低插损SAW滤波器的研究

文章采用小型单层单相单向换能器,共线配置结构,一步制作工艺,研制了两种低插损(LIL)声表面波滤波器(SAWF).即a.新的浮动电极单向换能器(NFE—UDT),在 127.86°Y—X LiNbO_3基片上,相对带宽 2%左右,海明函数单加权,无调谐匹配下,50Ω系统用HP8753B网络分析仪测试器件IL小于7dB,阻带抑制大于40dB;b.电极宽度控制单向换能器(EWC/SPUDT),在ST—X石英基片上,相对带宽0.3%左右,海明函数双抽指加权,简单的串、并连电感调谐下器件IL小于4.5dB,阻带抑制大于4dB,低端50dB.两种器件达到国内外报导的同类器件水平.文章详细地介绍了有关的研制技术.     

用双曲锥形换能器制作SAW滤波器组

双曲锥形换能器能从一个宽的换能器孔径中的某点激励一束窄的SAW滤波束,这束SAW的中心沿换能器空间成线性变化。当它发出一束SAW,这种换能器就能进行空间频率分选,这就使得它成为制作滤波器组或频率分离多路器。采用双曲锥形换能器实现了制作14信道的信号倍增器,其中心频率为180MHz,带宽120MHz,带外抑制40dB,插损19dB,而采用级联SAW滤波器结构阻带抑制超过80dB,插损大约在30dB左右。     

采用扇形换能器的SAW滤波器

给出了采用扇形多电极换能器的SAW滤波器频率特性的分析结果.描述了决定着换能器发射声场和滤波器频率特性基本参数(与换能器拓扑结构及间距有关)的相互关系.     

低插损高频SAW滤波器的研究

采用单层膜、梯形结构基于128°YX-LiNbO₃材料研究了Al电极厚度、叉指占空比、反射栅周期、拓扑结构对插损、带外抑制和矩形度的影响。为了降低带内波动和插入损耗,该文设计了一种叉指换能器(IDT)型反射栅结构,该结构对采取优化措施前后谐振器的带内最大尖峰损耗分别降低了8.84%和0.55%。最后采用此反射栅结构设计了一款低插损高频声表面波(SAW)滤波器,有限元仿真结果表明,该滤波器的中心频率为2.520 5 GHz,插入损耗为-0.502 12 dB,带外抑制大于30 dB,-3 dB损耗带宽大于98 MHz。     

GHz级SAW滤波器的实现—双谐频叉指换能器

为了提高叉指换能器的工作频率和克服亚微米工艺带来的困难，科研工作者提出许多不同的设计方法。在１９９５年的《准谐频叉指换能器》一文的成功设计方法的基础上，我们进一步改进提出了双谐频叉指换能器ＤＨＩＤＴｓ的设计方法，使得工作频率同时处于元因子和阵因子的谐频上。由于其更宽的指条宽度，更好的旁瓣抑制性能和低损耗，使之更适合于高频ＳＡＷ器件。本文给出了双谐频叉指换能器的设计过程，理论计算与实验结果，表明理论     

改进低损耗SAW滤波器用换能器的几种新结构

最近,报道了多种改进低损耗SAW滤波器用换能器的新结构.改进的换能器包括单相单向换能器(SPUDT)、群型单向换能器(GTUDT)、群型单相单向换能器,(GSPUDT)、新型单相单向换能器(MEMUDT、SUDT、RSUDT)以及低损耗SAW-TV-IF滤波器用的故意不完全的(intentionally inperfeet)单向换能器(HUT)等.本文叙述上述各种换能器结构的工作原理和结构设计.并介绍了几种实验性的低损耗SAW滤波器的主要性能.     

单相单向换能器的低损耗SAW滤波器

概述了采用分布式反射的单相单向换能器及其设计，特别推荐了电极宽度控制的单相单向换能器，并报道了我们制作的几种低损耗滤波器结果。单级低损耗滤波器插入损耗为４．７～６．５ｄＢ，带外抑制达５０ｄＢ。两级低损耗滤波器获得带外抑制近９０ｄＢ，而插损仅为１０ｄＢ。     

寻呼机用SAW滤波器D281的性能分析

本文解剖了寻呼机用国外样管Ｄ２８１，并模拟了其衍射频响。实测结果表明，与数值模拟相符。     

低通带波动高阻带抑制SAW滤波器的研制

文章在127．86度Y切X传播的LiNbO3基片上研制了f0=30MHz sh cf gkp pa 19.3%,f0=60.5MHz相对带宽13．2％，f0=80MHz相对带度10％和f0=120MHz相对带宽10％的声表面波（SAW）滤波器，由于器件带宽较宽，其它指标要求也高，采用了性能较好的辛格函数＊凯塞尔窗，结合一个多条耦合器（MSC）的结构，对器件进行了双加权，在采取抑制二次效应的措施，特别是V形包络后，通常 带更加平滑，阻带抑制达到50dB以上，极大的改善限器件性能。     

基片开槽抑制SAW滤波器体声波的工艺研究

当叉指换能器在基片上激励声表面波模式时，同时伴随着体声波的激励。文章根据叉指换能器的激励原理，采取对压电基片背面开槽抑制叉指换能器体声波进行了实验研究。分别在ST、LT、LN压电基片上背面开槽并制作了中心频率为28MHz、70MHz、71MHz、120MHz声表面波滤波器。实验观察了体声波的抑制情况，并得出了具体实验数据。     

