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二次曲面非球面度计算方法及公式 总被引:11,自引:0,他引:11
本文用分析、对比的方法简要叙述了计算非球面度过去沿用公式存在的缺陷,特别是在工艺方面的不适用性,根据实际工艺提出了新的计算方法和公式,并进行了推导。利用这些公式既能准确表达非球面度的概念,也可直接用于指导生产加工。 相似文献
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为了实现大口径凸非球面的高准确度检测,提出了凸非球面背向零位补偿检验方法.该方法在非球面背面引入辅助球面并在光路中加入球面补偿透镜来达到零位补偿检验.辅助球面既可以使凸非球面等效为凹非球面,还可以补偿部分非球面法线像差.依据三级像差理论,对辅助球面曲率半径及补偿透镜结构参量进行初始结构求解,并编写了求解初始结构软件,再利用光学设计软件对初始结构进行优化,优化结果满足设计要求,使凸非球面背向零位补偿检验理论化.在实际应用中,以Φ120mm凸非球面为例设计了凸非球面背向零位补偿检测系统,检测系统设计的剩余波像差PV为0.024λ、RMS为0.007λ.利用此检测方法加工完成后的凸非球面的面形准确度优于λ/40. 相似文献
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高次非球面度的计算方法 总被引:12,自引:0,他引:12
简要分析过去沿用的二次曲面和高次非球面的非球面度计算公式存在的缺陷,介绍一种计算非球面度的波像差法,推导计算公式,并给出计算实例。该方法适于计算机编程,可用于任意次非球面度的精确计算。 相似文献
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高次非球面在光学系统应用中意义重大,但是一直以来缺乏一套快速、有效的工艺方法。利用VC6.0编制了一款面型计算软件以辅助加工,并提出了一种新的高次非球面补偿检验方法。针对一块巡天光谱仪中口径Φ244 mm的一面平面另一面为高次非球面的改正镜开展工艺方法的设计与研究,从铣磨成形开始,根据高次非球面的特点提出了几种新型磨削工艺,建立相应的数学模型。由于高次非球面的特殊性,试验了数控铣磨直接成型法,很大程度上降低后继工艺难度,在细磨和抛光阶段采用数控小工具和整工具研磨相结合,能够很好地克服面型不平滑等技术难题。总结出了一套高效率、低成本、高精度的高次非球面工艺方法。 相似文献
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光学非球面面形拟合方法研究 总被引:3,自引:0,他引:3
作者在研制一台高精度检测非球面仪器的过程中,探讨了二次和高次非球面面形方程参数的拟合方法。计算实例表明,线性化拟合法和非线性拟合法较圆满地达到了各种非球面面形拟合精度和实时处理的要求。 相似文献
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为了能够准确获取基于子孔径拼接的Hindle球检测大口径双曲面镜的Hindle球参数,研究了Hindle球检测凸双曲面镜的理论模型,并从几何光学入手,讨论了基于子孔径拼接的Hindle球检测法的系统结构,推导了符合子孔径拼接要求的小口径Hindle球的参数计算式。对一个凸双曲面镜进行了在不同测量环带数目下的基于子孔径拼接的Hindle球检测法和经典Hindle球检测法的Hindle球参数对比。结果表明该Hindle球检测方法使Hindle球参数更合理。 相似文献
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基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工。为优化设计基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,利用有限元分析方法,计算各驱动器的影响函数,计算非球面能动抛光盘的输出面形,与理论面形比较得到剩余残差。以优化设计驱动器排布方式和极头直径为例,当非球面能动抛光盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm,分别计算比较,极头直径为Φ10mm时,19单元PZT圆形排布与21单元PZT方形排布的剩余残差;以及19单元PZT圆形排布时,极头直径为Φ10mm与Φ14mm的剩余残差。结果表明,非球面能动抛光盘产生变形后的剩余残差RMS相应分别为0.303μm、0.367μm、0.328μm。因此,基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘确定选用19单元PZT圆形排布且极头直径Φ10mm。 相似文献
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减小薄板玻璃工件研磨变形的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
针对薄板玻璃刚度差,在研磨中易产生变形这一特点,探讨了减小其变形的不同方法。我们用传统的上盘法粘结固定工件进行加工,工件在下盘前面形精度较好,能满足要求(在25mm×25mm面积上的平面度为0.05μm),但在下盘后产生的变形使其面形精度下降,在25mm×25mm面积上的平面度为0.2μm,已不能满足要求。采用真空吸附法国固定工件,消除了工件在粘结过程中由于温度变化产生的变形,而且在研磨过程中又设法减小对工件施加的压力,从而减小了工件在研磨过程中产生的变形,使加工后的工件面形与加工过程中的面形接近,这就保证了工件的面形精度。 相似文献
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根据环形抛光的加工特点,研究了大口径反射元件的环形抛光加工工艺。在4 m环抛机上进行了610 mm440 mm85 mm的大口径反射元件加工工艺实验,研究了修正盘及工件盘转速与元件面形的关系、修正盘及工件盘位置与元件面形的关系、沥青盘槽形与元件面形的关系。研究结果表明,通过对修正盘及工件盘转速、修正盘及工件盘位置、沥青盘槽形等工艺参数的优化控制,能够得到大口径反射元件面形的高效收敛,元件最高面形精度优于/6(=632.8 nm),验证了加工工艺的有效性。 相似文献
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