已能用两种方式在高温下进行测定。其一是由共焦显微镜 -显微加热台构成的“空间分辨法”。其二是利用电阻炉加热的“时间分辨法”。SELF正在进行冶金熔渣的微结构研究。这类物质的物性 (从冶金学考虑 ,首先是熔渣中的组元活度 )数据已有不少报道 ,但为了促进技术的发展 ,急需鉴别它们的可靠程度。并且 ,还有大量未定值的物性 (例如 :粘度、表面张力、介电常数、扩散系数等 )有待预测。而打通微观结构和宏观物性之间的渠道 ,则是解决上述问题的根本途径。本文介绍了 SELF在 <2 0 0 0 K条件下的 HTRS(高温 Raman谱 )实测和 DFT- MD计算机模拟两种研究手段 ,定量分析冶金熔渣微结构的基本思路以及若干初步的结果。事实上 ,冶金熔渣、地学中的岩浆、玻璃和陶瓷 ,乃致某些宝石都可认为是一大物类 ,所以 SEL F同时也正在进行着烯土类熔盐和功能晶体的研究。 相似文献
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针对未来先进核能装置候选结构材料在高温和应力等条件下抗辐照性能的评价与快速筛选的需求,基于兰州重离子研究装置( HIRFL ) 可提供的离子束流条件,设计制作了国内第一套高温应力材料载能离子辐照装置。该装置由束流扫描及探测系统、高温系统、应力系统、真空冷却系统和远程控制系统等5 部分组成,可以同时提供高温和拉/ 压应力下材料的离子束均匀辐照件,温区覆盖了室温至1 200 °C范围,拉/ 压应力范围为0 ~1176 N,x-y 方向均匀扫描面积可大于40 mmx40 mm。利用该装置,已经成功进行了多次高温和应力条件下载能离子辐照先进核能装置候选材料的实验研究,并取得了初步成果。In order to expedite the evaluation of properties of irradiated materials and the selection of candidate materials for future nuclear energy systems, we developed a specific ion irradiation equipment installed on the Heavy Ion Research Facility of Lanzhou ( HIRFL ) for materials under high temperature and stress. This equipment consists of ion beam scanning and detector system, high temperature load system, stress load system, water cooling system as well as telecommunication and control system. It can supply a wide range of temperature (from room temperature to 1 200 °C ) and stress ( pull / push from 0 to 1 176 N) simultaneously for materials under ion irradiation. The x-y scanning area with high uniformity is larger than 40 mm40 mm. This is the first suit of ion irradiation equipment made in China that can be used to study co-operating effects of high temperature and stress in an irradiated material. It has been successfully used several times for materials irradiations under high temperatures and stress, which proved that the new equipment has very good performances in experiments. 相似文献