应用梯度折射率透镜的光纤加速度计系统中的光功率耦合分析

研究了在光功率分布为高斯分布的情况下，光纤加速度计系统中光功率耦合的数学模型，并着重分析了几种情况下位移与光功率耦合之间的关系。通过对理论曲线的分析找出良好的线性区间，为该类加速度计的研制提供了科学依据。     

梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识

讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型。从加的静态输入入手，求得加速度计平衡的输出关系式，还讨论了敏感输入轴垂直的横向加速度输入分量对输出的影响。在理论分析的基础上，根据离心机试验结果求得加速度计的静态模型。     

级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计

基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、四阶Σ△M闭环系统(SD2、SD4)进行了仿真分析比较,研制了原理样机。微加速度计是基于结构层厚度50mm的SOI硅片通过DRIE刻蚀、气态HF释放等一系列微加工工艺得到,系统电路以数字化方式集成在FPGA中。常压下测试结果表明,样机的灵敏度为0.876 V/g,噪声基底为-110 d B,零偏不稳定性为20mg,静态温漂为40.8mg/℃,量程为±20 g。     

一种基于外腔式法布里-珀罗干涉仪的光纤加速度计

研制了一种基于外腔式法布里-珀罗(F-P)干涉仪的光纤加速度计,理论分析了影响标度因数的结构参数,并利用有限元分析软件ANSYS对该结构进行仿真分析。F-P干涉仪由光纤端面和固定在弹性膜片上的反射镜组成,膜片上加工两圈花瓣状分布的弧形阵列。这种F-P干涉仪结构标度因数高、横向串扰小。经实验测定,该光纤加速度计标度因数为155.48 rad/g,与仿真分析结果基本吻合,交叉灵敏度仅为4.87×10~(-2) rad/g,分辨率为100mg,零位稳定性为125mg,提出了进一步提高性能的方法。     

基于FPGA的高精度硅微谐振加速度计数据采集与参数补偿系统设计与实现

硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力,成为硅微惯性传感器研制的热点之一。频率信号的高精度采集和系统参数补偿是提高硅微谐振加速度计性能的重要手段之一。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从双路差动频率信号的精确采集和系统误差参数补偿角度出发,分析了数据采集的原理,提出了一种高精度硅微谐振加速度计用数据采集与参数补偿方法。给出了设计思路和电路实现方法,讨论了误差来源与改进方法。所设计的数据采集系统针对中心频率18 k Hz.,标度因数400 Hz/g,量程±20g的加速度计,数据更新周期200 ms下频率分辨率为0.0005 Hz,等效加速度分辨率达到1.25μg。测试表明,补偿后的硅微谐振加速度计,在全温(-40~+70℃)内,K0温度系数从262μg/℃降低到29.9μg/℃,K1变化量从4.18%降低到2.04‰,全量程非线性从7.16‰降低到0.128‰,系统参数满足设计指标。     

光纤陀螺惯性测量组合的数字温控系统设计

光纤陀螺惯性测量组合的测量精度会受到环境温度变化的影响。采用温度控制手段能够有效解决这一问题。提出了一种基于分级控制、分段控制和闭环控制思想的温控方案,并在此基础上设计了一种DSP＋FPGA架构的数字温度控制电路,实现了温控电路的整体结构和工作流程,说明了以FuzzyPID算法为核心的温度控制算法原理。试验结果表明,系统具有速度快、精度高等优点,为解决惯性测量组合启动后缩短惯性器件热平衡过程,迅速进入稳定工作状态提供了一种实用方法,也为类似的惯性测量组合温度控制系统提供了有益参考。     

电容式微加速度计零偏的补偿方法

在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题.针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF的测量精度.采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18 um的一层多晶硅六层金属的CMOS工艺下,取得了1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性.     

静电伺服微加速度计的量程设计

详细推导了静电伺服加速度计在定极板上施加直流偏压、交流驱动电压，动极板上有反馈直流电压和交流检测电压的情况下，检测质量(动极板)受到的静电力。通过对静电力的分析，得出静电伺服彻。速度计的量程除了受系统能提供的最大静电力限制外，还需满足电刚度小于与机械刚度的条件，该电刚度是极板上所有的直流电压、交流电压产生的电刚度之和。离心实验证明，利用该原则设计的“叉指”结构静电伺服微加速度计的量程达到了设计值。该设计原则可以为此类加速度计的设计提供参考。     

加速度计温度模型的辨识

本文采用最小二乘估计和正交多项式拟合的方法，得到了石英挠性摆式加速度计（精度４×１０－５）模型系数随温度变化的规律，建立了２０℃—５０℃温度范围内加速度计的温度模型。应用该模型进行温度干扰补偿后，使模型辨识精度提高一个数量级。通过大量的重复性试验证明了方法的正确性。     

基于虚拟仪器技术的加速度计集成自动测试系统

本介绍了一套基于虚拟仪器技术的加速度计集成自动测试系统。该系统采用NI公司的LabVIEW开发平台，实现了加速度计的静态性能、动态性能及灵敏度性能的自动测试，完成数据采集、测试的控制与实时显示、教据存储与分析处理以及所生成报表的浏览与打印等功能，提高了测试的精度和效率，为加速度计的性能分析与进一步改进提供基础。     

无陀螺捷联惯导系统中加速度计配置方式

对无陀螺捷联惯导系统中加速度计的几种配置方式及适用场合做了介绍，重点给出了适于近程战术导弹使用的两种六加速度计配置方式及相应的惯导计算公式，并对两种配置方式做了比较。     

双光纤Fabry-Perot干涉仪差动检测静电伺服硅微加速度计

详细介绍了一种新型的基于双光纤Fabry-Perot干涉式（以下简称DFPI）差动检测的静电伺服硅微加速度计的设计。通过结构建模以及模型仿真得到该加速度计的分辨率为0.2ug，测量范围为0．2ug～1g。     

利用磁强计及微机械加速度计和陀螺的姿态估计扩展卡尔曼滤波器

提出了一种用于惯性测量组合(IMU)姿态估计的扩展卡尔曼滤波器。此滤波器的状态转移阵利用基于四元数的等效旋转矢量来计算姿态。等效旋转矢量法可以避免欧拉角的奇异问题，并能有效抑制不可交换误差。测量四元数是利用高斯-牛顿迭代法解算以加速度计和磁强计输出数据为变量的方程组得出的。用从实际IMU采集的数据对滤波器进行测试，并比较了带有滤波器和没有滤波器的结果。     

加速度计静态模型辨识的一种新方法

文中提出了一种加速度计静态模型辨识的加权最小二乘估计，并对辨识算法的加权阵提出了一种合理的选择方法；在精密光学分度头上对石英挠性摆式加速度计进行了多位置静态翻滚测试，应用提出的新方法较为精确地辨识出加速度计的静态模型     

离心机上辨识加速度计模型参数的优化试验设计

本文针对离心机上测试加速度计时可以在多个球面上布测试点的特点,研究了双球面组合试验计划的优化设计问题,得出了Ｄ 最优准则下一个优化的组合试验计划测度比,并进行了工程简化,得到了一个实用的准Ｄ 最优组合试验计划。