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相似文献
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1.
多孔硅的光致发光谱   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文介绍了用电化学腐蚀的阳极氧化工艺,在硅衬底上制备多孔硅(PS)薄膜,实验测定了多孔硅薄膜的光致发光谱(PL),发现光致发光谱峰值波长随阳极氧化时间、HF浸泡时间或置于空气中自然氧化时间增加而向短方向移动(“蓝移”).文章用量子限制效应(QCE)理论解释了上述实验结果,并提出了在多孔硅发光机制中还存在表面态及实物质在发光中的作用。  相似文献   

2.
钝化多孔硅的光致发光   总被引:6,自引:2,他引:6  
选用含有胺基的正丁胺 (CH3CH2 CH2 CH2 - NH2 )作碳源 ,采用射频辉光放电法制备碳膜对多孔硅进行碳膜钝化 ,其光致发光谱和存放实验表明 :正丁胺对多孔硅进行钝化是一种十分有效的多孔硅后处理途径 .研究了钝化多孔硅的光致发光谱随钝化温度和钝化时间的变化关系 ,其结果显示 :通过调节钝化条件可实现钝化多孔硅最大的发光效率和所需要的发光颜色  相似文献   

3.
选用含有胺基的正丁胺(CH3CH2CH2CH2-NH2)作碳源,采用射频辉光放电法制备碳膜对多孔硅进行碳膜钝化,其光致发光谱和存放实验表明:正丁胺对多孔硅进行钝化是一种十分有效的多孔硅后处理途径.研究了钝化多孔硅的光致发光谱随钝化温度和钝化时间的变化关系,其结果显示:通过调节钝化条件可实现钝化多孔硅最大的发光效率和所需要的发光颜色.  相似文献   

4.
多孔硅与硅材料相比,有明显的可见光致发光特性,其原理可用量子限制模型给予解释。文章通过对多孔硅的光致发光、光电子辐射、光电效应和X光吸收方面的实验的讨论,研究了退火对多孔硅导带和价带边缘的量子漂移的影响。对于大多数多孔硅,过高的退火温度可造成多孔硅的导带和价带边缘的量子漂移的改变。  相似文献   

5.
在室温下系统地观测了多孔硅样品的光致发光谱随激发光波长的变化.在激发波长为260—320nm范围内,光致发光谱出现明显的双峰结构,两峰峰位分别位于610nm和700nm波长附近.当激发波长由260nm开始逐渐增加时,短波峰与长波峰强度之比先增加,随后达极大值,它略大于1,以后,此比值急剧减小,逐渐趋于零,即只存在单一长波峰.以上现象难于用量子限制模型解释.假设在包围纳米硅粒的二氧化硅层中存在两种发光中心,可以用量子限制/发光中心模型来解释上述实验现象.  相似文献   

6.
7.
多孔硅室温光致发光研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用电化学和化学溶蚀法在体单晶硅上制备了高孔度多孔硅;室温下测量了蓝光激发的光致可见光谱,发现样品在大气环境中保存时光致发光谱随时间有显著“蓝移”,并渐趋稳定,谱峰位置“蓝移”约40nm;文中给出了发光膜的平面透射电镜形貌和电子衍射照片。“蓝移”和电镜照片的结果能用量子尺寸效应说明。文中还给出了喇曼谱仪上测得的光致发光谱和多孔硅的喇曼位移峰。  相似文献   

8.
选用含有胺基的正丁胺(CH3CH2CH2CH2-NH2)作碳源,采用射频辉光放电法制备碳膜对多孔硅进行碳膜钝化,其光致发光谱和存放实验表明:正丁胺对多孔硅进行钝化是一种十分有效的多孔硅后处理途径.研究了钝化多孔硅的光致发光谱随钝化温度和钝化时间的变化关系,其结果显示:通过调节钝化条件可实现钝化多孔硅最大的发光效率和所需要的发光颜色.  相似文献   

9.
多孔硅光致发光研究的最新进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
彭英才 《半导体光电》1993,14(3):243-249
目前关于多孔硅(PS)的光致发光研究已成为材料科学中的一个新的热点。本文介绍了PS的光致发光机理与特性研究的一些最新进展。  相似文献   

10.
张波  王珏 《半导体光电》1995,16(4):355-359
对两种不同条件下制备的多孔硅进行了红外透射光谱测量,并对超临界干燥和自然干燥条件下的光致发光光谱进行了对比测量。用高分辨率透射电镜对其结构进行了观察,研究表明多孔硅的发光机理与其制备条件有关。  相似文献   