声表面波低损耗滤波器的换能器结构

一、前言 声表面波(SAW)器件以它的独特优点已广泛用于军事、民品电子设备中,由于常规的叉指换能器(IDT)结构,SAW是双向传播的,存在6db的固有传播损耗。如果IDT与外部负载匹配以实现最小的插入损耗,则三次渡越回波抑制只有12db,使幅度和相位波动大到不能使用,通常解决的办法是使IDT失配增大插入损耗来降低三次渡越信号。不用任何办法设计出的常规SAW滤波器插入损耗在20db左右,在中频范围内,在电路中加一级     

设计声表面波低损耗滤波器的换能器结构

本文介绍了设计声表面（ＳＡＷ）低损耗滤波器的叉指换能器（ＩＤＴ）结构的发展历程,分析了ＩＤＴ的原理及利弊关系,给出了设计低损耗ＳＡＷ滤波器用的压电基片参数。     

剥离工艺制作SAW滤波器IDT的研究

研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺。利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性。对加工样品的测量分析结果表明,利用剥离工艺制备的叉指换能器电极线条光滑、陡直、清晰,但是成品率较低。对比分析了采用铝和铬金制作的叉指换能器样品结构,结果表明两种金属材料在剥离液中的腐蚀时间不同,铝材料需要较长的剥离时间;两种材料制作的电极图形质量也有差异,铝材料制作的电极更为陡直、精细。     

一种采用NSPUDT结构的新型滤波器

利用自然单相单向换能器,可以制作低损耗的声表面波器件。因自然单相单向换能器基片的单向性依赖于晶体的取向,用常规的单指结构就可以获得单向性。为了得到低损耗的滤波器,在相对方向上的接受换能器也设计成单向传输。文中介绍了一种使自然单相单向换能器基片单向性反向传输的新型滤波器结构,并给出采用这种结构设计制作 的声表面波滤波器的结果。     

采用EWC单相单向换能器的SAW滤波器组

采用带旁瓣的ＥＷＣ单相单向换能器技术，研制中等相对带宽（５．６％～７．１％）和具有好矩形度的声表面波滤波器组。该滤波器组用于通信电子对抗，工作频率为３０～４０ＭＨｚ，各信道的矩形系数为１．６，信道插入损耗１５ｄＢ，滤波器组输入端口的驻波系数小于１．５。     

金刚石SAW滤波器的设计和制作

通信系统向高频的发展趋势使声表面波(SAW)滤波器技术面临着越来越多的挑战。利用传统材料制作SAW滤波器的中心频率很难达到GHz频段,因此探索在高声速材料基础上制作SAW滤波器成为一种必然趋势。基于高声速材料金刚石设计了IDT/ZnO/金刚石结构的薄膜SAW滤波器,设计了镜像阻抗连接IDT的结构参数,并采用ADS软件对该结构进行了建模仿真。然后,通过ZnO薄膜制备工艺和IDT电极制备工艺,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后,采用RF探针台对所制得的样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明,在金刚石厚膜衬底上获得了频率超过1 GHz的SAW滤波器样品。     

基于一种改进型DMS结构的极窄带SAW滤波器

该文采用一种改进型双模声表面波(DMS)结构来设计1.5 GHz的极窄带声表面波(SAW)滤波器。DMS结构两端的反射器采用分布式多周期加权结构能够消除在声通道上传播的多种声反射模式。为灵活设计滤波器阻带抑制及带宽指标,在DMS结构的两个叉指换能器(IDT)之间加入反射器。结果表明,研制的极窄带SAW滤波器中心频率为1.5 GHz,实测带宽为878.75 kHz,插入损耗为5.8 dB,阻带抑制达到45 dB。     

无绳电话用声表面波滤波器

本文讨论了研制的两种无绳电话机用声表面波滤波器，中心频率为４６．５７ＭＨｚ和４９．９ＭＨｚ；△ｆ＿（－３ｄＢ）＝１．７ＭＨＺ；插损≤１０ｄＢ；△ｆ＿（－４０ｄＢ）／△ｆ＿（－３ｄＢ）≤３．５；阻带抑制≤－４０ｄＢ。采用了低插损的三换能器结构。输入叉指换能器采用了波阵面均匀的孔径加权和相位加权，减小了变迹损耗。理论计算与实验结果一致。     

ZnO/IDT/金刚石结构SAW滤波器的设计和制作

传统材料制备的声表面波(SAW)滤波器的中心频率f大多位于较低的频段(f<500 MHz),但是无线通信频段逐渐向着高频化的方向发展,因此在SAW器件领域中引入高声速材料如金刚石以提高中心频率成为一种必然趋势。基于金刚石材料、采用ZnO/IDT/金刚石新型结构,设计了交错叉指结构和镜像阻抗连接结构的叉指换能器(IDT)参数。通过优化的工艺制备流程,获得了金刚石SAW滤波器样品。最后采用RF探针台对样品进行了性能测试和数据分析。测试结果表明制备的SAW滤波器样品的测试结果与理论值比较符合,交错叉指结构滤波器获得了很低的插损,镜像阻抗连接结构滤波器有效地提高了带外抑制度。样品IDT指宽2μm,SAW滤波器中心频率可达0.775 GHz。     

基于七换能器结构的Band3-Rx滤波器产品设计

该文介绍了一种用于Band3频段接收端的声表面波滤波器的研制过程。为满足滤波器的大宽带性能及阻带低端的高选择性要求,采用七阶叉指换能器混合结构的耦合模式模型进行自动优化设计和多次优化迭代,并利用有限元法/边界元法(FEM/BEM)软件进行精确的声学验证,最后通过实验验证了仿真结果的有效性。