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相似文献
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1.
2.
化学染色法测量B,Al及P扩散结深   总被引:1,自引:1,他引:0  
采取化学染色法对B,Al和P杂质扩散形成的结深进行检测,通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性,选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液.同时采用扩展电阻法对同一个样品的结深进行测试,以扩展电阻法所得结果为标准,与染色法的测量结果进行对比,根据测试结果与理论分析,对染色法的测试结果进行修正,确定P扩散结深的测试系数.  相似文献   

3.
在用磨角测量时,为避免粘片等引起的角度的误差,一般采用比例法为好(它的测量误差与角度的误差无关)。磨角显示后见图1,结深为:x_i=(a/(2a b))·L 式中L是片厚,a、b分别为n~ 层与n层的厚度。  相似文献   

4.
为提高相控阵雷达和差波束法测角精度,研究了相控阵天线和差测角误差曲线的计算方法,分析了影响测角精度的不同因素.针对相控阵雷达测角误差函数随天线扫描角度变化问题,提出了任意扫描角度下相控阵天线相位中心的工程计算方法,可实时计算不同扫描角度的测角误差函数.仿真得到的测角误差曲线斜率与暗室测试得到的结果能够很好吻合,证明了算法的有效性.  相似文献   

5.
张安康  王健华 《电子器件》1998,21(3):141-148
本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法,叙述了扩展电阻法测量结深的原理,并对其测量结果进行了分析和讨论。  相似文献   

6.
基于蒙特卡洛法的圆光栅测角误差分析与补偿   总被引:1,自引:1,他引:0  
李凯  袁峰 《光电子.激光》2014,(7):1381-1388
在一类以圆光栅传感器作为测角元件的舵机减速器力能传递实验中,圆光栅传感器的同轴度、读数头读数和仪器示值,这些传感器自身的误差会影响减速器转角的测量精度。本文以圆光栅传感器作为研究对象,分析了多种转角测量误差的导致因素,并将其归类为系统误差和随机误差;通过物理分析和数值计算获得了转角误差的分布特性,提出通过基于蒙特卡洛法(MCM)的不确定度计算获得实际转角的误差补偿量从而提升转角数据处理能力并提高转角测量精度的新方法。直方图仿真曲线给出了转角误差的概率分布规律,并以此计算了理论上的角度测量误差的补偿量。实验以某舵机减速器为测试设备依本文方法进行转角数据处理,结果将测角精度提高到角秒数量级(10″),证明了方法的有效性。  相似文献   

7.
本文对远志天线测量中可能出现的锥面扫描测角误差进行了分析,给出了误差计算公式和几种有代表性的波瓣测角误差的计算结果。  相似文献   

8.
文章对冲击法测磁场进行了分析讨论,指出测量中的重要误差来源,并介绍了改进措施,对改进前后的测量结果进行了比较。  相似文献   

9.
在测角误差分析上,相控阵雷达与机械雷达有不同之处,本文讨论了影响相控阵雷达角跟踪精度的主要角误差源,并给出了各误差源的估算方法,通过示例估算出相控阵雷达的系统误差和随机误差。  相似文献   

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赵明山  李国华 《激光技术》1992,16(2):122-125
本文介绍一种基于楔形平板剪切干涉原理测量激光束微小发散角的方法,实验结果和理论分析表明,该方法的测量精度可达1%,发散角分辨率达0.01mrad,并具有测量方便、应用范围广等优点。  相似文献   

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13.
本文研究了"雷达原理"中最大信号法测角的精度问题。首先,根据最大信号法原理建立了天线接收信号模型;然后详细给出了峰值法和拟合法的测角公式;最后通过仿真研究了两种方法的测角性能,峰值法测角精度与经典文献的结论吻合,拟合法测角精度比峰值法测角精度高一个数量级。本文不仅有利于"雷达原理"研究型教学开展,而且对雷达工程实践也有参考价值。  相似文献   

14.
本文讨论了人造中点法测量三相对称电路功率对配对电阻的误差对测量结果的影响,和对配对电阻的准确度的要求。  相似文献   

15.
用磨角法测量扩散结深和横向扩散比例将遇到来自两方面的误差影响;斜角的影响和结面交连的影响。斜角的影响是主要的但往往被忽视,结面交连的影响在两结十分靠近且结深较大时比较明显,对静电感应器件而言更是如此,二者匀使测量结果的误差和数据的离散性偏大。斜角的影响表现在使测得的横向扩散比例减小,甚至是成倍地减小。  相似文献   

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PAL制彩色电视机解调角误差的测量电子工业部第三研究所刘全思1引言在原国标GB9372《电视广播接收机测量方法》的4.38条中曾规定了色度信号的解调误差,而在新制定的国标《电视广播接收机(多制式)的测量方法》中,又规定了对色度信号解调误差新的测量方法...  相似文献   

17.
NTSC制彩色电视机解调角误差的测量电子工业部第三研究所刘全恩1引言目前我国生产的彩色电视机,尤其是大屏幕彩色电视机,除符合我国的PAL制式外,还具有NTSC、SECAM制式功能。经多年的研究,制定了《电视广播接收机(多制式)的测量方法》,该方法等同...  相似文献   

18.
谢启华  李卫升  黄云 《激光技术》2012,36(2):174-178
激光陀螺动态测角仪是近几十年来发展起来的高精度、高灵敏度的动态测角系统。为了充分利用激光陀螺高精度的优良性能来提高角度测量的精度,对激光陀螺测角仪系统的结构和工作原理进行了介绍,综合国内外文献中对各主要误差源进行了定性的分析,估算了各误差的大小,由此得到了系统总的测角不确定度约为0.3'。结果表明,量化误差对测角精度影响较大。这一结果对探索进一步提高系统精度的方法具有指导性的作用。  相似文献   

19.
林应荣 《激光杂志》1985,6(1):44-47
提出一种利用激光的相干性测定激光光束方向的新方法,从而可以获得一种准确的客观测量结果,而不象用通常的方法那样获得一种相对的或比较的测量结果。  相似文献   

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