Z-效应半导体敏感元件的微观机理分析

Ｚ－效应半导体敏感元件，即Ｚ－元件在国内报导以来，由于它特性新颖，应用电路简单，特别是不需前置放大和Ａ／Ｄ转换就可输出大幅值频率脉冲信号而受到国内许多企业和个人的极大关注。除引进Ｚ－元件、开发Ｚ－元件应用电路外，最终应该有中国人自己的Ｚ－元件，为此本人继“绝妙的Ｚ－效应半导体传感元件走向中国”和“Ｚ－元件技术特性评述和应用展望”两篇报导之后，就目前掌握的资料对Ｚ－元件的微观机理进行简要的分析，以探讨Ｚ－效应的物理本质和Ｚ－元件的工作原理。董名垂、孙星同志在“……新型传感器：Ｚ－元件”（详见《电子…     

压电陀螺敏感元件振梁振动节点测试方法研究

本文提出了一种测试压电陀螺敏感元件振梁振动节点行之有效的方法——传输比法,在振梁两端等长度改变支撑点到端头的距离,传输比最大所对应的支撑点,即为振动波节点.文章详细地叙述了实验原理、结果及误差分析.     

旋转变压器作为伺服系统敏感元件的分析

论述了以旋转变压器作为位置控制系统敏感元件的原理，分析了其相位移和灵敏度等，并给出了应用及计算实例。     

敏感元件及传感器

信息时代的主要标志之一是传感器与电脑的结合,由敏感元件、传感元件、测量电路和辅助电源四部份组成的传感器被喻为电脑的五官,传感器起着采集信息的作用,电脑则对信息进行处理。传感器一般分为结构型传感器(又称经典型传感器)和固态传感器(又称物化型传感器)。结构型传感器是利用结构上几何尺寸(位移,角度)的变化来实现检测变换的器件,而固态传感器是把物理和化学信息转换成电信号的器件。本文仅对固态传感器进行论述。     

催化剂对WO3基燃气敏感元件的影响

在WO3粉体材料中加入催化剂(Pt,PtO2,Pd或PdCl2),于600℃烧结1 h制成旁热式厚膜可燃性气体敏感元件。采用静态电压测量法,研究了元件的加热功率与元件灵敏度(β)的关系以及催化剂对元件的响应–恢复时间的影响。结果表明:WO3基元件掺入质量分数为0.5%的催化剂,在加热功率为600 mW时,能提高元件的灵敏度2～10倍,元件的响应时间缩短63%～78%,恢复时间缩短84%～95%。。     

批量生产硅压力敏感元件的工艺方法

本文介绍一种批量生产硅压力敏感元件的工艺方法。与传统工艺方法不同,它采用2英寸直径厚2.5mm的硅片,每片上可制造出12个硅压力敏感元件。然后通过划片、硅杯加工、静电封接及装配,制成一种全焊接结构的硅压力传感器。这种工艺方法新颖,将集成电路工艺技术和敏感元件特有工艺技术结合在一起,生产出的敏感元件质量好、成本低,特别适合于一般半导体器件生产厂转产批量生产硅压力敏感元件和传感器。     

大型旋转圆柱形磁控溅射器

提出并研制成功了一种新型旋转圆柱形磁控溅射器。由于该溅射器采用静止的电磁场及匀速旋转圆简形靶材的新型结构，因此它具有靶材利用率高、使用周期长、换靶时间短等优点。可广泛适用于建筑物的幕墙玻璃等大型薄膜生产设备中。     

光纤应变传感检测的非线性有限元分析和试验

对埋入混凝土的Bragg光栅或Brillouin散射的光纤应变传感器，研究了光纤与基材间的细观力学和界面状态这一影响传感精度的首要问题。提出了采用非线性有限元分析此类界面的力学状态，并进行了界面切向刚度试验，得出了非线性分析的参数；给出了光纤-混凝土复合体中的应力分布，为混凝土的光纤应变传感检测提供了参考。     

Sol—Gel法制备Li2B4O7薄膜

用Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法在以单晶Ｓｉ（１１１）为基底材料上制备出了Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７薄膜，对其工艺过程进行了研究，讨论了主要控制参数的作用。     

分布式光纤振动检测方案及应用

在分析网络通信安全需求的基础上,阐述了光纤传感技术和光缆状态实时监测技术对网络通信安全的保障作用。介绍了光纤传感技术的发展历史以及具有代表性的光纤传感器,然后介绍了分布式光纤振动传感系统的原理和工作方式,并对该系统的解调方法进行了分析。为了获得更高的信噪比,通过实验分析了数据解调中延迟差分对信噪比的影响。结果表明,在一定范围内,延迟时间与信噪比正相关。     

夹持环对换能系统振动模态影响的有限元分析

换能系统是热超声引线键合装备的核心部分,夹持环对系统起安装支撑的作用,其安装方式直接影响换能系统的能量传递与振动模态。利用有限元法分析了夹持环对换能系统振动模态的影响,结果表明,对夹持环未施加约束、施加z向约束时换能系统的夹持环会出现振动现象,而施加x向约束时,工作频率下的主振型完全不符合要求;改变夹持环的安装位置,对换能系统的节点位置及谐振频率都有一定的影响,实验测得在全约束情况下,换能系统的节点位置为58 mm,与分析结果一致;换能系统在工作频率附近包含有其他的振动模态,在键合过程中易被激发出来,由此消耗超声能量而降低芯片的键合质量,这些振动模态必须得到抑制。     

Nonlinear Response of a Rectangular Membrane Sensing Element

The problem of large deflections is solved for a pressure sensing element in the form of a fixed-edge rectangular membrane with an aspect ratio of 1, 1.5, 2, or 3. Analytical formulas are derived for the deflection, allowing for midplane deformation. A manageable model is constructed for calculating the components of strain and stress. The results are found to be in good agreement with data obtained by the finite-element method. The magnitude of stress nonlinearity is calculated as a function of coordinates for each surface of the membrane.     

电子器件振动特性有限元模型参数的等效计算方法

 基于自由度缩聚技术和模态叠加原理,提出两种电子器件振动特性有限元模型参数的等效计算方法:范数极小值等效法和约束基频等效法.两种方法依据器件质量、约束基频、内部布局等特性,将具有非均匀质量和刚度分布的器件等效为均质长方形质量块,使电子器件的网格划分和数值计算大为简化.通过印制板固有特性和响应结果的对比分析,验证了等效方法的有效性和实用性.     

机载电台隔振系统技术分析

本文针对机载电了设备中电台的隔振系统,通过建立振动模型,采用计算机仿真辅助设计,找出了设备抗振的有效方法。     

引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计

根据引信环境信息探测的要求,设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件.通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析,提供了一种新的阻尼设计方法.结合过载保护设计,较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合.最后设计了一套可行的加工工艺.     

航空发动机用光纤叶片振动传感探头的研制

主要介绍了一种制作光纤叶片振动传感器探头的新工艺,该工艺选用特殊的大芯径精密陶瓷插芯,采用了一种创新性的光纤定位技术,利用该工艺制作的光纤叶片振动传感探头经试验验证完全满足航空发动机叶片振动参数的测量要求.