共查询到19条相似文献,搜索用时 44 毫秒
1.
以乙炔为碳源,镍粉为催化剂,噻吩作为助催化剂,采用化学气相沉积法制备微螺旋炭纤维.通过扫描电子显微镜、X射线衍射、激光拉曼光谱、元素分析和热失重分析等分析手段,研究了微螺旋炭纤维的制备工艺,考察了微螺旋炭纤维的形貌、微观结构和性能.结果表明:微螺旋炭纤维具有双螺旋结构,单根纤维存在左旋和右旋两种螺旋方向以及圆形和扁形两种纤维截面,同时也可以观察到一些特殊形状的微螺旋炭纤维.微螺旋炭纤维主要由C、Ni、S、H元素组成,且其纤维表面全部由碳元素组成.微观结构整体有序度较差,存在一定量的无定形碳和晶体缺陷.微螺旋炭纤维具有较高的抗氧化性. 相似文献
2.
3.
4.
螺旋波等离子体化学气相沉积法制备纳米碳化硅薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用螺旋波等离子体化学气相沉积 (HWP-CVD)技术在Si(100)和石英衬底上合成了具有纳米结构的碳化硅薄膜.通过X射线衍射(XRD)、傅立叶红外透射(FTIR)和原子力显微镜(AFM)等技术对所制备薄膜的结构、组分和形貌进行了分析,利用光致发光技术研究了样品的发光特性.分析表明,在700℃的衬底温度和1.33Pa的气压条件下所制备纳米SiC薄膜的平均颗粒度在3nm以下,红外透射谱主要表现为Si-C吸收.结果说明HWP-CVD为制备高质量纳米SiC薄膜的有效技术,所制备样品呈现出室温短波长可见发光特性,发光谱主峰位于395nm附近. 相似文献
5.
6.
7.
以电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备单晶硅微齿轮陈列模具,采用热丝法化学气相沉积(HFCVD)制备出结构精细的金刚石微齿轮,其齿顶圆直径约1.55 mm、齿轮厚度10μm.应用扫描电镜分别观察了ICP刻蚀的硅微齿轮模具及CVD金刚石微齿轮,表明齿轮微结构形貌精细,金刚石微齿轮较好地复制了硅微细结构;Raman光谱分析表明微齿轮的金刚石质量较高.此工艺可以实现金刚石薄膜的精细图形化,为面向微机械应用的金刚石器件的经济批量制备提供了一种途径. 相似文献
8.
9.
本征微晶硅薄膜和微晶硅电池的制备及其特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对VHF-PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究.电学测试结果给出制备薄膜的激活能为0.51eV,符合电池对材料的电学参数要求;拉曼散射谱测试结果计算得到样品的晶化率为63;;X射线衍射结果也证明材料晶化,同时(220)方向择优;首次在国内用VHF-PECVD方法制备出效率为5;的微晶硅电池(Jsc=21mA/cm2,Voc=0.46V,FF=51;,Area=0.253cm2). 相似文献
10.
11.
二维过渡金属硫族化合物(TMDs)是继石墨烯之后的新型二维材料,由于其自身的独特物理化学性质在半导体、光电材料、能源储存和催化制氢等方面备受瞩目。化学气相沉积(CVD)是目前适合实现大规模制备二维材料的工艺之一,制备过程中参数的高度可控性使其具有很大优势。本文综述了近期通过CVD制备TMDs的研究进展,探讨了在CVD制备工艺中各种参数对产物生长和最终形貌的影响,包括前驱体、温度、衬底、辅助剂、压力和载气流量等。列举了一些改进的CVD制备工艺,并对其特点进行了总结。最后讨论了目前CVD制备TMDs所面临的挑战并对其发展前景进行展望。 相似文献
12.
13.
14.
We report on microstructural, optical and magnetic properties of (Zn,Mn)O nanostructures synthesized by a chemical vapor deposition (CVD) technique. Average diameters of the as grown (Zn,Mn)O nanorods and nanowires were ∼400 nm and ∼50 nm, respectively. X‐ray diffraction (XRD) and photoluminescence (PL) spectra provided the evidence that Mn was incorporated into ZnO lattice. PL spectra of the (Zn,Mn)O nanostructures showed shift in near band edge (NBE) emission at 396 nm together with a green band (GB) emission at 510 nm and a blue band (BB) emission at 460 nm. Magnetic measurements revealed mixed magnetic phases (ferromagnetic and antiferromagnetic) in the (Zn,Mn)O nanostructures. Vapor‐solid‐solid (VSS) mechanism was thought to be responsible for the growth of the nanostructures at low temperatures. (© 2011 WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim) 相似文献
15.
16.
17.
以CH3COCH3和H2为反应气源,采用热丝CVD法在经过两步法和三步法预处理的YG6硬质合金(WC-6wt;Co)基体上沉积金刚石涂层.利用扫描电子显微镜和能谱仪分析检测预处理后的YG6基体的表面形貌和钴含量,通过对比三步法与两步法的预处理结果确定三步法最佳工艺.利用扫描电镜、X射线衍射仪和硬度计检测所得金刚石涂层的表面形貌、结晶性和膜基结合性.结果表明:三步法最佳工艺为先采用酸溶液腐蚀20 s,然后采用碱溶液腐蚀20 min,最后继续用酸溶液腐蚀3 min.三步法预处理后的YG6基体获得的金刚石薄膜生长更加均匀致密,晶粒取向更高,膜基结合性能更好. 相似文献
18.
化学气相沉积(CVD)技术的发展使得金刚石优异的综合性能得以充分发挥,在诸多领域获得应用,并有可能实现跨越式的发展。色心使得金刚石量子加速器初步显示了巨大可行性,包括紫外激光写入窗口等诸多应用场景将金刚石的光、电、热和力学综合优势发挥到了极致,超宽禁带金刚石半导体应用将很快实现,金刚石的散热应用也在不断拓展。本文在总结CVD金刚石的制备方法和性能特点的基础上,根据金刚石的本征特点和应用领域,将其分为量子级、电子级、光学级、热学级和力学级五类,对各类金刚石的研究和应用状况进行了详细阐述,进一步明晰CVD金刚石目前的发展状态,对研判其未来发展趋势有重要意义。 相似文献
19.
本文使用金刚石磨料作为晶种颗粒,通过热丝化学气相法生长出单晶金刚石颗粒,并且建立三维的有限元模型,利用有限元仿真分析了生长过程中影响金刚石磨料生长速率以及沉积质量的各种因素,如热丝的排列方式,衬底的温度场,以及晶种的分布方式.通过固定在热丝CVD反应腔里的热电偶测量了实际的衬底温度分布,从而验证了仿真结果的正确性.另外,通过改变仿真模型优化了沉积单晶金刚石颗粒的工艺参数,获得适应于合成单晶金刚石颗粒的新技术,为化学气相沉积合成单晶金刚石颗粒奠定了基础,也为高温高压金刚石磨料品级的改进与提高提供了新途径. 相似文献