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非制冷型热释电薄膜红外探测器的制备及应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了室温非制冷型热释电薄膜红外探测器的原理和优势。从热释电材料的选择及器件的结构设计等方面阐述了热释电薄膜红外探测器的制备技术和研究动向,并归纳了器件的主要应用领域。 相似文献
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薄膜型热释电红外探测器的发展 总被引:6,自引:1,他引:6
介绍了薄膜型热释电红外探测器的性能特点和工作原理。从材料选择,器件结构和制备工艺综述了近几年国内外的研究成果及发展动态,并对器件的主要应用进行了总结。 相似文献
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室温型热释电红外探测器焦平面列阵新进展 总被引:4,自引:0,他引:4
文中介绍了目前室温工作的热释电红外探测器焦平面列阵的国外进展,混合型铁电陶瓷焦平面列阵已进入批量生产阶段,这类焦平面列阵制作的热像仪已于1995年进入商品市场,而单片式铁电薄膜红外探测器焦平面列阵还处在实验室研究阶段。 相似文献
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介绍了非晶YBCO薄膜用作非制冷热释电红外探测器材料。它在室温下显示出强的热释电行为,并且容易在室温下采用射频磁控溅射法沉积,制备工艺与CMOS工艺相兼容,是
一种很有潜力的热释电探测器材料。并介绍了非晶YBCO热释电薄膜的研究现状,阐述了该薄膜及其探测器的制备技术和研究动向。 相似文献
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1 引言 非制冷红外焦平面探测器,由于具有使用方便、室温工作、响应频谱宽、可低成本大批量生产等优点,可广泛地应用于工业、农业、环境、军事、医疗等领域。目前它正在受到人们的极大重视。非制冷红外焦平面探测器的核心结构是非制冷红外焦平面列阵,即芯片。美、 相似文献
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非致冷钛酸锶钡铁电薄膜红外探测器 总被引:3,自引:0,他引:3
采用半导体微机械(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)技术制备了具有热隔离微桥的8×8元非致冷Ba0.8Sr02TiO3薄膜红外探测器列阵原型器件.热释电性能优良的Ba0.8Sr0.2TiO3薄膜是使用浓度为0.05M的前躯体溶液、采用Sol-Gel制备的.在5~30℃的温度范围内,Ba0.8Sro2TiO3薄膜的热释电系数大于20nC/cm2K,在16.8℃处达到最大值41.3 nC/cm2K.在19℃的环境温度下,使用500 K黑体作为红外辐射源,测得10 Hz调制频率下,探测单元的探测率D*为5.9 × 107cmHz1/2W-1.对器件结构的进一步改进和测试条件的进一步改善可望获得更高的探测率. 相似文献
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采用射频磁控反应溅射方法,通过精确地控制氧分压、基底温度等关键工艺参数,沉积出满足非致冷红外焦平面阵列使用的VO2薄膜。解决了以往其它方法制备过程中薄膜相成份较为复杂、薄膜不均匀和电阻温度系数达不到使用要求的问题。利用X射线衍射和X射线光电子谱,分析了薄膜的成分、相结构、结晶和价态情况,用原子力显微镜表征了薄膜的微观结构,分光光度计分析了薄膜在可见到红外波段(500-2500nm)高低温透射率变化情况,对薄膜的电学性能也进行了测量和分析。结果表明VO2薄膜纯度高,结晶好,薄膜的光透射率在波长2000nm处相变前后改变了42%,室温下的方块电阻为26.8kΩ/□,电阻温度系数为2.2%/℃。同时给出了利用X射线光电子谱中钒的V2p3/2特征峰位表征氧化钒相结构的方法。 相似文献
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新型热释电单晶材料与红外探测器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
主要阐述了当前热释电红外探测器的发展状况,并重点介绍了我国尤其是我们在新型热释电材料以及红外探测器方面的主要进展和成果。弛豫铁电单晶是一类具有优异压电性能的新型材料,同时我们发现该类晶体还具有优异的热释电性能。我们所生长的PMNT单晶的热释电系数超过15.3×10-4cm-2.K-1,Mn-PMNT的介电损耗降至0.0005,探测优值达到40.2×10-5Pa-1/2,高居里温度点单晶PIMNT的居里温度达到180℃以上。与合作单位一起利用该类晶体研制的红外探测器的性能远优于利用传统热释电材料(如LiTaO3)制作的探测器,其比探测率达到1.07×109 cm·Hz1/2/·W-1,说明利用该新型弛豫铁电单晶制作的红外探测器具有广阔的应用前景。 相似文献
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热释电材料在吸收红外辐射后其温度会发生变化,从而产生极化.将其连接在电路中,则会有与温度变化率成比例的电信号产生.热释电红外检测器就是利用材料的热释电效应在红外光谱范围内检测物体吸收到的辐射能量的.根据形态,热释电材料分为体材料和薄膜材料.相比之下,后者具有体积比热小、灵敏度高、成本低和易于集成化的特性,因而其制备、性能和应用已成为热释电材料的研究方向.目前热释电红外检测器的研究已经取得了实用性的成果,如辐射计、测速计、测温计等实用设备或仪器的制作生产.随着研究的深入,具有广阔市场前景的热释电红外检测器将得到更为广泛的应用. 相似文献
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钛酸铅系薄膜的热释电性能及其应用 总被引:10,自引:1,他引:9
叙述了钛酸铅系薄膜的热释电原理,介绍了国际上近几年钛酸铅系薄膜材料、制备工艺及热释电性能,并与块状陶瓷材料进行了比较,分析表明钛酸铅系薄膜具有优良的热释电性能及可观的应用前景。 相似文献