11.
剖析了多孔硅光致发光与温度有关的实验现象,提出了一个既通过局域在量子线上激子态复合同时又通过一热释过程后经表面态复合的并在不同温度范围起作用的综合发光机理,定性地解释了多孔硅发光的温度特性及其它实验结果。  相似文献   

12.
13.
汪开源  徐伟宏 《半导体光电》1994,15(3):255-258,272
介绍了用阳极氧化腐蚀形成多孔硅的工艺,并分析了它的微结构,实验测定了多孔硅光致发光谱(PL),由PL谱的峰值位于可见光区,不同于Si的带隙能量;用纳米量子限制效应(Q-CE),解释了多孔硅中进入量子线中电子和空穴能量增量为ΔEc和ΔEv,于是多了孔硅有效带宽成为E=E。+ΔE。而E。是Si的带宽为l.08eV,ΔEc和上ΔEv分别为h2/4meq2和h2/4mhq2,由此计算与实验结果一致。  相似文献   

14.
用超声声空化与脉冲电化学腐蚀相结合的物理化学综合法在不同的温度下制备多孔硅样品.所测得的样品的光致发光谱曲线表明,将腐蚀槽置于超声器中用脉冲电化学腐蚀方法制备的多孔硅样品,由于声空化所引发的特殊的物理、化学环境对其光致发光峰的波长有明显的影响.实验还表明,制备过程中的温度控制对样品的光致发光峰波长也有不可忽视的影响.  相似文献   

15.
多孔硅光致发光谱的多峰结构   总被引:2,自引:0,他引:2  
史向华  刘小兵 《半导体光电》2002,23(1):61-62,68
基于多孔光致发光的量子限制效应模型,研究了多孔硅发光性质随温度的变化关系.结果表明:多孔硅光致发光谱呈多峰结构,这些分立的发光峰是由多孔硅的本征因素引起的.  相似文献   

16.
多孔硅的氢化、氧化与光致发光   总被引:1,自引:1,他引:1  
对于刚阳极氧化完的,阳极氧化后紧接着在H2O2中光照处理的及长期存放(10个月)的三种多孔硅样品进行了持续激光照射,不断监视它们的光致发光(PL)与富利埃变换红外(FTIR)吸收光谱,并在最后对它们作了X射线光电子能谱(XPS)测量,以确定它们所含氧化硅的情况.得出如下几条结论:(1)氢对多孔硅表面的钝化是不稳定的.(2)Si—H键不是发光所必须的.(3)氧对多孔硅表面的钝化是稳定的,纳米硅周围氧化层的存在及其特性对于稳定的多孔硅可见光发射是至关重要的.对激光照射下多孔硅发光的退化提出了新的解释.  相似文献   

17.
多孔化PECVD硅薄膜的室温光致发光   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文采用阳极氧化腐蚀技术对等离子CVD方法制备的微晶硅薄膜进行了多孔化处理.在室温下用N2激光激发,在多孔化微晶硅薄膜上观测到了强的可见荧光,其荧光谱中包含1.94eV和2.86eV两个峰.我们还对其激发谱进行了研究,发现除与跃迁有关的吸收峰(3.4eV)外,在2—3eV间还有新的吸收峰.此结果与F.Buda等人最近对硅量子线的理论计算相符合.  相似文献   

18.
汪开源  唐洁影 《电子器件》1994,17(3):181-184
本文介绍了采用阳极氧化腐蚀工艺在单晶硅上制作多孔硅(PS)薄层,对PS薄层进行了微结构的分析为毫微结构量子线组成的复杂网络,其截面尺寸为纳米范围而纵向尺寸在微米量级。对PS样品光致发光谱的测定发现随阳极氧化电流密度和腐蚀时间的增加谱峰发生“兰移”并用PS的量子限制效应解释了上述实验现象。  相似文献   

19.
嵌入聚合物聚苯胺的多孔硅光致发光的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
分别通过溶液法和阳极电化学腐蚀法制得聚苯胺(PANI)和多孔硅,并用匀胶机涂布法把聚苯胺嵌入到多孔硅中,观察了嵌入前后的样品的光致发光谱.实验结果表明,聚苯胺的嵌入增强了多孔硅的光致发光强度,却不改变其峰位及峰宽,这与现有文献报道的结果有所不同,并对此进行了分析.认为聚苯胺掺入多孔硅中之后,与硅形成了新的键,从而使多孔硅的光致发光得到增强.  相似文献   

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