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就真空镀膜机内几何配置对薄膜均匀性的影响进行了理论分析,得到了对实际工作具有参考价值的结论:调整真空室内的几何配置可以获得最佳的薄膜均匀性 相似文献
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磁控溅射薄膜的厚度均匀性理论研究 总被引:7,自引:1,他引:7
建立了一个磁控溅射模型,在几种特殊情况下,给出了计算机模拟的薄膜厚度三维分布和二维分布,提出了制备大面积薄膜的条件,结果表明:计算机模拟的结果与实验结果和有关 结果一致。 相似文献
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全介质窄带滤光片膜厚均匀性分析 总被引:1,自引:0,他引:1
对全介质窄带滤光片镀制时因基片位置不同引起的透射率曲线的变化进行了分析,得出了其透射率曲线形状基本保持不为仅中心波长发生偏移的结论,根据所得的结论,提出了用于DWDM光纤通信系统的滤光片的实际镀制的改进方案。 相似文献
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非晶硅薄膜厚度均匀性对其透射光谱的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
针对膜厚的均匀性对非晶硅薄膜透射光谱 (40 0~ 1 0 0 0 nm)的影响问题 ,通过模拟计算分析在不同膜厚、厚度 (线性 )变化率和照射面积条件下 ,厚度均匀性对谱线的影响 .结果表明这种影响主要发生在薄膜的无吸收区和弱吸收区 ,表现为峰—峰值变小和振荡周期畸变 .减小照射面积可有效地降低这种影响 相似文献
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薄膜均匀性的研究分析 总被引:1,自引:0,他引:1
薄膜技术在现代科学技术中的重要性与日俱增。薄膜均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标,它在光学、光电等器件的加工工艺中发挥着重要作用。本文介绍了在真空蒸发镀膜中改善薄膜均匀性的方法,着重分析了影响薄膜均匀性的各种因素以及改进措施。针对旋转基片的镀膜室,设计了精确的修正挡板形状,从而改善了膜厚的均匀性。 相似文献
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陈水俤 《福州大学学报(自然科学版)》1999,27(3):2-81
多孔管广泛用于给水排水设备的配水和集水系统中.作为集水使用时,集水均匀性是衡量集水性能的一个重要指标.本文通过建立集水管水流的微分方程,推导出压力水头线的无量纲公式,并给出了多孔管集水均匀度理论计算方法. 相似文献
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建立了一个磁控溅射模型,在几种特殊情况下,给出了计算机模拟的薄膜厚度三维分布和二维分布,提出了制备大面积薄膜的条件.结果表明:计算机模拟的结果与实验结果和有关文献的结果一致. 相似文献
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研究了大面积金刚石膜沉积过程中的均匀性问题和金刚石膜质量的均匀性问题,研究了表明:用于生长金刚石的大面积磁旋转等离子体电弧是均匀的,能使气体混合均匀;金刚石膜在形核阶段是均匀的;金刚石膜在生长阶段是均匀的,有利于提高成膜几率;沉积后的金刚石膜的质量是均匀的,大面积磁控长通道等离子矩能生长均匀的金刚石膜,可用于金刚石膜的研究和工业生产。 相似文献
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均匀设计抽样的小样本均匀性 总被引:3,自引:0,他引:3
王兆军 《南开大学学报(自然科学版)》1997,30(1):27-30
文献[8]从理论上给出了均匀设计抽样样本点集的偏差的阶,并随机模拟了大样本的情况。本文通过随机模拟说明,当样本容量较小时,均匀设计抽样的偏差优于其它几种设计和抽样方法。最后,从最大对称差的角度对几种设计和抽样方法进行了比较。 相似文献
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根据物理学中电荷的势函数,提出均匀性度量的势函数模型,该模型可以对任一试验设计的布点的均匀性进行度量,并且可以对布点进行调整,直观上看,调整可以使布点在试验空间内更加均匀分散. 相似文献
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武向平 《青岛大学学报(自然科学版)》1990,3(1):38-44
宇宙中的非均匀性对几何光学有两方面的影响:1.由引力透镜效应引起光束会聚2、由低密度区引起光束发散。根据热力学,可以一般地证明,上述两种效应平均应相互抵消。边一普遍论断可以使我们有效地判定各种光路计算的合理性,确定有关参数。例如对于Ω=1的完全非均匀宇宙而言。点状引力透镜源的有效半径应为其临界半径的2.1倍。 相似文献
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说明原椭偏谱仪不能直接测量膜厚,提出外加波长片后可以测量膜厚的2种方法. 相似文献
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利用浸渍法制备了聚苯乙烯(C8H8)滤光膜,通过改变薄膜在溶液气氛中的静置时间,制备了不同的样品.用α-step100台阶仪测量样品厚度,并研究了薄膜均匀性与静置时间的关系.结果表明,静置时间对C8H8滤光膜的均匀性是有影响的.用插值方法进行拟合,修正了计算膜层厚度的Landau-Levich理论公式,修正后的公式可适用于固化的薄膜厚度计算. 相似文献
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采用低碳钢板K08Al、08Al研究了单向拉伸、平面应变、等双向拉伸、单向拉伸——等双向拉伸及等双向拉伸——单向拉伸5种变形路径中的表面粗糙度R_z、R_m值随变形量的变化。同时,对初始板厚不均匀度f_o以及在不同变形路径中板厚不均匀度随变形的发展进行了测定和分析。结果表明:在各变形路径中,随着变形量的增加,表面粗糙度R_z、R_m值呈线性增加,而板厚不均匀度f_R值则显著下降。 相似文献
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袁新田 《陕西师范大学学报(自然科学版)》1995,(Z1)
论述了安徽省降水量不均匀性的主要表现特征—区域分布不均、季节变化明显和年际变化大;并对造成本省降水量不均匀性的原因,从地理位置、大气环流、地形等方面作了深入分析. 相似文献
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为了给降雨发生装置的均匀性指标提供参考,依据模拟降雨均匀性的测试方法,进行了1 m×1 m小尺度自然降雨的均匀性实验和风对自然降雨均匀性的影响实验,并对各项指标进行了评估。结果表明:在小尺度范围内,自然降雨过程的空间均匀性较好,4个均匀性指标之间具有较好的一致性,其中均匀度系数CU≥98%,降雨面离差系数C≤0.02,降雨不均匀系数η≥0.96,降雨比值系数α≥1.03;风会导致测试区域内降雨量测量值偏小,但是其对小尺度空间降雨事件的均匀性影响较小,因此,消除风的影响对自然降雨的小尺度空间均匀性的提高并不显著,但是能够显著减小测试点的随机偏差。 相似文献