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在等厚干涉实验中,我们可以利用两平面间空气隙所产生的干涉条纹数目来确定微小厚度(如金属箔纸的厚度),等厚干涉原理在光学加工、计量中的应用非常广泛.现介绍“三块互检法”在光学测量中的应用在光学测量中,常常需要检测平面光学零件的表面面形精度,通常的办法是用一块标准平面平晶(俗称标准样板)来检测.标准样板的工作面与光学零件待测面贴放一起,在白光或其他光源照射下;能够在两接触面上观察到干涉条纹.因为标准样板面形精度很高.可以认为观察到的干涉条纹数即为待测光学零件平面的面形精度,精度干涉条纹总数XA/2.平… 相似文献
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简单地介绍了金属光学零件的特点及其车削加工的原理。以具体实例说明了金属光学零件的精密加工过程,同时介绍了金属光学零件的测量方法。 相似文献
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光学零件超声波清洗的应用现状及其发展 总被引:2,自引:0,他引:2
本文在概述超声波清洗机理之后,着重介绍了光学零件超声波清洗的应用现状及光学零件超声波清洗用的清洗剂、脱水剂、干化剂等清洗辅料的几个进展阶段,以及当前清洗辅料的研究动态及面临课题。 相似文献
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为了满足空气动力学要求,采用共形薄壁结构的整流罩或光学窗口成为未来高速飞行器的发展趋势。但是这类零件在加工过程中,切削力会随着轴向位置发生改变,一次加工难以达到精度要求,需要通过在位测量、补偿加工来控制切削力变化所引起的面形误差。以超精密车床作为运动平台,设计高陡度薄壁光学零件的在位检测系统,研究测点分布的优化算法,实现测量效率和测量精度的统一;建立热变形误差修正模型,提高高陡度薄壁光学零件在位测量的精度。针对某型高陡度薄壁头罩,通过在位测量为补偿加工提供指导,将头罩表面误差由峰谷比(peak-tovalley,PV)3.1μm控制到PV 0.7μm,将同轴度控制到1.02μm,满足光学系统的性能要求。 相似文献
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为了实现光学零件厚度的非接触测量,设计了一种基于电光扫描的非接触测量方法。采用电扫描技术控制光开关,形成半径依次减小的环状光束,经过锥透镜后在光轴上形成连续移动的光点,当光点瞄准待测光学零件表面时,反射能量出现峰值,即定位了待测零件的表面,进而获得光学零件的几何厚度。建立了测量平板零件厚度和透镜中心厚度的数学模型;从理论上探讨了该方法的测量范围和测量精度。结果表明:设定锥面镜口径为100mm,材料折射率为1.52,当锥面镜的锥角从1°变化到40°时,测量动态范围可以从5507mm变化到26mm;当测量范围为26mm时,测量精度可以达到2.5μm。该方法可基本满足目前光学零件中心厚度的测量需求。 相似文献