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相似文献
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1.
望远镜、读数显微镜、测微目镜等光学仪器在使用过程中经常会被蒙上灰尘、污渍,有些仪器由于密封条件不良还会导致仪器内部进入灰尘,还有一些测量仪器在装配过程中,由于清洁条件不好,清洁不良或是操作不注意,也会造成光学零件落下灰尘、沾上油污或手印,甚至有的仪器由于保管不好致使光学器件零件生霉、生雾,金属零件生锈。  相似文献   

2.
微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(TSOM)的检测方法。利用可见光光源显微镜和精密位移台,沿光轴对亚表面缺陷进行扫描,得到亚表面缺陷的一系列光学图像。将采集到的图像按照空间位置进行堆叠,生成TSOM图像。通过获得所测特征的最大灰度值来获得亚表面缺陷的定位信息。提出方法对2000μm深亚表面缺陷的定位相对标准差达到0.12%。该研究为透明样品亚表面缺陷检测及其深度定位提供了一种新方法。  相似文献   

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